맞춤기술찾기

이전대상기술

레이저와 흡수층을 이용한 도핑방법

  • 기술번호 : KST2014027867
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 실리콘에 도펀트를 도핑하는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 의한 레이저와 흡수층을 이용한 도핑 방법은, 결정질 실리콘 기판에 비정질 실리콘-도펀트층을 증착하는 제1단계; 상기 비정질 실리콘-도펀트 막 위에 흡수층을 형성하는 제2단계; 및 상기 흡수층 위에서 레이저를 조사하는 제3단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 흡수층을 증착한 뒤에 레이저 가공을 함으로써, 유지비가 낮고 효율이 뛰어난 광섬유레이저를 사용할 수 있고, 흡수층의 온도 상승으로 인해 에너지 효율이 높아 레이저의 출력 조절이 용이하며, 도핑을 위한 공정이 간단해지는 효과가 있다. 도핑, 태양전지, 후면 통합형 태양전지, 레이저, 광섬유레이저
Int. CL H01L 21/268 (2006.01)
CPC H01L 21/32155(2013.01) H01L 21/32155(2013.01) H01L 21/32155(2013.01) H01L 21/32155(2013.01)
출원번호/일자 1020090017162 (2009.02.27)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1062668-0000 (2011.08.31)
공개번호/일자 10-2010-0098140 (2010.09.06) 문서열기
공고번호/일자 (20110906) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.02.27)
심사청구항수 6

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이준신 대한민국 서울특별시 서초구
2 김성철 대한민국 경기도 수원시 장안구
3 이영석 대한민국 광주광역시 북구
4 김영국 대한민국 경기도 수원시 권선구
5 윤기찬 대한민국 인천광역시 서구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인다울 대한민국 서울 강남구 봉은사로 ***, ***호(역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2009-0124784-54
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.10.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.11.08 수리 (Accepted) 9-1-2010-0067626-55
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.11.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0524418-01
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.01.18 수리 (Accepted) 1-1-2011-0040342-09
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.02.17 수리 (Accepted) 1-1-2011-0115086-41
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.02.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0115088-32
8 등록결정서
Decision to grant
2011.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0486280-40
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
결정질 실리콘 기판에 비정질 실리콘-도펀트층을 증착하는 제1단계; 상기 비정질 실리콘-도펀트층 위에 흡수층을 형성하는 제2단계; 및 상기 흡수층 위에서 레이저를 조사하여 상기 결정질 실리콘 기판을 가열함으로써 상기 비정질 실리콘-도펀트층의 도펀트를 상기 결정질 실리콘 기판에 도핑시키는 제3단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저와 흡수층을 이용한 도핑방법
2 2
청구 항 1에서, 상기 흡수층이 마이크로 결정질 실리콘막 또는 다결정질 실리콘막 중에서 선택된 하나인 것을 특징으로 하는 본 발명의 레이저와 흡수층을 이용한 도핑방법
3 3
청구 항 1에서, 상기 비정질 실리콘-도펀트층의 도펀트가 붕소를 포함하는 P형 도펀트 또는 인을 포함하는 N형 도펀트 중에서 선택된 하나인 것을 특징으로 하는 본 발명의 레이저와 흡수층을 이용한 도핑방법
4 4
청구 항 1에서, 상기 레이저가 광섬유 레이저인 것을 특징으로 하는 본 발명의 레이저와 흡수층을 이용한 도핑방법
5 5
청구 항 1에서, 상기 제3단계에서 레이저를 조사할 때, 레이저의 초점을 상기 비정질 실리콘-도펀트 막과 상기 흡수층의 접촉면 보다 위쪽에 맞추는 것을 특징으로 하는 본 발명의 레이저와 흡수층을 이용한 도핑방법
6 6
전면에는 전극이 없고 후면에만 전극이 형성된 태양전지를 제조하는 방법으로서, 청구 항 1항 내지 청구 항 5항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의해 실리콘기판의 후면에 도핑을 실시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
7 7
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 과학기술평가원 국가지정연구실사업 차세대 태양전지용 재료 및 공정기술 개발