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평판의 고정자와;
상기 고정자 상부에 배치되는 복수개의 제1 코어를 구비한 제1 이동자와;
상기 고정자 하부에 상기 고정자를 중심으로 상기 제1 코어와 대칭되게 배치되는 복수개의 제2 코어를 구비한 제2 이동자와;
상기 제1 이동자 및 제2 이동자를 연결하는 요크부와;
상기 제1 이동자의 복수개의 제1 코어에 권선되는 복수개의 제1 코일과;
상기 제2 이동자의 복수개의 제2 코어에 권선되는 복수개의 제2 코일과;
상기 고정자와 제1 및 제2 이동자 사이의 간극을 감지하는 위치센서와;
상기 위치센서에서 감지한 간극에 따라 상기 제1 코일 및 제2 코일에 인가되는 전류의 크기를 제어하는 제어기를 포함하며,
상기 제1 코일과 제2 코일에는 위상차를 갖는 전류가 인가되고,
상기 제어기는 제1 및 제2 이동자가 고정자로부터 자기부상하여 일정간극이 유지되도록 전류의 크기를 제어하는
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제1항에 있어서,
상기 복수개의 제1 코일에 인가되는 전류는 인접한 제1 코일에 인가되는 전류에 대해 차례로 일정한 위상차를 갖는 정현파 전류이며,
상기 복수개의 제2 코일에 인가되는 전류는 상기 제1 코일과 동일한 위상차를 갖는 정현파 전류인,
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제2항에 있어서,
상기 복수개의 제1 코일에는 1/3 주기만큼의 위상차를 갖는 삼상전류가 인가되고,
상기 복수개의 제2 코일에는 대응하는 제1 코일과 동일한 위상의 삼상전류가 각각 인가되는
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제3항에 있어서,
상기 제어기는, 상기 위치센서가 감지한 고정자와 제1 및 제2 이동자의 위치가 정상상태의 위치에 비해 수직방향의 변위를 갖는 경우에 상기 고정자와 제1 및 제2 이동자 중 간극이 커진 이동자 측의 코일들에 정상상태의 기준전류에서 제어전류만큼 진폭이 추가된 삼상전류를 인가하고, 간극이 작아진 이동자 측의 코일들에 정상상태의 기준전류에서 제어전류만큼 진폭이 차감된 삼상전류를 인가하는
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제3항에 있어서,
상기 제어기는, 상기 위치센서가 감지한 이동자의 위치가 기준위치에 비해 기울어진 경우에 상기 고정자와 간극이 커진 제1 및 제2 이동자의 세 개의 코일 한 조에 정상상태의 기준전류에서 제어전류만큼 진폭이 추가된 삼상전류를 인가하고, 간극이 작아진 제1 및 제2 이동자의 세 개의 코일 한 조에 정상상태의 기준전류에서 제어전류만큼 진폭이 차감된 삼상전류를 인가하는
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제4항 또는 제5항에 있어서,
상기 제어기는 상기 각 제1 및 제2 코일에 개별적으로 연결되어 상전류를 상기 각 코일에 개별적으로 인가하는 복수개의 증폭기를 더 포함하고,
상기 제어기는 상기 각 제1 및 제2 코일에 인가되는 전류의 진폭에 추가되거나 차감될 제어전류를 개별적으로 결정하는
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 고정자의 상부 및 하부에는 일정한 피치로 돌출치가 형성되고,
상기 제1 이동자의 제1 코어는 상기 고정자의 상부에 형성된 돌출치 피치의 4/3 피치로 배열되고,
상기 제2 이동자의 제2 코어는 상기 고정자의 하부에 형성된 돌출치 피치의 4/3 피치로 배열되는
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8
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 고정자의 상부 및 하부에는 일정한 피치로 돌출치가 형성되고,
상기 제1 코어 및 제2 코어에는 상기 고정자의 돌출치와 동일한 피치의 돌출치가 구비되며,
상기 제1 코어의 돌출치가 인접한 제1 코어의 돌출치에 대해 1/3 피치만큼 어긋나도록 제1 코어의 배치간격이 결정되고,
상기 제2 코어의 돌출치가 인접한 제2 코어의 돌출치에 대해 1/3 피치만큼 어긋나도록 제2 코어의 배치간격이 결정되는
리니어 모터
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 한에 있어서,
상기 고정자 내부에 양극이 상하를 향하도록 배치되어 바이어스 자속을 형성하는 영구자석을 더 포함하는 리니어 모터
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10
제1항 내지 제5항 중 어느 한 한에 있어서,
상기 제1 이동자 및 제2 이동자 내부에 양극이 상하를 향하도록 배치되어 바이어스 자속을 형성하는 영구자석을 더 포함하는 리니어 모터
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