| 1 |
1
평면 모터 장치에 있어서,평면 대상체를 지지하고, 하나 이상의 고정자가 배치된 베이스부,상기 베이스부의 상부에 배치될 평면 대상체의 상부에 배치되고, 상기 고정자에 의하여 발생되는 자기장에 따라 이동하는 이동자, 상기 이동자에 결합되고, 상기 이동자를 상기 평면 대상체로부터 지지하면서, 상기 자기장의 힘에 따라 상기 이동자를 이동시키는 이동자 지지부,상기 고정자에 대한 제어 전류를 공급하여, 상기 이동자의 위치를 제어하는 제어부 및상기 이동자의 상부면에 배치되고, 상기 평면 대상체에 대한 공정 처리를 수행하는 공정 처리부를 포함하는 평면 모터 장치
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 공정 처리부는 상기 평면 대상체에 대하여 수행할 공정 정보를 관리하고, 상기 제어부는 상기 공정 정보를 참조하여 상기 제어 전류를 설정하는 평면 모터 장치
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서,상기 베이스부에 배치되어, 상기 이동자의 위치를 감지하는 센서부를 더 포함하고,상기 제어부는 상기 이동자의 위치에 따라 상기 제어 전류를 설정하는 평면 모터 장치
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서,상기 고정자는 철심 코어 및 상기 철심 코어를 중심으로 권선된 코일을 포함하고,복수의 고정자가 상기 베이스부에 격자 형태로 배치된 평면 모터 장치
|
| 5 |
5
제 1 항에 있어서,상기 이동자는소정 면적을 가진 지지 프레임,상기 지지 프레임의 하부에 결합된 하나 이상의 자석 및상기 지지 프레임의 테두리에 결합된 복수의 이동자 지지부를 포함하는 평면 모터 장치
|
| 6 |
6
제 1 항에 있어서,상기 평면 대상체는 비자성체인 평면 모터 장치
|
| 7 |
7
제 5 항에 있어서,상기 지지 프레임은 상기 평면 대상체를 노출시키는 개구부를 포함하는 평면 모터 장치
|
| 8 |
8
제 1 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 이동자 지지부는 상기 평면 대상체의 표면에서 상기 이동자를 이격시킨 상태에서 상기 이동자를 상기 대상체의 표면과 수직한 방향으로 지지하는 공기베어링 패드를 포함하는 평면 모터 장치
|
| 9 |
9
제 1 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 이동자 지지부는 상기 이동자를 상기 대상체의 표면과 수직한 방향으로 지지하는 볼 캐스터를 포함하는 평면 모터 장치
|
| 10 |
10
평면 대상체에 대한 공정 장치에 있어서,상기 평면 대상체를 지지하고, 하나 이상의 고정자가 배치된 베이스부,상기 베이스부의 상부에 배치될 평면 대상체의 상부에 배치되고, 상기 고정자에 의하여 발생되는 자기장에 따라 이동하는 이동자, 상기 이동자의 상부면에 배치되고, 상기 평면 대상체에 대한 공정 처리를 수행하는 공정 처리부,상기 이동자에 결합되고, 상기 이동자를 상기 평면 대상체로부터 지지하면서, 상기 자기장의 힘에 따라 상기 이동자를 이동시키는 이동자 지지부, 상기 고정자에 대한 제어 전류를 공급하여, 상기 이동자의 위치를 제어하는 제어부를 포함하는 공정 장치
|
