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태양전지 셀의 반사방지막 제조 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2014029168
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요약 본 발명은 태양전지 셀의 기판 면에 반사방지막을 원하는 일정한 두께로 형성할 수 있는 태양전지 셀의 반사방지막 제조 장치 및 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 반사방지막 제조 방법은 태양전지 셀의 기판의 면에 막형성물질을 코팅하는 코팅단계와; 상기 기판의 하측에서부터 기판에 열을 전달하여 기판 면에 코팅된 막형성물질을 설정된 두께 범위로 경화시키는 경화단계와; 상기 기판의 막형성물질 중 경화되지 않은 부분을 제거하는 세정단계로 구성된 것을 특징으로 한다. 태양전지 셀, 솔라셀, solar cell, 반사방지막, Anti-Reflection
Int. CL H01L 31/18 (2014.01) H01L 31/04 (2014.01)
CPC H01L 31/02168(2013.01) H01L 31/02168(2013.01) H01L 31/02168(2013.01)
출원번호/일자 1020090044994 (2009.05.22)
출원인 동국대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0950930-0000 (2010.03.26)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20100401) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.05.22)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 동국대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 중구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김삼동 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 오정훈 대한민국 인천광역시 부평구
3 문성운 대한민국 서울특별시 은평구
4 이재서 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 문춘오 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 문앤파트너특허법률사무소 (역삼동)
2 오위환 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 케이알솔라 주식회사 서울특별시 서초구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.05.22 수리 (Accepted) 1-1-2009-0308460-37
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2009.09.03 수리 (Accepted) 1-1-2009-0544647-47
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2009.09.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2009.09.21 수리 (Accepted) 9-1-2009-0053321-49
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.11.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0465060-17
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.01.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0016778-48
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.01.11 수리 (Accepted) 1-1-2010-0016783-77
8 등록결정서
Decision to grant
2010.03.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0124717-76
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.11.05 수리 (Accepted) 4-1-2010-5206478-99
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.06 수리 (Accepted) 4-1-2011-5243351-46
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2014-0002002-62
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.16 수리 (Accepted) 4-1-2019-5163486-33
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
태양전지 셀의 기판의 면에 막형성물질을 형성하고자 하는 최종 두께보다 두꺼운 일정 두께로 코팅하는 코팅유닛과; 상기 기판의 하측에서 기판에 열을 전달하여 기판 면에 일정 두께로 코팅된 막형성물질을 하측에서부터 경화시키는 히팅유닛과; 상기 기판에 유기용매를 공급하여 기판의 막형성물질 중 경화되지 않은 부분을 제거하는 세정유닛을 포함하여 구성된 태양전지 셀의 반사방지막 제조 장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 기판에 막형성물질을 도포하기 전에 기판을 일정 온도로 가열하는 예열유닛을 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지 셀의 반사방지막 제조 장치
3 3
태양전지 셀의 기판의 면에 막형성물질을 형성하고자 하는 최종 두께보다 두꺼운 일정 두께로 코팅하는 코팅단계와; 상기 기판의 하측에서부터 기판을 가열하여 기판 면에 코팅된 막형성물질에 열을 전달함으로써 막형성물질을 하측에서부터 설정된 두께 범위로 경화시키는 경화단계와; 상기 기판의 막형성물질 중 경화되지 않은 부분을 제거하는 세정단계를 포함하여 구성된 태양전지 셀의 반사방지막 제조 방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 코팅단계 이전에 기판을 설정 온도로 가열하는 예열단계를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지 셀의 반사방지막 제조 방법
5 5
제3항에 있어서, 상기 코팅단계, 경화단계, 세정단계를 반복적으로 연속 수행하여 기판 면에 반사방지막을 다층으로 형성하는 것을 특징으로 하는 태양전지 셀의 반사방지막 제조 방법
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
제3항에 있어서, 상기 코팅단계에서 코팅되는 막형성물질은 실리카(Sillica) 전구물질(precursor) 또는 SiC, SiON, SiCN, Si3N4, Zr산화물, MgO, ITO(Indium-tin-oxide), ZnO, 다이아몬드상 카본(Diamond-like-carbon), 비정질 카본 중 적어도 어느 하나를 포함하는 유전체 물질인 것을 특징으로 하는 태양전지 셀의 반사방지막 제조 방법
9 9
제3항에 있어서, 상기 세정단계에서는 상기 기판의 막형성물질에 유기용매를 공급하여 경화되지 않은 막형성물질을 제거하는 것을 특징으로 하는 태양전지 셀의 반사방지막 제조 방법
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1 WO2010134673 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 WO2010134673 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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