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플렉시블 솔라 셀 기판의 제조방법 및 제조장치, 그리고 이를 이용하는 솔라 셀의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014029169
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플렉시블 솔라 셀의 확산 방지막을 저온 솔 젤(Sol-gel)법을 이용하여 형성하여 우수한 막질의 SiOx를 얻을 수 있는 플렉시블 솔라 셀의 기판 및 이를 이용하는 솔라 셀의 형성방법을 제공하기 위한 것으로서, 저온 솔 젤(Sol-gel)법을 이용하여 확산방지막이 형성된 플렉시블 기판을 형성하고, 상기 플렉시블 솔라 셀의 기판 상부에 CIGS막, 버퍼층, 산화아연(ZnO) 막을 차례로 증착하는 단계를 포함하여 이루어지는데 있다. 이에 따라, 저온 솔 젤(Sol-gel)법을 이용하여 간단한 제작이 가능하고, 저온 공정에서 우수한 막질의 SiOx를 얻을 수 있어 높은 효율의 솔라 셀의 생산이 가능하다. 플렉시블 솔라 셀, 확산 방지막, SOG(Spin On Glass), 큐어링, 솔라 셀 기판
Int. CL H01L 31/04 (2014.01)
CPC H01L 31/206(2013.01) H01L 31/206(2013.01)
출원번호/일자 1020090067928 (2009.07.24)
출원인 동국대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0961518-0000 (2010.05.27)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20100607) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.07.24)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 동국대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 중구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김삼동 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 문성운 대한민국 서울특별시 은평구
3 오정훈 대한민국 인천광역시 부평구
4 이재서 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 문춘오 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 문앤파트너특허법률사무소 (역삼동)
2 오위환 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 이현성 대구광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.07.24 수리 (Accepted) 1-1-2009-0454679-64
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2009.09.03 수리 (Accepted) 1-1-2009-0544656-58
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search		 2009.09.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2009.09.18 수리 (Accepted) 9-1-2009-0053157-57
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.11.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0456535-92
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.12.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0820554-07
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.12.31 수리 (Accepted) 1-1-2009-0820556-98
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2010.02.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0049021-14
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.02.08 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2010-0084524-97
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.02.08 수리 (Accepted) 1-1-2010-0084526-88
11 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2010.04.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0156222-72
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.04.19 수리 (Accepted) 1-1-2010-0249190-11
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.04.19 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2010-0249188-18
14 등록결정서
Decision to grant		 2010.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0214427-74
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.11.05 수리 (Accepted) 4-1-2010-5206478-99
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.06 수리 (Accepted) 4-1-2011-5243351-46
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2014-0002002-62
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.16 수리 (Accepted) 4-1-2019-5163486-33
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번호 청구항
1 1
플렉시블 기판 상부에 솔 젤(sol-gel)법을 통해 SiOx의 전구체를 형성하는 단계와, 상기 SiOx 전구체가 형성된 플렉시블 기판을 OH 래디컬(radical)을 포함하는 용액에 넣고 큐어링 시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 솔라 셀 기판의 제조방법
2 2
플렉시블 기판 상부에 솔 젤(sol-gel)법을 통해 SiOx의 전구체를 형성하는 단계와, 상기 SiOx 전구체가 형성된 플렉시블 기판을 산성용액에 넣고 큐어링 시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 솔라 셀 기판의 제조방법
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 SiOx 전구체는 무기물(Inorganic) 계열 SOG(Spin on glass) 물질인 것을 특징으로 하는 플렉시블 솔라 셀 기판의 제조방법
4 4
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 플렉시블 기판은 메탈/스틸 호일(metal/steel foil), 박형 유리(ultra-thin glass), 플라스틱 기판 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 플렉시블 솔라 셀 기판의 제조방법
5 5
삭제
6 6
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 솔 젤(Sol-gel)법은 스핀 코팅(Spin coating), 스프레이 코팅(Spray coating), 딥 코팅(Dip coating), 와이핑(Wiping) 및 롤 코팅(Roll coating) 중 어느 하나의 방법인 것을 특징으로 하는 플렉시블 솔라 셀 기판의 제조방법
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 OH 래디컬을 포함하는 용액은 물, 과산화수소수, 암모니아수, KOH수용액, NaOH수용액, Ca(OH2)수용액, Ba(OH2)수용액 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 플렉시블 솔라 셀 기판의 제조방법
8 8
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 용액에 자외선(Ultraviolet : UV)을 쬐어 큐어링을 수행하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 솔라 셀 기판의 제조방법
9 9
제 2 항에 있어서, 상기 산성용액은 오존(O3)용액을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 솔라 셀 기판의 제조방법
10 10
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 용액을 발열체를 이용하여 20℃이상, 150℃이하의 온도로 가열하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 솔라 셀 기판의 제조방법
11 11
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 SiOx의 전구체 형성 후 베이킹을 수행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 솔라 셀 기판의 제조방법
12 12
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 큐어링은 20℃이상, 150℃이하에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 플렉시블 솔라 셀 기판의 제조방법
13 13
플렉시블 솔라 셀의 기판을 형성하기 위한 상기 제 1 항 또는 제 2 항의 공정을 기반으로 플렉시블 솔라 셀의 기판형성을 수행시키기 위한 수행 과정을 저장하는 기록매체
14 14
플렉시블 기판 상부에 솔 젤(sol-gel)법을 통해 SiOx의 전구체를 코팅하는 코팅부와, 상기 SiOx 전구체가 코팅된 플렉시블 기판을 OH 래디컬(radical)을 포함하는 용액 또는 산성용액에 넣고 큐어링 시키는 큐어링부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 솔라 셀 기판의 제조장치
15 15
제 14 항에 있어서, 상기 큐어링부는 상기 코팅부에서 SiOx의 전구체가 코팅된 플렉시블 기판을 탑재시키는 웨이퍼 캐리어와, 상기 플렉시블 기판이 탑제된 웨이퍼 캐리어를 이동시키면서 R2R(Roll to Roll) 공정들을 연속적으로 수행시키기 위한 컨베이어 벨트와, 상기 컨베이어 벨트를 통해 이동되는 선상에 위치하여 상기 OH 래디컬(radical)을 포함하는 용액 또는 산성용액에 상기 플렉시블 기판이 담궈지도록 일정높이로 유지시키는 용액을 담는 용기를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 솔라 셀 기판의 제조장치
16 16
제 15 항에 있어서, 상기 큐어링부는 상기 용기 상단에 위치하여 상기 플렉시블 기판이 상기 용액에 담궈지는 경우, 상기 용액에 자외선(Ultraviolet : UV)을 조사하는 자외선 조사부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 솔라 셀 기판의 제조장치
17 17
제 15 항 또는 제 16 항에 있어서, 상기 큐어링부는 상기 용기 하단에 위치하여 상기 플렉시블 기판이 상기 용액에 담궈지는 경우, 상기 용액을 20℃이상, 150℃이하의 온도로 가열하는 발열체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 솔라 셀 기판의 제조장치
18 18
제 1 항 또는 제 2 항의 공정을 통해 플렉시블 솔라 셀의 기판을 형성하는 단계와, 상기 플렉시블 솔라 셀의 기판 상부에 박막형 솔라 셀 막을 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 솔라 셀의 기판을 이용하는 솔라 셀의 제조방법
19 19
제 18 항에 있어서, 상기 박막형 솔라 셀 막은 순차적으로 적층되는 CIGS막, 버퍼층, 산화아연(ZnO) 막을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 솔라 셀의 기판을 이용하는 솔라 셀의 제조방법
20 20
제 19 항에 있어서, 상기 버퍼층은 황화카드뮴(CdS)막, 황화아연(ZnS)막, 산화인듐(In2O3)막 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 플렉시블 솔라 셀의 기판을 이용하는 솔라 셀의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.