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금속 나노 입자;상기 금속 나노 입자와 금속 접합용 관능기를 이용하여 결합된 리간드 유기 단분자;상기 결합된 금속 나노 입자와 리간드 유기 단분자에 형성된 기판 접합용 관능기;기판;상기 기판에 형성된 IDT(interdigitate) 구조를 갖는 전극; 및상기 기판에 형성되고, 상기 전극 사이에 위치하는 기판 관능기;를 포함하여 구성되며,상기 기판 접합용 관능기와 기판 관능기는 공유 결합하는 것을 특징으로 하는 화학 센서
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제1항에 있어서,상기 결합된 금속 나노 입자와 리간드 유기 단분자는 상기 기판 상에 단일 층(mono layer)으로 형성되는 것을 특징으로 하는 화학 센서
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제1항에 있어서,상기 금속 나노 입자는 금(Au)인 것을 특징으로 하는 화학 센서
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제1항에 있어서,상기 리간드 유기 단분자는 바닥 및 몸통으로 구성되는 것을 특징으로 하는 화학 센서
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제4항에 있어서,상기 리간드 유기 단분자의 바닥은 아민(amine) 및 티올(thiol) 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 화학 센서
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제4항에 있어서,상기 리간드 유기 단분자의 몸통은 -(CH2)n- 및 -(CH2CH2O)n- 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 화학 센서
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제4항에 있어서,상기 리간드 유기 단분자의 몸통은 아로매틱 링(aromatic ring) 및 알리패틱 링(aliphatic ring) 중 어느 하나의 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 화학 센서
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제1항에 있어서,상기 기판 접합용 관능기는 amine, -COOH 및 benzyl halogen 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 화학 센서
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제1항에 있어서,상기 기판은 실리콘 및 유리 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 화학 센서
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제1항에 있어서,상기 기판 관능기는 -OH, -NH2 및 -COOH 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 화학 센서
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금속 접합용 관능기를 이용하여 금속 나노 입자와 리간드 유기 단분자가 결합하는 단계;상기 결합된 금속 나노 입자와 리간드 유기 단분자에 기판 접합용 관능기를 형성하는 단계;기판에 IDT(interdigitate) 구조를 갖는 전극을 형성하는 단계;상기 기판에 형성된 전극 사이에 기판 관능기를 형성하는 단계; 및상기 기판 접합용 관능기와 상기 기판 관능기가 공유 결합하는 단계;를 포함하여 구성되는 화학 센서의 제조 방법
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제11항에 있어서,상기 금속 접합용 관능기를 이용하여 금속 나노 입자와 리간드 유기 단분자가 결합하는 단계는 two-phase 방법을 이용하는 것을 특징으로 하는 화학 센서의 제조 방법
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제11항에 있어서,상기 결합된 금속 나노 입자와 리간드 유기 단분자에 기판 접합용 관능기를 형성하는 단계는 리간드 교체 반응(Ligand Exchange Reaction)을 이용하는 것을 특징으로 하는 화학 센서의 제조 방법
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제11항에 있어서,상기 기판에 IDT 구조를 갖는 전극을 형성하는 단계는 리소그래피(Lithography) 방법을 이용하는 것을 특징으로 하는 화학 센서의 제조 방법
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제11항에 있어서,상기 기판 접합용 관능기와 상기 기판 관능기가 공유 결합하는 단계를 이용하여 상기 금속 나노 입자와 결합된 리간드 유기 단분자는 상기 기판 상에 단일 층(mono layer)으로 형성되는 것을 특징으로 하는 화학 센서의 제조 방법
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