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잉크젯 프린팅을 이용한 패턴 형성방법

  • 기술번호 : KST2014034713
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 잉크젯 프린팅을 이용한 패턴 형성방법에 관한 것으로, 기판에 미세 패턴 형성을 위해 잉크젯 프린팅을 이용하여 필요한 패턴을 형성시키는 방법에 있어서, 상기 기판의 표면으로 소정깊이의 미세라인을 형성하는 단계, 상기 미세라인 형성단계를 통해 기판의 표면에 형성된 미세라인으로 잉크젯 프린팅을 이용하여 필요한 씨드층을 형성하는 단계 및 잉크젯 프린팅으로 패터닝된 기판을 도금하여 씨드층의 상부면으로 도금층을 형성시키는 도금 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 미세라인 형성 후 여기에 패터닝을 함으로써 선폭을 보다 미세화 할 수 있고, 도금공정을 통해 배선의 고횡비를 달성할 수 있는 이점이 있다. seed, 잉크젯, 패턴, 미세, 도금, 기판
Int. CL H05K 3/10 (2006.01) B82Y 30/00 (2011.01) B41J 2/01 (2006.01)
CPC H05K 3/125(2013.01) H05K 3/125(2013.01) H05K 3/125(2013.01) H05K 3/125(2013.01) H05K 3/125(2013.01) H05K 3/125(2013.01)
출원번호/일자 1020090029310 (2009.04.06)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1058845-0000 (2011.08.17)
공개번호/일자 10-2010-0110982 (2010.10.14) 문서열기
공고번호/일자 (20110824) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.04.06)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강경태 대한민국 서울특별시 서초구
2 황준영 대한민국 경기도 용인시 수지구
3 강희석 대한민국 서울특별시 강남구
4 이상호 대한민국 서울특별시 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 공인복 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로**길*-**, 대송빌딩 *층(특허법인 대한(서초분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.04.06 수리 (Accepted) 1-1-2009-0205052-85
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.09.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.10.15 수리 (Accepted) 9-1-2010-0063407-70
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.10.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0485719-89
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2010-0863850-72
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.12.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0863852-63
8 등록결정서
Decision to grant		 2011.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0294501-43
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판에 미세 패턴 형성을 위해 잉크젯 프린팅을 이용하여 필요한 패턴을 형성시키는 방법에 있어서, 상기 기판의 표면으로 소정깊이의 미세라인을 형성하는 단계; 상기 미세라인 형성단계를 통해 기판의 표면에 형성된 미세라인으로 잉크젯 프린팅을 이용하여 필요한 씨드층을 형성하는 단계; 및 잉크젯 프린팅으로 패터닝된 기판을 도금하여 씨드층의 상부면으로 도금층을 형성시키는 도금 단계;를 포함하며, 상기 미세라인 형성단계 후에는 상기 미세라인 상부에 접착층 증착이나 UV-오존처리단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅을 이용한 패턴 형성방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 미세라인 형성단계는, 금형, 나노급 사출성형, 멤스공정 중 어느 하나를 통해 상기 기판에 미세라인을 형성시키고, 형성된 미세라인으로 패턴을 프린팅 하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅을 이용한 패턴 형성방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 프린팅 단계는, 이멀젼(emulsion) 상태의 금속 나노입자 잉크를 사용하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅을 이용한 패턴 형성방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 미세라인 형성단계는, 상기 기판 전체에 격자형태로 미세라인을 형성 후 원하는 부분만 패터닝하여 씨드층을 형성시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅을 이용한 패턴 형성방법
5 5
제 1항에 있어서, 상기 도금단계는, 무전해 도금을 이용하여 프린팅된 패턴 위에 도금층을 형성시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅을 이용한 패턴 형성방법
6 6
제 1항에 있어서, 상기 씨드층은, 이멀젼(emulsion) 상태의 은(Ag) 나노입자를 사용하여 패터닝되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅을 이용한 패턴 형성방법
7 7
제 1항에 있어서, 상기 도금층은, Ni, Cu, Pt, Ag, Au 중 하나를 무전해 도금 방식을 통해 형성시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅을 이용한 패턴 형성방법
8 8
삭제
9 9
제 1항에 있어서, 상기 씨드층 형성단계 후에는, 100 내지 400도로 기본 열처리 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅을 이용한 패턴 형성방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.