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마이크로 전자기계 소자(MEMS:Micro Electo Mechanical System)의 기판상의 하부 전극패드와 상기 기판상에 형성되어 상기 하부 전극패드의 높이보다 높은 구조물상에 형성된 상부 전극패드 사이의 배선 형성방법에 있어서,탄소나노튜브를 용매에 분산시켜 탄소나노튜브 용액을 제조하는 단계; 및상기 탄소나노튜브 용액을, 하부 전극패드의 상부, 구조물의 일 측면 및 상부 전극패드의 상부에 걸쳐 젯 프린팅하여 상기 하부 전극패드와 상기 전극패드 사이에 도전성 배선을 형성하는 단계를 포함하는 탄소나노튜브를 이용한 마이크로 전자기계 소자의 층간 배선 형성방법
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제1항에 있어서,상기 상부전극 패드와 하부전극 패드 사이에 프린팅 된 상기 도전성 배선을 건조시키는 단계를 더 포함하는 것인 탄소나노튜브를 이용한 마이크로 전자기계 소자의 층간 배선 형성방법
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제1항에 있어서, 상기 젯 프린팅은 잉크젯 프린팅 또는 에어로 젯 프린팅 중 어느 하나인 것인 탄소나노튜브를 이용한 마이크로 전자기계 소자의 층간 배선 형성방법
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제1항에 있어서,상기 용매는 물 또는 유기용매 중 어느 하나인 것인 탄소나노튜브를 이용한 마이크로 전자기계 소자의 층간 배선 형성방법
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제1항에 있어서,상기 탄소나노튜브는 단일벽 탄소나노튜브인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 마이크로 전자기계 소자의 층간 배선 형성방법
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제5항에 있어서,상기 단일벽 탄소나노튜브를 이용하여 형성된 배선은 가시광 영역에서 10% 내지 98%의 투과도를 갖는 것인 탄소나노튜브를 이용한 마이크로 전자기계 소자의 층간 배선 형성방법
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제1항에 있어서,상기 기판의 표면은 친수성을 띄도록 표면처리된 것인 탄소나노튜브를 이용한 마이크로 전자기계 소자의 층간 배선 형성방법
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제1항에 있어서,상기 탄소나노튜브 용액이 프린팅 된 후, 상기 탄소나노튜브 이외의 잔여물을 제거하기 위하여 고온 열처리 단계를 더 포함하는 것인 탄소나노튜브를 이용한 마이크로 전자기계 소자의 층간 배선 형성방법
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