| 1 |
1
기판 상에 탄소나노튜브를 함유한 잉크를 도포하여 증착층을 형성하는 1단계;상기 증착된 탄소나노튜브 위에 고분자 혹은 단분자가 포함된 화학 용액을 코팅하여 박막층을 형성하는 2단계;상기 박막층과 기판 사이에 분리용액을 주입하여 기판과 박막층을 분리하는 3단계; 를 포함하는 용액공정을 이용한 플렉서블 기판의 제조방법
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서,상기 3단계의 상기 분리용액은 물 또는 산, 염기 성분을 가지는 액체인 것을 특징으로 하는 용액공정을 이용한 플렉서블 기판의 제조방법
|
| 3 |
3
청구항 2에 있어서,상기 2단계의 화학 용액은 방향족 폴리이미드, 폴리페닐렌 설파이드, 불소계 수지 중 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 용액공정을 이용한 플렉서블 기판의 제조방법
|
| 4 |
4
청구항 2에 있어서,상기 2단계의 화학 용액은 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리메틸메타아크릴레이트 (Poly Methyl Methacrylate, PMMA) 인 것을 특징으로 하는 용액공정을 이용한 플렉서블 기판의 제조방법
|
| 5 |
5
청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 있어서,상기 1단계의 기판은 유리, 실리콘 웨이퍼, 스테인레스 스틸, 사파이어 중 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 용액공정을 이용한 플렉서블 기판의 제조방법
|
| 6 |
6
청구항 5에 있어서,상기 3단계 전에, 상기 플렉서블 기판을 구성하는 상기 증착층과 박막층으로 이루어지는 복합필름층을 적어도 1 이상 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 용액공정을 이용한 플렉서블 기판의 제조방법
|
| 7 |
7
기판 상에 소수성 특성이 강한 (contact angle 003e#80도) 물질을 함유한 잉크를 도포하여 증착층을 형성하는 1단계;상기 증착된 소수성 물질 위에 고분자 혹은 단분자가 포함된 화학 용액을 코팅하여 박막층을 형성하는 2단계;상기 박막층과 기판 사이에 분리용액을 주입하여 기판과 박막층을 분리하는 3단계; 를 포함하는 용액공정을 이용한 플렉서블 기판의 제조방법
|
| 8 |
8
청구항 7에 있어서,상기 3단계의 상기 분리용액은 물 또는 산, 염기 성분을 가지는 액체인 것을 특징으로 하는 용액공정을 이용한 플렉서블 기판의 제조방법
|
| 9 |
9
청구항 8에 있어서,상기 1단계의 상기 소수성 특성이 강한 물질은 접촉각이 80도 이상~130도 이하인 것을 특징으로 하는 용액공정을 이용한 플렉서블 기판의 제조방법
|
| 10 |
10
청구항 9에 있어서,상기 1단계의 상기 소수성 특성이 강한 물질은,수산기, 아미노기, 카르복실기를 중 어느 하나를 포함하는 물질 또는 이들의 혼합물을 포함하는 물질인 것을 특징으로 하는 용액공정을 이용한 플렉서블기판의 제조방법
|
| 11 |
11
청구항 9에 있어서,상기 2단계의 상기 화학 용액은 방향족 폴리이미드, 폴리페닐렌 설파이드, 불소계 수지 중 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 용액공정을 이용한 플렉서블 기판의 제조방법
|
| 12 |
12
청구항 9에 있어서,상기 2단계의 상기 화학 용액은 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리메틸메타아크릴레이트 (Poly Methyl Methacrylate, PMMA) 인 것을 특징으로 하는 용액공정을 이용한 플렉서블 기판의 제조방법
|
| 13 |
13
청구항 8 내지 12 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판은 유리, 실리콘 웨이퍼, 스테인레스 스틸, 사파이어 중 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 용액공정을 이용한 플렉서블 기판의 제조방법
|
| 14 |
14
청구항 13에 있어서,상기 3단계 전에, 상기 플렉서블 기판을 구성하는 상기 증착층과 박막층으로 이루어지는 복합필름층을 적어도 1 이상 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 용액공정을 이용한 플렉서블 기판의 제조방법
|
