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프로브 빔(Probe Beam)을 발생하는 프로브 광원(10);시료 분자의 진동 주파수 대역에 해당하는 중-적외선(Mid-IR)을 발생하는 중-적외선 광원(20);상기 프로브 광원(10)에서 발생한 프로브 빔을 제1의 광 신호와 제2의 광 신호로 분할하는 커플러(30);상기 중-적외선 광원(20)에서 발생한 중-적외선을 특정 주파수 대역의 유도광 신호로 변조시켜 출력하는 광학 쵸퍼(Optical Chopper, 40); 상기 유도광 신호와 상기 제1의 광 신호를 입력받아 시료 분자의 진동지문을 측정하여 측정신호로 출력하는 현미경 광학장치(50); 상기 분할된 제2의 광 신호의 일부와 상기 측정신호의 일부를 결합하여 제1의 측정채널(CH1, 70)로 출력하고, 상기 분할된 제2의 광 신호의 일부를 위상 조절하고, 위상 조절된 제2의 광 신호의 일부와 상기 측정신호의 일부를 결합하여 제2의 측정채널(CH2, 80)로 출력하는 케이지-마운트 시스템(60); 상기 제1의 측정채널(70)에서 출력된 신호를 증폭하여 제1 이미지 신호로 출력하는 제1 광전증배관(PMT,90); 및상기 제2의 측정채널에서 출력된 신호를 증폭하여 제2 이미지 신호로 출력하는 제2 광전증배관(PMT,100)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 위상요동 보상을 위한 2채널 방식 광 간섭 장치
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제1항에 있어서, 상기 현미경 광학장치(50)는 상기 유도광 신호와 상기 제1의 광 신호를 입력받아 대물렌즈(OL, 53)로 출력하는 이색성 거울(DM, 54)과;상기 이색성 거울(54)에서 출력된 상기 유도광 신호와 상기 제1의 광 신호를 동시에 집속하는 대물렌즈(OL, 53)와;상기 대물렌즈(OL, 53)에서 집속된 신호로 시료 분자의 진동지문을 측정하여 상기 측정신호로 출력하는 집광렌즈(CL, 51)를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 위상요동 보상을 위한 2채널 방식 광 간섭 장치
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제2항에 있어서, 상기 대물렌즈(53)는 상기 유도광 신호와 상기 제1의 광 신호의 집속도를 높이기 위하여 구면 수차가 없는 비축 포물(off-axis parabolic) 거울로 이루어졌음을 특징으로 하는 위상요동 보상을 위한 2채널 방식 광 간섭 장치
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제1항에 있어서, 상기 분할된 제2의 광 신호의 위상 조절을 위하여 회전할 수 있는 유리판(GP)이 상기 케이지 마운트 시스템 내에 설치된 것을 특징으로 하는 위상요동 보상을 위한 2채널 방식 광 간섭 장치
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청구항 1항에 있어서, 상기 현미경 광학장치(50)에서 출력된 측정신호는 제1의 단일모드 광섬유(Single Mode Fiber, SMF 1)를 통해 케이지 마운트 시스템(60)에 입력하게 되며, 커플러(30)에 의해 분할된 제2의 광 신호는 제2의 단일모드 광섬유(SMF 2)를 통해 케이지 마운트 시스템(60)에 입력되는 것을 특징으로 하는 위상요동 보상을 위한 2채널 방식 광 간섭 장치
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청구항 1항 내지 청구항 5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 위상요동 보상을 위한 2채널 방식 광 간섭 장치는 상기 제1 이미지 신호와 상기 제2 이미지 신호를 하이패스 필터링하여 출력하는 하나 이상의 하이패스 필터(120)와, 하이패스 필터(120)에서 출력된 신호의 위상을 고정시키는 하나 이상의 위상 잠금 증폭기(Lock In Amplifier, 130)를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 위상요동 보상을 위한 2채널 방식 광 간섭 장치
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