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마이크로 렌즈 어레이 제조 방법

  • 기술번호 : KST2014035884
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 마이크로 렌즈 어레이와 상기 마이크로 렌즈 어레이에 의해 형성되는 초점이 맺히는 마스크 패턴을 포함하는 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법에 있어서, 상기 마이크로 렌즈 어레이의 일면에 블랙 포토레지스트를 코팅하는 단계; 상기 마이크로 렌즈 어레이에 대해 자외선을 조사하여 상기 마이크로 렌즈 어레이의 초점상의 상기 블랙포토레지스트가 경화되도록 하는 경화단계; 및 상기 블랙포토레지스트의 경화부를 현상하여 제거하는 현상단계; 로 이루어진 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법을 제공한다.본 발명은 마이크로 렌즈 어레이 상의 렌즈에 의해 형성된 초점 부위에 마스크 패턴을 형성하여 마이크로 렌즈와 마스크 패턴의 정렬이 용이하게 이루어지도록 하는 효과를 갖는다.
Int. CL G02B 3/00 (2006.01) B29D 11/00 (2006.01) G02F 1/1333 (2006.01)
CPC G02B 3/0018(2013.01) G02B 3/0018(2013.01) G02B 3/0018(2013.01) G02B 3/0018(2013.01) G02B 3/0018(2013.01)
출원번호/일자 1020100099275 (2010.10.12)
출원인 인하대학교 산학협력단, (주)누리나노텍
등록번호/일자 10-1202896-0000 (2012.11.13)
공개번호/일자 10-2012-0037671 (2012.04.20) 문서열기
공고번호/일자 (20121121) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.10.12)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구
2 (주)누리나노텍 대한민국 인천광역시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이한섭 대한민국 인천광역시 연수구
2 박병국 대한민국 인천광역시 남구
3 조철진 대한민국 인천광역시 남동구
4 최기운 대한민국 인천광역시 남동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인태백 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** 이노플렉스 *차 ***호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 인천광역시 미추홀구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.10.12 수리 (Accepted) 1-1-2010-0657986-40
2 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status		 2011.03.03 수리 (Accepted) 1-1-2011-0154591-45
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.10.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.11.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0088465-72
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.04.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0234729-95
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.06.22 수리 (Accepted) 1-1-2012-0500066-04
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.06.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0500067-49
8 등록결정서
Decision to grant		 2012.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0582307-59
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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마이크로 렌즈 어레이와 상기 마이크로 렌즈 어레이에 의해 형성되는 초점이 맺히는 마스크 패턴을 포함하는 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법에 있어서, 상기 마이크로 렌즈 어레이의 일면에 블랙 포토레지스트를 코팅하는 단계; 상기 마이크로 렌즈 어레이에 대해 자외선을 조사하여 상기 마이크로 렌즈 어레이의 초점상의 상기 블랙포토레지스트가 경화되도록 하는 경화단계; 및상기 블랙포토레지스트의 경화부를 현상하여 제거하는 현상단계; 를 포함하고, 상기 마이크로 렌즈 어레이는 다수개의 성형홈이 일측면에 형성되어 있는 마스터판을 진공챔버 내부에 준비하는 마스터판 준비단계; 상기 성형홈들 사이에 메탈을 증착하거나, 잉크 또는 블랙매트릭스를 도포하여 광선의 투과를 차단하는 차광막을 형성하는 차광막 준비단계; 상기 진공챔버 내부에 마이크로 렌즈의 원재료가 되는 기판을 준비하는 기판 준비단계; 상기 진공챔버 내부를 진공상태로 형성하는 진공형성단계; 상기 마스터판과 상기 기판을 밀착시키는 밀착단계; 상기 기판을 가열하는 가열단계; 상기 진공챔버 내의 진공을 해제시키는 진공해제단계; 및상기 마스터판과 상기 기판을 분리시켜 렌즈를 형성하는 렌즈형성단계;에 의해 제조되는 마이크로 렌즈 어레이의 제조 방법
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삭제
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제1항에 있어서, 상기 기판과 상기 마스터판을 변형이 일어나지 않는 온도로 냉각하는 기판 냉각 단계를 더 포함하는 마이크로 렌즈 어레이의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 차광막을 형성하는 상기 메탈의 녹는 점 또는 상기 잉크 및 블랙매트릭스의 증발 온도는 상기 가열단계에서 상기 기판에 인가되는 온도보다 높은 마이크로 렌즈 어레이의 제조 방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 렌즈형성단계의 지속시간은 상기 마이크로 렌즈의 곡률 정도에 따라 증감되는 마이크로 렌즈 어레이의 제조 방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 블랙 포토레지스트의 코팅면은 상기 마이크로 렌즈 어레이에 조사되는 상기 자외선의 초점면인 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법
7 7
제1항에 있어서, 상기 자외선은 상기 마이크로 렌즈의 광축과 평행한 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법
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