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기판, 절연층, 절연층 상에 형성된 소스 전극과 드레인 전극, 그 소스 전극 및 드레인 전극 사이에 위치하는 중간이 끊어진 형태의 채널, 및 중간이 끊어진 채널을 중심으로 위 부분을 덮고 있는 검출대상물질이 고정될 검출 영역을 가지는 탄소나노튜브-전계효과 트랜지스터 기반의 바이오 센서
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제 1항에 있어서, 상기 소스 전극과 검출영역 및 드레인 전극과 검출영역 사이에 소수성 재료인 테플론, PDMS(Polydimethylsiloxane), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 실리콘 디옥사이드(SiO2), 및 실리콘 나이트라이드(Si3N4)로 이루어지는 군으로부터 선택되는 어느 하나를 포함함을 특징으로 하는 탄소나노튜브-전계효과 트랜지스터 기반의 바이오 센서
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제 2항에 있어서, 상기 소수성 재료는 테플론임을 특징으로 하는 탄소나노튜브-전계효과 트랜지스터 기반의 바이오 센서
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 탄소나노튜브는 화학기상증착법(CVD), 레이저 어블레이션법(laser ablation), 전기방전법(arc-discharge), 탄소나노튜브 페이스트(CNT paste), 전기영동법(dielectrophorsis), 및 필터법(filtering method)으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 어느 하나를 이용한 네트워크 및 랭뮤어-블로젯(Langmuir-Blodgett) 법으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 어느 하나를 이용하여 형성되는 필름임을 특징으로 하는 탄소나노튜브-전계효과 트랜지스터 기반의 바이오 센서
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 검출영역은 금속 또는 반도체성 물질임을 특징으로 하는 탄소나노튜브-전계효과 트랜지스터 기반의 바이오 센서
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 바이오 물질은 핵산(DNA, RNA, PNA, LNA 및 그 혼성체), 단백질(효소, 기질, 항원, 항체, 리간드, 압타머 등), 바이러스 및 감염성 질병 등으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브-전계효과 트랜지스터 기반의 바이오 센서
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 탄소나노튜브의 중간이 끊어지는 길이는 10-2000㎛임을 특징으로 하는 탄소나노튜브-전계효과 트랜지스터 기반의 바이오 센서
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 검출대상물질은 질병에 관련된 단백질임을 특징으로 하는 탄소나노튜브-전계효과 트랜지스터 기반의 바이오 센서
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 탄소나노튜브에 리셉터를 부착시키기 전ㆍ후에 탄소나노튜브와 리셉터 사이의 부착력을 증가시키는 결합보조제를 처리하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브-전계효과 트랜지스터 기반의 바이오 센서
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 검출영역과 소스 전극 및 검출영역과 드레인 전극 사이의 거리를 각각 0
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기판을 준비하는 단계; 기판 상에 절연층을 형성하는 단계; 절연층 상에 탄소나노튜브를 중간이 끊어지도록 증착하는 단계; 소스 전극과 드레인 전극을 형성하기 위하여 전도성 물질을 증착하는 단계; 중간이 끊어진 채널을 중심으로 윗 부분을 덮고 있는 검출대상물질이 고정될 검출 영역을 금속 및 반도체성 물질로 증착하는 단계: 및 각각 소스 전극과 드레인 전극에 전하가 인가될 수 있도록 전도성 나노와이어(nanowires)를 통해 전원에 연결하는 단계로 이루어지는 탄소나노튜브-전계효과 트랜지스터 기반의 바이오 센서의 제조방법
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제 11항에 있어서, 소수성 재료인 테플론, PDMS(Polydimethylsiloxane), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 실리콘 디옥사이드(SiO2), 및 실리콘 나이트라이드(Si3N4)로 이루어지는 군으로부터 선택되는 어느 하나를 검출영역과 소스 전극 및 드레인 전극 사이에 설치하여 검출될 타겟 바이오 물질이 소스 전극 및 드레인 전극과 접촉되는 것을 차단함을 특징으로 하는 탄소나노튜브-전계효과 트랜지스터 기반의 바이오 센서의 제조방법
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제 12항에 있어서, 상기 소수성 재료는 테플론임을 특징으로 하는 탄소나노튜브-전계효과 트랜지스터 기반의 바이오 센서의 제조방법
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제 11항 또는 제 12항에 있어서, 소스 전극과 드레인 전극에 금속을 증착하는 것은 물리기상증착법(PVD), 전자빔 증발법(e-beam evaporation) 또는 열 증발법(thermal evaporation)에 의해 수행됨을 특징으로 하는 탄소나노튜브-전계효과 트랜지스터 기반의 바이오 센서의 제조방법
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제 1항 또는 제2항의 바이오 센서를 사용하여 바이오 물질을 검출하는 방법
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