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그래핀 기반 소자에 응용 할 수 있는 패턴된 그래핀의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014037939
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 그래핀 기반 소자에 응용할 수 있는 패턴된 그래핀의 제조방법 에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 a) 기판 상에 패턴된 금속 촉매층을 형성하는 단계; b) 상기 패턴된 금속 촉매층이 형성되어 있는 기판 상에 그래핀층을 성장시키되, 상기 그래핀층을 상기 패턴된 금속 촉매층이 형성되어 있는 부분 및 형성되어 있지 않은 부분 위에 모두 성장시키는 단계; 및 c) 상기 성장된 그래핀층을 절연층에 전사하는 단계를 포함하는 그래핀 기반 소자에 응용할 수 있는 패턴된 그래핀의 제조방법에 관한 것이며,단일-다층의 그래핀을 원하는 패턴 형태로 만들고, 패터닝된 그래핀을 채널층(channel region), 소스(source region), 드레인(drain region) 등의 소자에 적용하여 특별한 공정 없이 손쉽게 그래핀 기반 소자를 제작하여 공정의 간소화, 비용 절감 등의 효과를 얻을 수 있다.
Int. CL H01L 29/786 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0273(2013.01) H01L 21/0273(2013.01) H01L 21/0273(2013.01) H01L 21/0273(2013.01)
출원번호/일자 1020110045313 (2011.05.13)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-1174670-0000 (2012.08.10)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20120817) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.13)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이선숙 대한민국 대전광역시 중구
2 정대성 대한민국 경상북도 포항시 북구
3 안기석 대한민국 대전광역시 유성구
4 박보근 대한민국 강원도 원주시 남원로***번길
5 이영국 대한민국 대전광역시 유성구
6 김창균 대한민국 대전광역시 유성구
7 정택모 대한민국 대전광역시 유성구
8 신용숙 대한민국 대전광역시 서구
9 정석종 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한양특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 한양빌딩 (도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.05.13 수리 (Accepted) 1-1-2011-0356446-15
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.12.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.01.18 수리 (Accepted) 9-1-2012-0007246-93
4 등록결정서
Decision to grant		 2012.07.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0447265-41
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
a) 기판 상에 패턴된 금속 촉매층을 형성하는 단계;b) 상기 패턴된 금속 촉매층이 형성되어 있는 기판 상에 그래핀층을 성장시키되, 상기 그래핀층을 상기 패턴된 금속 촉매층이 형성되어 있는 부분 및 형성되어 있지 않은 부분 위에 모두 성장시키는 단계; 및 c) 상기 성장된 그래핀층을 절연층에 전사하는 단계를 포함하는 그래핀 기반 소자에 응용할 수 있는 패턴된 그래핀의 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 a)단계 이전에, a1) 기판 상에 마스크를 고정시키는 단계를 추가로 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 기반 소자에 응용할 수 있는 패턴된 그래핀의 제조방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 금속 촉매층의 금속은, Ni, Mo, Pt, Pd, Fe, Ti 등의 전이금속으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 또는 2종 이상의 혼합금속인 것을 특징으로 하는 그래핀 기반 소자에 응용할 수 있는 패턴된 그래핀의 제조방법
4 4
제1항에 있어서,상기 금속 촉매층이 형성되어 있는 영역에 성장된 그래핀의 라만 스펙트럼에서의 2D band와 G band의 비율은 1
5 5
제1항에 있어서,상기 b)단계에서, 상기 그래핀의 성장은 화학적 기상방법에 의하는 것을 특징으로 하는 그래핀 기반 소자에 응용할 수 있는 패턴된 그래핀의 제조방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 a)의 기판은 구리 기판인 것을 특징으로 하는 그래핀 기반 소자에 응용할 수 있는 패턴된 그래핀의 제조방법
7 7
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 제조된 그래핀 기반 소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업기술연구회 한국화학연구원 기관고유사업 정보전자 산업용 금속 전구체 개발
2 교육과학기술부 한국화학연구원 미래기반기술개발사업 분자제어를 통한 기능성 유/무기 소재 및 유연 전자 소자 개발