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분광 타원해석기

  • 기술번호 : KST2014038258
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 시편의 표면 특성을 보다 더 정확하게 측정할 수 있도록 구조가 개선된 분광 타원해석기에 관한 것이다. 본 발명에 따른 분광 타원해석기는 시편을 향하여 광을 조사하는 광원과, 광의 진행경로 상 상기 광원과 시편 사이에 배치되며, 광원에서 조사된 광을 편광시키는 편광발생부와, 편광발생부에서 편광된 후 시편에서 반사되면서 편광상태가 변화된 광이 입사되며, 입사된 광을 편광시키는 편광분석부와, 편광분석부를 통과한 광을 파장별로 분광시키는 분광기와, 분광기에서 파장별로 분광된 광의 광량을 측정하는 다중채널 검출기와, 모터구동펄스의 입력시 광의 편광방향이 변화되도록 편광발생부 및 편광분석부 중 적어도 하나를 기설정된 단위각도로 회전시키는 스테핑 모터와, 스테핑 모터의 회전속도가 제어되도록 모터구동펄스를 스테핑 모터로 출력하는 제어부를 포함한다. 분광기, 타원해석기, 시편, 스테핑 모터
Int. CL G01N 21/21 (2006.01.01) G02B 13/00 (2006.01.01) G02B 15/14 (2006.01.01) G01N 21/55 (2014.01.01)
CPC G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01)
출원번호/일자 1020080123129 (2008.12.05)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1057093-0000 (2011.08.09)
공개번호/일자 10-2010-0064612 (2010.06.15) 문서열기
공고번호/일자 (20110816) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.12.05)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안일신 대한민국 경기 안산시 상록구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 임승섭 대한민국 서울특별시 종로구 율곡로*길 *(수송동, 로얄팰리스스위트) ***호(특허법인임앤정)
2 송경근 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 ** (방배동) 기산빌딩 *층(엠앤케이홀딩스주식회사)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 경기도 안산시 상록구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.12.05 수리 (Accepted) 1-1-2008-0839814-72
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.04.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.05.17 수리 (Accepted) 9-1-2010-0029756-02
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0422287-46
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2010.11.25 수리 (Accepted) 1-1-2010-0771220-48
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2010.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2010-0861765-42
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.01.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-0067645-04
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.01.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0067658-97
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2011.05.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0269953-80
10 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2011.06.22 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2011-0022451-40
11 등록결정서
Decision to grant
2011.08.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0437816-85
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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시편을 향하여 광을 조사하는 광원; 상기 광의 진행경로 상 상기 광원과 상기 시편 사이에 배치되며, 상기 광원에서 조사된 광을 편광시키는 편광발생부; 상기 편광발생부에서 편광된 후 상기 시편에서 반사되면서 편광상태가 변화된 광이 입사되며, 상기 입사된 광을 편광시키는 편광분석부; 상기 편광분석부를 통과한 광을 파장별로 분광시키는 분광기; 상기 분광기에서 파장별로 분광된 광의 광량을 측정하는 다중채널 검출기; 모터구동펄스의 입력시 광의 편광방향이 변화되도록 상기 편광발생부 및 상기 편광분석부 중 적어도 하나를 기설정된 단위각도로 회전시키는 스테핑 모터; 상기 스테핑 모터의 회전속도가 제어되도록 상기 모터구동펄스를 상기 스테핑 모터로 출력하는 제어부; 및 상기 다중채널 검출기에서 광량을 측정할 때 일 회 노광시의 노광시간을 제어하되, 상기 스테핑 모터의 회전속도에 대하여 독립적으로 상기 노광시간을 제어하는 타이머;를 포함하는 것을 특징으로 하는 분광 타원해석기
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제1항에 있어서, 상기 제어부는 상기 다중채널 검출기를 동기화시키는 검출구동펄스를 상기 다중채널 검출기로 출력하는 것을 특징으로 하는 분광 타원해석기
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제2항에 있어서, 상기 검출구동펄스는 상기 모터구동펄스의 주파수를 기준 비율로 감소시킴으로써 생성되는 것을 특징으로 하는 분광 타원해석기
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한국반도체연구조합 한양대학교 산학협력단 나노반도체장비 원천기술상용화사업 High-k 유전막 증착 in -situ 및 실시간 모니터링용 진공자외선 분광엘립소미터 개발