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불화유기규소화합물(몰드제조)

  • 기술번호 : KST2014039813
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 패턴 복제에 사용되는 몰드 제조용 불화 유기규소 화합물, 그를 이용하여 제조된 패턴 복제용 유기-무기 혼성 몰드, 그 몰드를 이용한 패턴 복제 방법 및 그 방법에 의하여 복제된 패턴에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 이형제 처리와 같은 표면처리를 필요로 하지 않는 동시에 일정 수준 이상의 강도를 가지므로써, 나노 임프린트 공정 및 소프트 식각(soft lithography) 패터닝 공정에서 모두 사용가능한 새로운 몰드 제조용 불화 유기규소 화합물, 그를 이용하여 제조된 패턴 복제용 유기-무기 혼성 몰드, 그 몰드를 이용한 패턴 복제 방법 및 그 방법에 의하여 복제된 패턴에 관한 것이다.불화 유기규소, 유기-무기, 혼성, 몰드, 패턴, 복제
Int. CL G03F 7/00 (2011.01) G03F 7/075 (2011.01) H01L 21/027 (2011.01) B82B 3/00 (2011.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020050051011 (2005.06.14)
출원인 한국기계연구원, 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0700435-0000 (2007.03.21)
공개번호/일자 10-2006-0130372 (2006.12.19) 문서열기
공고번호/일자 (20070327) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.06.14)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최대근 대한민국 대전 유성구
2 정준호 대한민국 대전 유성구
3 이응숙 대한민국 대전 유성구
4 한창수 대한민국 대전 서구
5 배병수 대한민국 대전 유성구
6 김우수 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인원전 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 풍림빌딩 *층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2005-0313762-90
2 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items		 2005.06.17 수리 (Accepted) 1-1-2005-0321371-84
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.06.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.07.11 수리 (Accepted) 9-1-2006-0042402-88
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0554557-58
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.11.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0832646-10
7 의견서
Written Opinion		 2006.11.14 수리 (Accepted) 1-1-2006-0832648-12
8 등록결정서
Decision to grant		 2006.12.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0768308-15
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
하기 일반식 1~3으로 표시되는 규소 화합물들을 출발 물질로 하여 산 또는 염기 촉매의 존재 하에 축합반응을 거침으로써 제조되며, 불화된, 직쇄 또는 측쇄 알킬기, 페닐기, 페닐알콕시기 또는 아민기를 가지는 것을 특징으로 하는 패턴 복제용 몰드 제조용 불화 유기규소 화합물:<일반식 1>(OR1)nSi-R2m <일반식 2>(OR1)pSi-(X-R3)qR4r<일반식 3>(OH)2Si-(R5)2상기에서,R1은 수소원자 또는 탄소수가 1~15인 직쇄 또는 측쇄 알킬기이고, R2는 탄소수가 1~15인, 불화된, 직쇄 또는 측쇄 알킬기, 페닐기, 페닐알콕시기 또는 아민기이고,n은 1~3의 자연수, m은 1~3의 자연수이며, n+m=4이고,X는 탄소수가 1~6인 탄소 사슬이고, R3은 비닐기, 글리시독시기, 아크릴옥시기, 메타크릴기, 탄소수가 2~8개인 직쇄 또는 측쇄 알킬기 또는 탄소수가 2~8개인 불화된 직쇄 또는 측쇄 알킬기이고,R4는 탄소수가 1~6개인 직쇄 또는 측쇄 알킬기이고,p는 1~3의 자연수, q는 1~3의 자연수, r는 0~2의 정수이며, p+q+r=4이고,R5는 수소원자, 탄소수가 1~10개인 직쇄 또는 측쇄 알킬기, 페닐기, 페닐알콕시기, 아민기, 비닐기, 글리시독시기, 아크릴옥시기, 메타크릴기 또는 탄소수가 4~8개인, 불화된 직쇄 또는 측쇄 알킬기이다
3 3
제2항에 있어서, 상기 일반식 1에서 상기 R1은 탄소수가 1~3개인 직쇄 알킬기이고, 상기 R2는 탄소수가 3~12인, 불화된 직쇄 또는 측쇄 알킬기이며, 상기 n은 3이고, 상기 m은 1인 것을 특징으로 하는 불화 유기규소 화합물
4 4
제2항에 있어서, 상기 일반식 2에서 상기 R1은 탄소수가 1~3개인 직쇄 알킬기이고, R3은 비닐기, 글리시독시기, 아크릴옥시기 또는 메타크릴기인 것을 특징으로 하는 불화 유기규소 화합물
5 5
제2항에 있어서, 상기 일반식 3에서 상기 R5는 탄소수가 1~10개인 직쇄 또는 측쇄 알킬기 또는 페닐기인 것을 특징으로 하는 불화 유기규소 화합물
6 6
제2항에 있어서, 상기 일반식 1에서, R2는, 탄소수가 3~12이고 수소원자의 40% 이상이 불화된 직쇄 또는 측쇄 알킬기인 것을 특징으로 하는 불화 유기규소 화합물
7 7
제2항에 있어서, 상기 일반식 1의 화합물은 (OCH3)3Si-(CH2)2(CF2)8CF3, (OC2H5)3Si-(CH2)2(CF2)8CF3, (OCH3)3Si-(CH2)2(CF2)5CF3, (OC2H5)3Si-(CH2)2(CF2)5CF3, (OCH3)3Si-(CH2)2CF3 및 (OC2H5)3Si-(CH2)2CF3로 이루어진 군으로부터 선택되고, 상기 일반식 2의 화합물은 3-(트리메톡시실릴)프로필 메타크릴레이트, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 비닐프로필트리메톡시실란 및 디(3-아크릴옥시프로필)디메톡시실란으로 이루어진 군으로부터 선택되며, 상기 일반식 3의 화합물은 디페닐실란디올 또는 디이소부틸실란디올인 것을 특징으로 하는 불화 유기규소 화합물
8 8
제2항에 있어서, 졸-겔법에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 불화 유기규소 화합물
9 9
제2항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 불화 유기규소 화합물을 함유하는 층을 포함하며, 상기 불화 유기규소 화합물 함유층의 표면에는 마스터의 패턴이 역패터닝된 것을 특징으로 하는 패턴 복제용 유기-무기 혼성 몰드
10 10
제9항에 있어서, 그 표면에서의 물의 접촉각이 80°이상인 것을 특징으로 하는 혼성 몰드
11 11
나노 임프린트 공정 또는 소프트 식각 공정에 있어서, 제9항에 따른 혼성 몰드를 이용하여 마스터의 패턴을 복제하는 것을 특징으로 하는 패턴 복제 방법
12 12
제11항에 있어서, 상기 나노 임프린트 공정에서는, 아크릴레이트 단량체 함유층의 표면에 상기 혼성 몰드를 역패터닝시킨 후, 상기 아크릴레이트 단량체를 경화시키므로써 상기 마스터의 패턴을 복제하는 것을 특징으로 하는 패턴 복제 방법
13 13
제11항에 있어서, 상기 소프트 식각 공정에서는, 폴리디메틸실록산 전구체 함유층의 표면에 상기 혼성 몰드를 역패터닝시킨 후, 상기 폴리디메틸실록산 전구체를 경화시키므로써 상기 마스터의 패턴을 복제하는 것을 특징으로 하는 패턴 복제 방법
14 14
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.