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탄소나노튜브의 전계방출 향상 방법

  • 기술번호 : KST2014041853
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요약 본 발명은 탄소나노튜브의 전계방출 특성 향상방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 산화성 가스 분위기에서 탄소나노튜브 사이의 길이 차이를 줄이는 전기적 균질화 처리를 통해 전계방출 균일도와 소자 수명을 향상시킬 수 있는 탄소나노튜브의 전계방출 특성 향상방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 탄소나노튜브의 전기적 균질화 처리는 긴 탄소나노튜브가 집중적인 전자방출에 의한 Joule 열 때문에 약 2000 K 정도의 고온까지 가열될 될 때 전자방출에 의해 팁 끝이 손상 받아 끊어지는 현상을 이용하여 작동하는 탄소나노튜브 에미터의 수를 증가시키는 것이다. 이때 대표적인 산화성 가스인 산소와 오존을 사용하여 수행함으로써 짧은 시간에 전계방출 균일도와 수명을 효과적으로 향상시킬 수 있다. 특히 산화성이 더욱 강한 오존의 경우가 산소의 경우보다 처리시간이 더욱 짧은 것이 특징이다. 일정 전류 모드에서 실시한 산화성 가스를 이용한 균질화 처리의 경우 Joule 열을 일정하게 하며 방출하므로 균질화 처리시간을 매우 짧게 할 수 있다.
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) H01J 9/02 (2011.01) C01B 31/02 (2011.01) H01J 1/304 (2011.01)
CPC H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01)
출원번호/일자 1020080011708 (2008.02.05)
출원인 세종대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0927191-0000 (2009.11.10)
공개번호/일자 10-2009-0085838 (2009.08.10) 문서열기
공고번호/일자 (20091118) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.02.05)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 세종대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 광진구 능동로 *** (군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이내성 대한민국 서울 양천구
2 이한성 대한민국 서울 광진구 군
3 전지현 대한민국 경기 시흥시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김희곤 대한민국 대전시 유성구 문지로 ***-*(문지동) *동(웰쳐국제특허법률사무소)
2 김인한 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로 **, **층 (서초동, 신영빌딩)(특허법인세원)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 세종대학교산학협력단 대한민국 서울 광진구 군
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.02.05 수리 (Accepted) 1-1-2008-0094661-64
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.11.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0069878-31
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.01.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0035360-91
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.03.26 무효 (Invalidation) 1-1-2009-0181922-39
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2009-0181811-70
7 보정요구서
Request for Amendment
2009.04.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0023369-11
8 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation
2009.05.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0034329-53
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2009-0317842-86
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2009-0393465-36
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.06.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0393463-45
12 등록결정서
Decision to grant
2009.10.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0442598-85
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.13 수리 (Accepted) 4-1-2011-5073277-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
고진공상태의 챔버에 오존(O3)이 투입된 분위기에서 전계를 인가하여, 탄소나노튜브의 집중적인 전자방출에 의해 서로 길이가 다른 탄소나노튜브의 길이차이를 균일화시켜 탄소나노튜브 간의 전자방출특성을 균일화하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 전계방출 특성 향상방법
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 탄소나노튜브의 전계방출 특성 향상방법은, 고진공상태의 챔버에 전류를 일정하게 유지하고, 상기 일정하게 유지되는 전류하에서 전압이 안정화된 이후에, 오존(O3)을 챔버 내에 주입하여 탄소나노튜브의 집중적인 전자방출에 의해 불균일한 탄소나노튜의 팁 끝을 제거하여 탄소나노튜브 에미터의 길이차이를 균일화시키고, 이로써 탄소나노튜브 간의 전자방출특성을 균일화하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 전계방출 특성 향상방법
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 탄소나노튜브의 전계방출 특성 향상방법은, 고진공상태의 챔버에 오존(O3)을 지속적으로 투입하여 일정한 압력을 유지시킨 상태에서, 전압을 인가하여 탄소나노튜브의 집중적인 전자방출에 의해 탄소나노튜브의 팁 끝을 제거하여 탄소나노튜브 에미터의 길이차이를 균일화시키고, 이로써 탄소나노튜브 간의 전자방출특성을 균일화하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 전계방출 특성 향상방법
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패밀리정보가 없습니다
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