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생체용 무선 유량센서 구조물에 있어서, 그 내부에 유량센서(110)가 형성되어 있는 직사각형 형상의 복수개의 절연체막(100); 및직사각형 절연체막(100)의 길이방향의 양측단에 소정 간격으로 형성된 금속선으로서, 또 다른 절연체막(100)과 상호 연결시키는 연결부재(200); 를 포함하되, 상기 유량센서(110)는,혈관 벽 고정 시, 고정된 위치의 압력을 측정하고, 그 압력의 차로서, 혈관 내부에 흐르는 혈류량을 파악하는 것을 특징으로 하는 생체용 무선 유량센서 구조물
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제 1 항에 있어서, 상기 절연체막(100)은, 망사 그물형태로서, SU-8 폴리머 재질인 것을 특징으로 하는 생체용 무선 유량센서 구조물
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제 1 항에 있어서, 상기 연결부재(200)는, 수축 및 팽창될 수 있는 탄성력을 가지는 것을 특징으로 하는 생체용 무선 유량센서 구조물
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제 1 항에 있어서, 상기 연결부재(200)는, 구리(Cu), 백금(Pt) 중 어느 하나의 재질이거나, 형상기억합금 재질인 것을 특징으로 하는 생체용 무선 유량센서 구조물
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제 1 항에 있어서, 상기 유량센서(110)는,SU-8 폴리머 재질의 절연체막(111)과, 상기 절연체막(111) 상부에 형성된 커패시터 하부전극(112)과, 상기 절연체막(111)의 상부에 형성된 인덕터 코일(113)과, 가운데 홀 구조를 가지는 SU-8 폴리머 재질의 절연체막(114)과, 상기 절연체막(114)의 홀 구조에 채워진 구리층(115)과, 상기 절연체막(114) 및 구리층(115)의 상부에 형성된 커패시터 상부전극(116)과, 상기 커패시터 하부전극(112) 상부에 도포된 PDMS(117)를 포함하며, 상기 커패시터 하부전극(112) 및 커패시터 상부전극(116) 간의 전기적 접촉을 방지하기 위하여, 베이킹 및 본딩 공정을 통해 상기 PDMS(117)가 커패시터 하부전극(112) 및 커패시터 상부전극(116) 사이에 코팅되는 것을 특징으로 하는 생체용 무선 유량센서 구조물
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제 5 항에 있어서, 상기 인덕터 코일(113)은, 금속으로 구성된 평면 코일로서, 상기 커패시터 하부전극(112)을 제외한 영역을 감싸는 형태로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 생체용 무선 유량센서 구조물
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제 5 항에 있어서, 상기 인덕터 코일(113)은 외부로부터 RF 신호를 인가받아 전압을 생성하며, 상기 커패시터 하부전극 및 상부전극(112,116)은 변화하는 커패시턴스를 이용하여 인가된 압력을 파악하는 것을 특징으로 하는 생체용 무선 유량센서 구조물
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생체용 무선 유량센서 제조방법에 있어서, (a) 실리콘 웨이퍼를 스핀 코터에 진공으로 고정시키고, 웨이퍼 위에 SU-8 층을 형성하는 단계; (b) 포토리소 그래피 공정을 수행한 후, e-beam evaporator를 이용하여 크롬/금(Cr/Au)을 증착시키고, lift off 공정을 이용하여 금속층을 패터닝함으로써, 커패시터 하부전극 및 구리증착을 위한 전극을 형성하는 단계;(c) 상기 커패시터 하부전극을 감광제로 코팅한 후, 구리 전해도금 방법을 이용하여, 상기 (b) 단계에서 형성한 전극 상부에 소정 폭을 가지는 인덕터 코일을 형성하는 단계;(d) 구리 전해도금된 디바이스에 소정의 두께를 가지는 SU-8 층을 형성하고, PR을 제거하는 단계; (e) 유리 웨이퍼 위에 소정 두께로 SU-8 층을 형성하는 단계; (f) 포토리소 그래피 공정을 수행한 후, e-beam evaporator를 이용하여 크롬/금(Cr/Au)을 증착시키고, lift off 공정을 이용하여 금속층을 패터닝함으로써, 커패시터 상부전극을 형성하는 단계;(g) 상기 (f) 단계를 통해 형성된 커패시터 상부전극의 상부와, 상기 (e) 단계를 통해 형성한 SU-8 층의 상부에 각각 SU-8 층을 소정 두께로 형성함으로써 두 개의 SU-8 층 사이에 홀 구조를 형성하는 단계; (h) 상기 (g) 단계를 통해 형성된 두 SU-8 층의 홀 구조에 구리층을 형성하는 단계; (i) 상기 (g) 단계를 통해 형성된 SU-8 층 및 상기 (h) 단계를 통해 형성된 구리층의 상부에, 스퍼터 또는 evaporator 공정을 이용하여 금속라인을 형성하는 단계; (j) 상기 커패시터 하부전극 상부에 PDMS를 도포하는 단계; 및 (k) 상기 PDMS가 상기 커패시터 하부전극 및 상부전극의 사이에 위치하도록 베이킹 및 본딩하고, BHF(Buffered Hydrofluoric acid) 용액을 이용하여 희생층으로 쓰인 Al을 제거하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 생체용 무선 유량센서 제조방법
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