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분광 반사 측정기 및 이를 이용한 분광 반사율 측정방법

  • 기술번호 : KST2014044461
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 분광 반사 측정기에 관한 것으로서, 입사되는 광을 서로 다른 광 경로로 분리시키는 광분리기; 상기 광분리기에 의해 분리된 제1 분리광과 제2 분리광 중 적어도 하나의 분리광의 진행을 차단하는 개폐기; 및 상기 제1 분리광이 진행하는 광 경로상에 배치된 표준시편으로부터 반사된 광과, 상기 제2 분리광이 진행하는 광 경로상에 배치된 측정시편으로부터 반사된 광을 분광하여 분광된 광의 광량와 파장을 검출하는 검출기;를 포함하며, 개폐기를 이용하여 분리된 광을 선택적으로 차단함으로써 광원으로부터의 입사 광량을 보다 손쉽게 측정할 수 있다.
Int. CL G01N 21/25 (2006.01.01) G01N 21/41 (2006.01.01) G01J 1/08 (2006.01.01) G01N 21/47 (2006.01.01) G01J 3/02 (2006.01.01)
CPC G01N 21/25(2013.01) G01N 21/25(2013.01) G01N 21/25(2013.01) G01N 21/25(2013.01) G01N 21/25(2013.01) G01N 21/25(2013.01)
출원번호/일자 1020090106086 (2009.11.04)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1142763-0000 (2012.04.27)
공개번호/일자 10-2011-0049185 (2011.05.12) 문서열기
공고번호/일자 (20120518) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.11.04)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안일신 대한민국 경기도 안산시 상록구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충현 대한민국 서울특별시 서초구 동산로 **, *층(양재동, 베델회관)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 서울특별시 성동구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.11.04 수리 (Accepted) 1-1-2009-0678813-84
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2010.02.25 수리 (Accepted) 1-1-2010-0125751-40
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.06.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.07.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0059072-63
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.08.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0452612-75
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.10.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0791996-41
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.10.11 수리 (Accepted) 1-1-2011-0791995-06
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2012.01.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0001299-55
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.01.27 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0070911-50
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.01.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0070910-15
11 등록결정서
Decision to grant
2012.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0113991-81
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
광원으로부터 조사되는 광을 서로 다른 광 경로로 분리시키는 광분리기;상기 광분리기에 의해 분리된 제1 분리광과 제2 분리광 중 적어도 하나의 분리광의 진행을 차단하는 개폐기; 및상기 제1 분리광이 진행하는 광 경로상에 배치된 표준시편으로부터 반사된 광과, 상기 제2 분리광이 진행하는 광 경로상에 배치된 측정시편으로부터 반사된 광을 분광하여 분광된 광의 광량과 파장을 검출하는 검출기; 및상기 검출기에서 검출된 광의 광량과 파장을 이용하여 상기 측정시편의 분광 반사율을 계산하는 계산기;를 포함하고,상기 검출기는 상기 측정시편으로부터 반사되는 광 및 상기 표준시편으로부터 반사되는 광을 동시에 수광할 수 있는 위치에 배치되고,상기 계산기는, 상기 개폐기의 개방 및 폐쇄 시에 상기 검출기에서 검출된 반사광량을 이용하여 상기 표준시편의 반사광량 및 상기 측정시편의 반사광량을 계산하고 상기 계산된 표준시편의 반사광량과 상기 표준시편의 기지된 광학특성을 이용하여 상기 광원으로부터 상기 측정시편으로 입사되는 측정시편의 입사광량을 계산하여 상기 측정시편의 입사광량에 대한 반사광량의 비율인 분광 반사율을 계산하는 것을 특징으로 하는 분광 반사 측정기
2 2
제1항에 있어서,상기 개폐기는 상기 제1 분리광 및 상기 제2 분리광의 진행을 각각 차단하는 제1 개폐기 및 제2 개폐기를 포함하는 것을 특징으로 하는 분광 반사 측정기
3 3
제1항에 있어서,상기 개폐기는 상기 표준시편으로 입사되는 상기 제1 분리광의 진행을 차단하는 것을 특징으로 하는 분광 반사 측정기
4 4
제1항에 있어서,상기 개폐기는 상기 측정시편으로 입사되는 상기 제2 분리광의 진행을 차단하는 것을 특징으로 하는 분광 반사 측정기
5 5
제1항에 있어서,상기 표준시편은 기지(旣知)된 광학특성을 가진 시편인 것을 특징으로 하는 분광 반사 측정기
6 6
제1항에 있어서,상기 광분리기는, 입사되는 광을 반사시키거나 투과시키는 것을 특징으로 하는 분광 반사 측정기
7 7
삭제
8 8
측정시편의 분광 반사율을 측정하는 분광 반사율 측정방법으로서,광원으로부터 조사된 광을 분광기를 통해 기지(旣知)된 광학특성을 가진 표준시편으로 향하는 제1 분리광과 측정시편으로 향하는 제2 분리광으로 분리시키는 광분리단계;상기 표준시편 및 상기 측정시편에서 반사된 광을 검출기를 통해 검출하는 제1 검출단계;상기 제1 분리광 및 상기 제2 분리광 중 어느 하나를 개폐기를 이용하여 차단한 채로 상기 검출기로 입사되는 광을 검출하는 제2 검출단계; 및상기 제1 검출단계 및 상기 제2 검출단계에서 검출된 광량을 이용하여 상기 측정시편의 반사율을 계산하는 반사율 계산단계;를 포함하고,상기 반사율 계산단계는, 상기 제1 검출단계에서 검출된 반사광량 및 상기 제2 검출단계에서 검출된 반사광량을 이용하여 상기 표준시편의 반사광량 및 상기 측정시편의 반사광량을 계산하고, 상기 계산된 표준시편의 반사광량과 상기 표준시편의 기지된 광학특성을 이용하여 상기 광원으로부터 상기 측정시편으로 입사되는 측정시편의 입사광량을 계산한 후, 상기 측정시편의 입사광량에 대한 반사광량의 비율을 계산하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 분광 반사율 측정방법
9 9
삭제
10 10
삭제
11 11
삭제
12 12
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부(산자부) 지식경제부(산자부)(한국반도체연구조합) 기술개발사업(산업기술개발사업) High-k 유전막 증착 in-situ 및 실시간 모니터링용 진공자외선 분광 엘립소미터 개발