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티타늄 금속에 형성된 복수의 관통홀; 상기 관통홀이 형성된 영역 이외의 티타늄 금속의 표면에 형성되고 상기 표면으로부터 내부 방향으로 길이 방향을 이루는 복수 개의 산화티타늄 나노튜브; 및상기 관통홀의 내벽에 형성되고 상기 내벽으로부터 내부 방향으로 길이 방향을 이루는 복수의 산화티타늄 나노튜브를 포함하는 태양전지의 전극
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제2항에 있어서, 상기 산화티타늄 나노튜브는 내부 지름이 1∼300㎚의 크기로 이루어진 것을 특징으로 하는 태양전지의 전극
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제2항에 있어서, 상기 관통홀은 일정 간격으로 주기적으로 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 태양전지의 전극
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티타늄 금속에 돌출기둥 영역을 정의하는 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계;상기 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 사용하여 상기 티타늄 금속을 선택적으로 식각하여 티타늄 금속의 제1 표면으로부터 돌출되어 마이크로 크기의 높이를 갖는 복수의 돌출기둥을 형성하는 단계; 상기 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계; 및양극산화 공정을 이용하여 상기 티타늄 금속의 제1 표면에 상기 제1 표면으로부터 내부 방향으로 길이 방향을 이루는 복수의 산화티타늄 나노튜브를 형성하고 상기 돌출기둥의 표면에 복수의 산화티타늄 나노튜브를 형성하는 단계를 포함하는 태양전지의 전극 제조방법
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티타늄 금속에 관통홀 영역을 정의하는 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계;상기 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 사용하여 상기 티타늄 금속을 선택적으로 식각하여 티타늄 금속을 관통하는 복수의 관통홀을 형성하는 단계; 상기 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계; 및양극산화 공정을 이용하여 상기 관통홀이 형성된 영역 이외의 티타늄 금속의 표면에 상기 표면으로부터 내부 방향으로 길이 방향을 이루는 복수의 산화티타늄 나노튜브를 형성하고 상기 관통홀의 내벽에 상기 내벽으로부터 내부 방향으로 길이 방향을 이루는 복수의 산화티타늄 나노튜브를 형성하는 단계를 포함하는 태양전지의 전극 제조방법
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티타늄 금속에 제1 방향으로 배열된 복수의 티타늄 금속 라인과 제2 방향으로 배열된 복수의 티타늄 금속 라인을 정의하는 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계;상기 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 사용하여 상기 티타늄 금속을 선택적으로 식각하여 제1 방향으로 배열된 복수의 티타늄 금속 라인과 제2 방향으로 배열된 복수의 티타늄 금속 라인을 형성하는 단계; 상기 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계; 및양극산화 공정을 이용하여 상기 제1 방향으로 배열된 티타늄 금속 라인의 표면에 표면으로부터 내부 방향으로 길이 방향을 이루는 복수의 산화티타늄 나노튜브을 형성하고 상기 제2 방향으로 배열된 티타늄 금속 라인의 표면에 표면으로부터 내부 방향으로 길이 방향을 이루는 복수의 산화티타늄 나노튜브를 형성하는 단계를 포함하며, 상기 제1 방향으로 배열된 티타늄 금속 라인과 상기 제2 방향으로 배열된 티타늄 금속 라인은 격자형의 그리드를 이루게 형성하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 전극 제조방법
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제14항 내지 제16항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 식각은 습식 식각을 이용하고, 식각액으로 불산(HF), 불산(HF)과 무기산의 혼합액, 무기산과 과산화수소의 혼합액 또는 시트르산(citric acid)과 과산화수소의 혼합액을 사용하며, 상기 무기산은 염산(HCl), 질산(HNO3), 황산(H2SO4) 및 인산(H3PO4) 중에서 선택된 1종 이상의 물질인 것을 특징으로 하는 태양전지의 전극 제조방법
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제14항 내지 제16항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 식각은 건식 식각을 이용하고, 식각가스로 불소(F)가 포함된 불소계 식각가스, 염소(Cl)가 포함된 염소계 식각가스 또는 불소(F)와 염소(Cl)가 포함된 식각가스를 사용하며, 건식 식각 과정에서 플라즈마 형성을 위해 비활성 가스를 사용하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 전극 제조방법
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제14항에 있어서, 상기 돌출기둥은 밑면적이 1㎛2∼20㎟이고 높이가 1∼200㎛가 되게 형성하고, 상기 돌출기둥은 원뿔대, 원기둥, 다각뿔대 또는 다각기둥 모양으로 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지의 전극 제조방법
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제14항에 있어서, 상기 돌출기둥은 일정 간격으로 주기적으로 배열되게 형성하며, 상기 돌출기둥의 표면에 형성된 복수의 산화티타늄 나노튜브는, 상기 돌출기둥 상면의 표면에서는 상면의 표면으로부터 내부 방향으로 길이 방향을 이루고, 상기 돌출기둥 측면의 표면에서는 측면으로부터 내부 방향으로 길이 방향을 이루게 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지의 전극 제조방법
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제15항에 있어서, 상기 관통홀은 일정 간격으로 주기적으로 배열되게 형성하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 전극 제조방법
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제16항에 있어서, 상기 제1 방향으로 배열된 복수의 티타늄 금속 라인은 일정 간격으로 주기적으로 배열된 복수의 티타늄 금속 라인을 포함하게 형성하고, 상기 제2 방향으로 배열된 복수의 티타늄 금속 라인은 일정 간격으로 주기적으로 배열된 복수의 티타늄 금속 라인을 포함하게 형성하며, 상기 제1 방향으로 배열된 티타늄 금속 라인과 상기 제2 방향으로 배열된 티타늄 금속 라인에 형성된 산화티타늄 나노튜브는, 노출된 제1 표면으로부터 내부 방향으로 길이 방향을 이루는 복수의 산화티타늄 나노튜브;상기 제1 표면에 수직한 제2 표면으로부터 내부 방향으로 길이 방향을 이루는 복수의 산화티타늄 나노튜브;상기 제2 표면에 수직한 제3 표면으로부터 내부 방향으로 길이 방향을 이루는 복수의 산화티타늄 나노튜브; 및상기 제3 표면에 수직한 제4 표면으로부터 내부 방향으로 길이 방향을 이루는 복수의 산화티타늄 나노튜브를 포함하는 태양전지의 전극 제조방법
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제23항에 있어서, 상기 제1 방향으로 배열된 티타늄 금속 라인 사이의 간격과 상기 제2 방향으로 배열된 티타늄 금속 라인 사이의 간격은 동일하게 형성하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 전극 제조방법
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제16항에 있어서, 상기 제1 방향으로 배열된 복수의 티타늄 금속 라인과 상기 제2 방향으로 배열된 복수의 티타늄 금속 라인은 동일한 선폭을 갖게 형성하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 전극 제조방법
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