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초정밀 연삭/연마 및 성형방법을 이용한 기능성 표면 제작 방법

  • 기술번호 : KST2014047612
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 이중 패턴 형성에 의한 미세 패터닝 방법에 관한 것이다. 이는 표면거칠기(surface roughness)을 가진 박막 시트(sheet)와 정해진 형상의 패턴(pattern)이 표면에 형성된 주형(master mold)을 구비하는 단계와; 주형과 정해진 소재의 성형 대상체 사이에 박막 시트가 배치되도록 하고, 성형 대상체가 주형의 표면에 밀착되면서 주형의 패턴과 박막 시트의 표면거칠기가 성형 대상체로 전사되도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.상기와 같이 이루어지는 본 발명의 이중 패턴 형성에 의한 미세 패터닝 방법은, 박막 시트와 주형를 통해 포밍(forming)되는 단순화된 패터닝 공정에 의해 제조생산성의 향상을 도모하고, 다양한 소재에 적용될 수 있을 뿐만 아니라, 특히, 나노 단위(nm)의 표면거칠기를 가진 박막 시트와 마이크로 단위(㎛)의 요홈이 분산 배치된 패턴을 가진 주형을 사용하여 성형 대상체의 표면에 마이크로 단위의 홈 구조와 나노 단위의 홈 구조가 동시에 형성되면서 표면이 초소수성을 띠도록 할 수 있다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01) B21D 31/00 (2006.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020110010199 (2011.02.01)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1222196-0000 (2013.01.08)
공개번호/일자 10-2012-0089071 (2012.08.09) 문서열기
공고번호/일자 (20130114) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.02.01)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이득우 대한민국 부산광역시 해운대구
2 최수창 대한민국 부산광역시 동래구
3 이상민 대한민국 경상남도 창원시 진해구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김성현 대한민국 부산광역시 연제구 중앙대로 ****, *층 (거제동)(아너스특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.02.01 수리 (Accepted) 1-1-2011-0081895-29
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.11.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.12.15 수리 (Accepted) 9-1-2011-0097828-53
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.06.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0328250-54
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0605303-15
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.09.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0715697-79
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.09.05 수리 (Accepted) 1-1-2012-0715674-29
8 등록결정서
Decision to grant
2012.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0795800-97
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
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번호 청구항
1 1
나노 단위(nm)의 표면거칠기(surface roughness)를 갖는 금속 소재의 박막 시트(sheet)와, 마이크로 단위(㎛)의 깊이를 갖는 요홈이 분산 배치되는 패턴(pattern)이 표면에 형성된 주형(master mold)을 구비하는 단계;상기 주형과 초소수성(superhydrophobic) 표면을 갖는 막형 구성물의 성형 대상체 사이에 상기 박막 시트가 배치되도록 하는 단계; 및 상기 성형 대상체가 상기 주형의 표면으로 가압되면서 소성변형되어 상기 성형 대상체의 표면이 마이크로 단위의 패턴과 나노 단위의 표면거칠기를 갖고 초소수성을 띠도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 패턴 형성에 의한 미세 패터닝 방법
2 2
제 1항에 있어서,상기 박막 시트는 연삭 휠을 사용한 연삭 가공공정, ELID(electrolytic in-process dressing) 연삭 가공공정, 전기화학적 연삭 가공공정, 물리화학적 연삭 가공공정, 리소그래피(lithography) 가공공정 군 중에서 선택된 어느 하나의 가공공정에 의해 나노 단위의 표면거칠기를 가지게 되는 것을 특징으로 하는 이중 패턴 형성에 의한 미세 패터닝 방법
3 3
제 1항에 있어서,상기 성형 대상체가 타 대상물의 표면에 부착되면서 방수, 방오, 방빙(anti-freezing), 방담(anti-fogging), 자정(self-cleaning) 기능을 수행하도록 하는 것을 특징으로 하는 이중 패턴 형성에 의한 미세 패터닝 방법
4 4
제 1항에 있어서,상기 주형은 다이아몬드 툴을 사용한 압입 가공공정과 스크래치 가공공정 및 리소그래피 가공공정 군 중에서 선택된 어느 하나의 가공공정에 의해 마이크로 단위(㎛)의 깊이를 가지는 요홈이 분산 배치되는 패턴을 가지게 되는 것을 특징으로 하는 이중 패턴 형성에 의한 미세 패터닝 방법
5 5
제 1항에 있어서,상기 성형 대상체는 프레스기구에 의해 상기 주형과 박막 시트에 정해진 압력으로 포밍(forming)되면서 상기 주형과 상기 박막 시트에 의해 성형되는 것을 특징으로 하는 이중 패턴 형성에 의한 미세 패터닝 방법
6 6
제 1항에 있어서,상기 성형 대상체는 롤투롤 공정(roll to roll process)에도 적용이 가능하도록 상기 주형과 상기 박막 시트에 정해진 압력으로 포밍(forming)되면서 상기 주형과 상기 박막 시트에 의해 성형되는 것을 특징으로 하는 이중 패턴 형성에 의한 미세 패터닝 방법
7 7
제 1항에 있어서,상기 성형 대상체가 상기 주형의 표면에 밀착되면서 상기 주형의 패턴과 상기 박막 시트의 표면거칠기가 상기 성형 대상체로 전사된 후, 상기 박막 시트는 상기 성형 대상체로부터 분리되어 제거되는 것을 특징으로 하는 이중 패턴 형성에 의한 미세 패터닝 방법
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제 1항에 있어서,상기 성형 대상체가 상기 주형의 표면에 밀착되면서 상기 주형의 패턴과 상기 박막 시트의 표면거칠기가 상기 성형 대상체로 전사된 후, 상기 박막 시트는 상기 성형 대상체에 부착되어 상기 성형 대상체와 일체를 이루게 되는 것을 특징으로 하는 이중 패턴 형성에 의한 미세 패터닝 방법
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