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진공 증착시스템에서 사용되는 증발원에 있어서,재료를 담기 위한 PBN(pyrolytic boron nitride, 열분해질화붕소) 도가니와,상기 PBN 도가니의 외부 표면에 증착되고, 전류에 의한 자기장이 시료에 영향을 미치지 않는 가열 패턴이 형성된 제1 발열부와,상기 PBN 도가니의 측면과 상기 제1 발열부를 관통하여 형성된 측면 방출구와,상기 PBN 도가니의 내부 표면 및 상기 방출구의 표면에 형성된 제1 보호막과,상기 제1 발열부와 상기 제1 보호막을 전기적으로 절연시키기 위한 절연부를 포함하는 측면 방출형 증발원
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청구항 1에 있어서,상기 PBN 도가니의 개구부를 덮는 PBN 뚜껑체와,상기 PBN 뚜껑체의 외부 표면에 증착되고, 전류에 의한 자기장이 시료에 영향을 미치지 않는 가열 패턴이 형성된 제2 발열부를 더 포함하는 측면 방출형 증발원
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청구항 3에 있어서,상기 PBN 뚜껑체의 하측 표면에 증착되고, 상기 제2 발열부와 전기적으로 절연되어 있는 제2 보호막을 더 포함하는 측면 방출형 증발원
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청구항 3에 있어서,상기 제1 및 제2 발열부에 전류를 인가했을 때, 상기 제2 발열부의 온도가 상기 제1 발열부의 온도보다 높게 유지되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 측면 방출형 증발원
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청구항 1, 청구항 3 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1 발열부 및 제1 보호막은 500 마이크로미터 이하의 열분해 흑연(PG, Pyrolytic Graphite)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 측면 방출형 증발원
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청구항 1, 청구항 3 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,상기 발열부의 패턴은 대칭형인 것을 특징으로 하는 측면 방출형 증발원
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진공 증착 시스템의 증발원 제작방법에 있어서, PBN 도가니를 준비하는 단계와, 상기 PBN 도가니의 측면에 소정 크기의 방출구를 형성하는 단계와, 상기 PBN 도가니의 내부 및 외부 표면에 마이크로미터 단위의 PG를 증착하여 상기 PBN 도가니의 외부표면에 제1 발열층과 내부표면에 제1 보호막을 형성하는 단계와, 상기 PBN 도가니 외부 표면에 형성된 제1 발열층에 전류에 의한 자기장이 시료에 영향을 미치지 않는 가열 패턴을 형성하는 단계와, 상기 제1 발열층과 제1 보호막을 전기적으로 절연시키는 절연부를 형성하는 단계를 포함하는 측면 방출형 증발원 제조 방법
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청구항 10에 있어서,상기 PBN 도가니를 덮고, 증발을 위한 방출구가 형성된 PBN 뚜껑체를 준비하는 단계와, 상기 PBN 뚜껑체의 내부 및 외부 표면에 마이크로미터 단위의 PG를 증착하여 상기 PBN 뚜껑체의 외부 표면에 제2 발열층과 내부 표면에 제2 보호막을 형성하는 단계와, 상기 PBN 뚜껑체의 외부 표면에 형성된 상기 제2 발열층에 전류에 의한 자기장이 시료에 영향을 미치지 않는 가열 패턴을 형성하는 단계와, 상기 제2 발열층과 상기 제2 보호막을 전기적으로 절연시키기 위한 절연부를 형성하는 단계를 더 포함하는 측면 방출형 증발원 제조 방법
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청구항 1, 청구항 3 내지 청구항 5 중 어느 한 항 기재의 측면 방출형 증발원을 포함하는 증발기
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청구항 12에 있어서, 상기 증발기는 진공 플랜지 및 전원공급용전극을 포함하고, 상기 전원공급용전극을 지지대로 하여 상기 증발원이 상기 진공플랜지에 장착되는 것을 특징으로 하는 증발기
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청구항 13에 있어서,상기 전원공급용전극은 상기 PBN 도가니에 형성된 측면 방출구로부터 소정거리 떨어진 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 증발기
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