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균일한 코팅이 가능한 코팅 장치

  • 기술번호 : KST2014049858
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 피코팅체에 균일한 코팅층의 형성이 가능한 코팅 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 피코팅체의 형상 변화에 따라 타겟홀더가 자동적으로 이동하여 피코팅체와 타겟간의 거리가 일정하게 유지되는 것이 가능하여 균일한 코팅층을 형성시킬 수 있는 코팅 장치에 관한 것이다.본 발명은 진공 공간내에서 방전을 통하여 피코팅체의 코팅을 구현하도록 제공되는 타겟이 구비되며, 구동수단을 매개로 상하 이동이 가능한 타겟홀더; 및 상기 구동수단과 전기적으로 연계되어 있고, 피코팅체와 타겟간의 거리측정을 매개로 피코팅체의 형상변화에 대응하여 코팅이 균일하게 되도록 상기 구동수단에 상기 거리 측정 결과를 제공하는 거리 측정계를 포함하여 구성되는 균일한 코팅이 가능한 코팅장치를 제공한다.본 발명의 일측면에 따르면, 피코팅체의 형상이 변화하더라도 이에 대응하여 피코팅체와 타겟간의 거리가 일정하게 유지될 수 있는 코팅 장치를 제공할 수 있으며, 이를 통해, 일정한 두께의 코팅층을 피코팅체에 형성시킬 수 있다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01)
CPC C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01)
출원번호/일자 1020110041215 (2011.04.30)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1255591-0000 (2013.04.04)
공개번호/일자 10-2012-0122820 (2012.11.07) 문서열기
공고번호/일자 (20130416) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.12)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송영식 대한민국 인천광역시 계양구
2 정윤화 대한민국 인천광역시 연수구
3 임태홍 대한민국 경기도 용인시 수지구
4 이효수 대한민국 인천광역시 연수구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인씨엔에스 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2011-0322744-86
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2011.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2011-0349989-20
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.05.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.06.01 수리 (Accepted) 9-1-2012-0044754-87
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.11.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0660488-12
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.01.02 수리 (Accepted) 1-1-2013-0001819-96
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.01.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0020882-42
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.01.08 수리 (Accepted) 1-1-2013-0020881-07
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
12 등록결정서
Decision to grant		 2013.04.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0219603-89
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
진공 공간내에서 방전을 통하여 피코팅체의 코팅을 구현하도록 제공되는 타겟이 구비되며, 구동수단을 매개로 상하 이동이 가능한 타겟홀더; 및상기 구동수단과 전기적으로 연계되어 있고, 피코팅체와 타겟간의 거리측정을 매개로 피코팅체의 형상변화에 대응하여 코팅이 균일하게 되도록 상기 구동수단에 상기 거리 측정 결과를 제공하는 거리 측정계를 포함하여 구성되고,상기 거리 측정계는 하기 (a), (b) 및 (c) 중 하나 이상의 조건을 만족하도록 구비되며,상기 피코팅체는 회전하는 것을 특징으로 하는 균일한 코팅이 가능한 코팅장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 거리 측정계는 장치 제어부를 통하여 상기 구동수단과 연계되어 상기 피코팅체와 상기 타겟간의 거리변동에 대하여 타겟홀더와 피코팅체간 거리를 일정하게 유지하도록 구성되는 균일한 코팅이 가능한 코팅장치
3 3
제1항에 있어서, 상기 거리 측정계는 레이저 혹은 적외선을 발신 및 수신할 수 있는 균일한 코팅이 가능한 코팅장치
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서, 상기 거리 측정계는 코팅 물질에 의한 오염을 방지하기 위하여 오염방지막을 구비하는 균일한 코팅이 가능한 코팅장치
6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서, 상기 거리 측정계는 상기 (b) 또는 (c)의 조건을 만족하고, 상기 거리 측정계는 코팅 물질에 의한 오염을 방지하기 위하여 상기 거리 측정계 내부 또는 외부에 셔터를 구비하는 균일한 코팅이 가능한 코팅장치
8 8
삭제
9 9
제1항에 있어서, 상기 피코팅체는 반사층을 구비하는 균일한 코팅이 가능한 코팅장치
10 10
삭제
11 11
제1항에 있어서, 상기 코팅은 컬러 코팅인 것을 특징으로 하는 균일한 코팅이 가능한 코팅장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.