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상, 하 방향으로 움직이는 지그베이스;상기 지그베이스의 이동을 따라 상, 하 방향으로 이동하고, 접합대상물을 가압하는 가압면이 하부에 형성된 가압부재;상기 지그베이스의 하부에 이격되어 배치되는 스테이지에 위치하며, 인가되는 주파수에 따라 진동을 하는 초음파혼; 및상부에 기판 및 칩이 위치하며, 상기 초음파혼과 결합되어 상기 초음파혼의 진동에 의한 진동에너지를 상기 기판 및 칩에 전달하는 고정지그;를 포함하는 초음파 접합장치
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제1항에 있어서,상기 스테이지와 상기 초음파혼의 사이에는 상기 초음파혼에서 발생하는 진동이 상기 스테이지로 전달되는 것을 차단하는 진동차단부가 구비되는 초음파 접합장치
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제1항에 있어서,상기 지그베이스와 상기 가압부재 사이에 결합되어 상기 가압부재와 상기 지그베이스 사이에 탄성력을 제공하며, 상기 가압면이 접합대상물과 면접촉을 하도록 상기 가압부재를 상기 지그베이스에 이동 가능하도록 결합시키는 탄성부재를 더 포함하는 초음파 접합장치
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제3항에 있어서,상기 가압부재는 가압면이 형성된 가압부, 상기 가압부의 둘레를 따라 돌출 형성된 탄성부재 고정부를 포함하고,상기 탄성부재는 상기 고정부 및 상기 지그베이스 사이에 결합되는 초음파 접합장치
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제4항에 있어서,상기 지그베이스에는 삽입홀이 형성되고, 상기 고정부에는 고정홀이 형성되며,상기 탄성부재는 상기 지그베이스의 상면에 지지되면서 상기 삽입홀에 끼워지는 샤프트지지부, 일단이 상기 샤프트지지부에 이동이 가능하도록 끼움결합이 되고, 타단이 상기 고정홀에 고정되는 샤프트 및 상기 샤프트에 끼워져서 상기 지그베이스 및 상기 고정부 사이에 탄성력을 제공하는 스프링을 더 포함하는 초음파 접합장치
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제1항에 있어서,상기 가압면에 구비되어 상기 가압면과 접촉대상물이 면접촉 여부를 판단하는 센싱부 및 상기 센싱부의 센싱결과에 따라 상기 지그베이스의 상, 하 방향 이동을 제어하는 제어부를 더 포함하는 초음파 접합장치
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제1항에 있어서,상기 스테이지와 상기 고정지그 사이에 결합되어 상기 스테이지와 상기 고정지그 사이에 탄성력을 제공하며, 상기 가압면이 접합대상물과 면접촉을 하도록 상기 가압부재를 상기 스테이지에 이동 가능하도록 결합시키는 탄성부재를 더 포함하는 초음파 접합장치
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제7항에 있어서,상기 고정지그는 상기 칩 또는 기판이 안착되는 안착면이 상부에 형성된 지지부, 상기 지지부의 둘레를 따라 돌출 형성된 탄성부재 고정부를 포함하고,상기 탄성부재는 상기 고정부 및 상기 스테이지 사이에 결합되는 초음파 접합장치
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제8항에 있어서,상기 탄성부재 고정부에는 삽입홀이 형성되며,상기 탄성부재는 일단이 상기 스테이지에 고정되고 타단이 상기 삽입홀에 이동이 가능하도록 끼움 결합되는 샤프트 및 상기 샤프트에 끼워져서 상기 스테이지 및 상기 고정부 사이에 탄성력을 제공하는 스프링을 더 포함하는 초음파 접합장치
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