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상, 하 방향으로 움직이는 지그베이스;제1결합부가 형성된 몸체부 및 상기 제1결합부에 착탈 가능하게 결합되는 제2결합부가 형성되어 상기 몸체부에 착탈 가능하도록 결합되며, 접합대상물을 가압하는 가압면이 하부에 형성된 가압부를 포함하는 가압부재;상기 지그베이스와 상기 가압부재 사이에 결합되어 상기 가압부재와 상기 지그베이스 사이에 탄성력을 제공하며, 상기 가압면이 접합대상물과 면접촉을 하도록 상기 가압부재를 상기 지그베이스에 이동 가능하도록 결합시키는 탄성부재; 및인가되는 주파수에 따라 진동을 하고, 상기 가압부재의 가압면을 통하여 접합대상물에 진동이 전달되도록 가압부재에 결합되는 초음파혼;을 포함하는 초음파 접합장치
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제1항에 있어서,상기 가압부재는 상기 가압부의 둘레를 따라 돌출 형성된 탄성부재 고정부를 포함하고,상기 탄성부재는 상기 고정부 및 상기 지그베이스 사이에 결합되는 초음파 접합장치
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제2항에 있어서,상기 지그베이스에는 삽입홀이 형성되고, 상기 고정부에는 고정홀이 형성되며,상기 탄성부재는 상기 지그베이스의 상면에 지지되면서 상기 삽입홀에 끼워지는 샤프트지지부, 일단이 상기 샤프트지지부에 이동이 가능하도록 끼움결합이 되고, 타단이 상기 고정홀에 고정되는 샤프트 및 상기 샤프트에 끼워져서 상기 지그베이스 및 상기 고정부 사이에 탄성력을 제공하는 스프링을 더 포함하는 초음파 접합장치
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제1항에 있어서,상기 가압부재의 상면에는 상기 초음파혼이 삽입되는 초음파혼 고정부가 형성되고, 상기 초음파혼에는 상기 초음파혼 고정부가 끼워지는 삽입홀이 형성되며,상기 초음파혼 고정부가 끼워지는 삽입부가 형성되고, 상기 초음파혼의 상부에 결합되어 상기 초음파혼을 상기 가압부재의 상면에 고정시키는 고정부재를 더 포함하는 초음파 접합장치
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제1항에 있어서,상기 가압면에 구비되어 강기 가압면과 접촉대상물이 면접촉 여부를 판단하는 센싱부 및 상기 센싱부의 센싱결과에 따라 상기 지그베이스의 상, 하 방향 이동을 제어하는 제어부를 더 포함하는 초음파 접합장치
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상, 하 방향으로 움직이는 지그베이스;제1결합부가 형성된 몸체부 및 상기 제1결합부에 착탈 가능하게 결합되는 제2결합부가 형성되어 상기 몸체부에 착탈 가능하도록 결합되며, 접합대상물을 가압하는 가압면이 하부에 형성된 가압부를 포함하는 가압부재;상기 지그베이스의 하부에 이격되어 배치되는 스테이지에 위치하며, 인가되는 주파수에 따라 진동을 하는 초음파혼; 및상부에 기판 및 칩이 위치하며, 상기 초음파혼과 결합되어 상기 초음파혼의 진동에 의한 진동에너지를 상기 기판 및 칩에 전달하는 고정지그;를 포함하는 초음파 접합장치
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제6항에 있어서,상기 스테이지와 상기 초음파혼의 사이에는 상기 초음파혼에서 발생하는 진동이 상기 스테이지로 전달되는 것을 차단하는 진동차단부가 구비되는 초음파 접합장치
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8
제6항에 있어서,상기 지그베이스와 상기 가압부재 사이에 결합되어 상기 가압부재와 상기 지그베이스 사이에 탄성력을 제공하며, 상기 가압면이 접합대상물과 면접촉을 하도록 상기 가압부재를 상기 지그베이스에 이동 가능하도록 결합시키는 탄성부재를 더 포함하는 초음파 접합장치
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제8항에 있어서,상기 가압부재는 가압면이 형성된 가압부, 상기 가압부의 둘레를 따라 돌출 형성된 탄성부재 고정부를 포함하고,상기 탄성부재는 상기 고정부 및 상기 지그베이스 사이에 결합되는 초음파 접합장치
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제9항에 있어서,상기 지그베이스에는 삽입홀이 형성되고, 상기 고정부에는 고정홀이 형성되며,상기 탄성부재는 상기 지그베이스의 상면에 지지되면서 상기 삽입홀에 끼워지는 샤프트지지부, 일단이 상기 샤프트지지부에 이동이 가능하도록 끼움결합이 되고, 타단이 상기 고정홀에 고정되는 샤프트 및 상기 샤프트에 끼워져서 상기 지그베이스 및 상기 고정부 사이에 탄성력을 제공하는 스프링을 더 포함하는 초음파 접합장치
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