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두께 측정 장치

  • 기술번호 : KST2014052431
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 두께 측정 장치 및 두께 측정 방법을 제공하는 것이다. 이 두께 측정 장치는 제1 파장 및 제2 파장의 레이저 빔을 순차적으로 투명 기판의 제1 위치에 조사하는 파장 가변 레이저; 상기 투명 기판을 투과한 투과 빔을 검출하는 광 검출기;및 제1 파장의 제1 투과 빔의 세기와 상기 제2 파장의 제2 투과 빔의 세기를 이용한 리자주 그래프에서 회전각, 상기 제1 위치에서 상기 투명 기판의 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 광 경로의 차이(the difference in optical path length), 또는 상기 제1 위치에서 상기 투명 기판의 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 위상 차이를 추출하는 처리부를 포함한다.
Int. CL G01B 11/06 (2006.01)
CPC G01B 11/06(2013.01) G01B 11/06(2013.01)
출원번호/일자 1020130078753 (2013.07.05)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1554203-0000 (2015.09.14)
공개번호/일자 10-2015-0005794 (2015.01.15) 문서열기
공고번호/일자 (20150921) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.07.05)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재완 대한민국 대전 유성구
2 김종안 대한민국 대전 유성구
3 강주식 대한민국 대전광역시 유성구
4 진종한 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 누리 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.07.05 수리 (Accepted) 1-1-2013-0605582-60
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.06.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.10.13 수리 (Accepted) 9-1-2014-0077939-68
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.01.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0027168-95
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.03.03 수리 (Accepted) 1-1-2015-0210394-09
7 보정요구서
Request for Amendment		 2015.05.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0081369-67
8 등록결정서
Decision to grant		 2015.07.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0498332-01
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1 파장 및 제2 파장의 레이저 빔을 순차적으로 투명 기판의 제1 위치에 조사하는 파장 가변 레이저;상기 투명 기판을 투과한 투과 빔을 검출하는 광 검출기;및제1 파장의 제1 투과 빔의 세기와 상기 제2 파장의 제2 투과 빔의 세기를 이용한 리자주 그래프에서 회전각, 상기 제1 위치에서 상기 투명 기판의 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 광 경로의 차이(the difference in optical path length), 또는 상기 제1 위치에서 상기 투명 기판의 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 위상 차이를 추출하는 처리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
2 2
제1 항에 있어서,상기 제1 파장의 제1 투과 빔의 세기는 위상 차이에 따라 코사인 함수를 가지고, 상기 제2 파장의 제2 투과 빔의 세기는 위상 차이에 따라 사인 함수를 가지는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
3 3
제1 항에 있어서,상기 투명 기판를 이동시키는 이송부; 및상기 이송부를 구동하는 이송 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
4 4
제1 파장의 레이저 빔을 투명 기판의 제1 위치에 조사하는 단계;투명 기판을 투과한 제1 파장의 제1 투과 빔을 검출하는 단계;상기 레이저 빔의 파장을 제2 파장으로 변경하여 제2 파장의 레이저 빔을 상기 투명 기판의 상기 제1 위치에 조사하는 단계;상기 투명 기판을 투과한 제2 파장의 제2 투과 빔을 검출하는 단계; 및상기 제1 파장의 상기 제1 투과 빔의 세기와 상기 제2 파장의 상기 제2 투과 빔의 세기를 이용한 리자주 그래프에서 회전각, 상기 제1 위치에서 상기 투명 기판의 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 광 경로의 차이(the difference in optical path length), 또는 상기 제1 위치에서 상기 투명 기판의 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 위상 차이를 추출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 방법
5 5
제4 항에 있어서,상기 투명 기판의 상기 제1 위치를 변경하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 방법
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1 CN104279968 CN 중국 FAMILY
2 JP27014601 JP 일본 FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN104279968 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN104279968 CN 중국 DOCDBFAMILY
3 JP2015014601 JP 일본 DOCDBFAMILY
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