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고주파 가속 공동을 이용한 이온 주입장치

  • 기술번호 : KST2014053979
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 고주파 가속 공동을 이용한 이온 주입장치는 입구홀과 출구홀이 구비된 진공챔버, 상기 진공챔버의 입구홀과 출구홀에 가속홀이 정열되도록 배치된 가속홀을 구비한 한 쌍의 가속전극, 상기 진공챔버 내에 배치되며 상기 양 가속전극에 양단이 접속되고 중간부가 진공챔버에 연결된 코일, 및 고주파원을 포함한다. 본 발명은 가속 공동에 코일을 구비하여 공진주파수를 낮춤으로써 비교적 낮은 주파수의 고주파 발생기를 사용하여 이온을 가속할 수 있는 효과가 있다. 공진주파수, 코일, 가속 공동
Int. CL H01J 37/30 (2006.01) H01L 21/265 (2006.01)
CPC H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01)
출원번호/일자 1020090130997 (2009.12.24)
출원인 한국원자력연구원
등록번호/일자 10-1103737-0000 (2012.01.02)
공개번호/일자 10-2011-0074123 (2011.06.30) 문서열기
공고번호/일자 (20120111) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.12.24)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조용섭 대한민국 대전광역시 서구
2 장지호 대한민국 대전광역시 서구
3 김한성 대한민국 대전광역시 유성구
4 권혁중 대한민국 대전광역시 유성구
5 박범식 대한민국 대전광역시 동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.12.24 수리 (Accepted) 1-1-2009-0802783-23
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.01.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.01.28 수리 (Accepted) 9-1-2011-0006382-81
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.03.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0162019-30
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.05.17 수리 (Accepted) 1-1-2011-0365157-36
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.05.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0365155-45
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2011.09.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0524572-58
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.11.16 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2011-0906520-08
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.11.16 수리 (Accepted) 1-1-2011-0906521-43
10 등록결정서
Decision to grant
2011.12.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0766842-90
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2012-5134067-95
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.16 수리 (Accepted) 4-1-2014-5109542-64
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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입구홀과 출구홀이 구비된 진공챔버, 상기 진공챔버의 입구홀과 출구홀에 가속홀이 정열되도록 배치된 가속홀을 구비한 한 쌍의 가속전극, 상기 진공챔버 내에 배치되며 상기 양 가속전극에 양단이 접속되고 중간부가 진공챔버에 연결된 코일, 및 상기 진공챔버에 고주파를 공급하는 고주파원을 포함하는 고주파 가속 공동이 각 가속홀이 정열되도록 복수개 직렬 배치되고, 상기 각 고주파 가속 공동 사이에는 집속 장치가 구비된 고주파 가속 공동을 이용한 이온 주입장치에 있어서, 상기 고주파 가속 공동의 적어도 어느 하나는 이온 통과홀이 구비된 접지전극을 더 포함하며, 상기 접지전극은 한 쌍의 가속전극 사이에 이온 통과홀이 상기 가속전극의 가속홀과 정열되도록 배치된 고주파 가속 공동을 이용한 이온 주입장치
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제1항에 있어서, 상기 진공챔버를 배기하여 진공으로 유지하는 진공배기부를 더 포함하는 고주파 가속 공동을 이용한 이온 주입장치
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6 6
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국원자력연구원 양성자 기반공학 기술개발사업 빔라인 개발