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빔 방향제어기에 포함된 거울을 제어하여, 윗면 스캔부, 옆면 스캔부, 또는 앞면 스캔부 중 어느 하나의 면적 스캐닝부로 측정용 레이저 빔을 입력하고, 측정시편의 복수의 표면에 상기 측정용 레이저 빔을 조사하며, 상기 조사된 측정용 레이저 빔에 상응하는 반사 레이저 빔을 이용하여, 레이저 간섭 신호를 생성하는 레이저 간섭부;상기 입력된 측정용 레이저 빔을 조절하여, 상기 측정시편의 윗면, 옆면, 또는 앞면 중 어느 하나의 표면에 대한 스캐닝을 수행하는 면적 스캐닝부; 및상기 생성된 레이저 간섭 신호를 수집하여 상기 복수의 표면에 대한 초음파 공명 신호를 각각 추출하는 신호 수집부를 포함하는 레이저초음파를 이용한 비접촉식 탄성 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 면적 스캐닝부는,상기 측정용 레이저 빔을, X축 스캐닝 미러 또는 Y축 스캐닝 미러로 조절하여, 상기 측정시편의 표면에 대한 스캐닝을 수행하는, 레이저초음파를 이용한 비접촉식 탄성 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 레이저 간섭부는,측정용 레이저에서 발생되는 레이저 빔을, 기준 레이저 빔과 상기 측정용 레이저 빔으로 분할하는 빔 분할기; 및상기 조사된 측정용 레이저 빔에 상응하여 상기 측정시편으로부터 반사되는 상기 반사 레이저 빔과 상기 기준 레이저 빔을 이용하여, 상기 레이저 간섭 신호를 생성하는 광굴절결정기를 포함하는 레이저초음파를 이용한 비접촉식 탄성 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 신호 수집부는,상기 추출된 초음파 공명 신호 각각에 대해 주파수 변환하여 주파수 스펙트럼을 산출하고, 각각 산출된 상기 주파수 스펙트럼을 합산하여, 상기 측정시편에 대한 종합 초음파 공명 신호의 생성시 이용하는, 레이저초음파를 이용한 비접촉식 탄성 측정 장치
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제5항에 있어서,상기 신호 수집부는,상기 주파수 스펙트럼에 대해, 로렌지안 피팅(Lorentzian fitting)을 실행하고,상기 실행 결과, 피팅 에러율이 기준 범위 미만일 경우, 상기 종합 초음파 공명 신호를 유효한 공명 주파수 신호로 판단하는, 레이저초음파를 이용한 비접촉식 탄성 측정 장치
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제5항에 있어서,상기 비접촉식 탄성 측정 장치는,상기 생성된 종합 초음파 공명 신호에 대한 신호 처리를 수행하여, 상기 측정시편에 대한 탄성 정보를 산출하는 신호 처리부를 더 포함하는 레이저초음파를 이용한 비접촉식 탄성 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 측정시편에 펄스레이저 빔을 조사하여, 상기 측정시편에서 상기 초음파 공명 신호를 발생시키는 레이저초음파 생성부; 및상기 펄스레이저 빔 중에서 설정된 기준치 이하의 강도를 갖는 빔외곽 부분을 제거하는 파워 증강부를 더 포함하는 레이저초음파를 이용한 비접촉식 탄성 측정 장치
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제8항에 있어서,상기 파워 증강부는,파워 증강판에 구비된 홀(hole)을 통과하는 펄스레이저 빔이 상기 측정시편에 조사되도록 하여, 상기 측정시편의 내부에서 발생되는 초음파 공명 신호의 강도를 증가시키는, 레이저초음파를 이용한 비접촉식 탄성 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 측정시편이 지지되는 시편 지지대는,상기 초음파 공명 신호에 의한, 상기 측정시편의 표면 변이가 최소인 노드점에 위치하는, 레이저 레이저초음파를 이용한 비접촉식 탄성 측정 장치
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