| 1 |
1
광대역의 가간섭 광을 조사하는 광원부;입력단으로 상기 광원부의 입사광을 제공받아 제1 출력단 및 제2 출력단으로 제1 입사광 및 제2 입사광을 각각 분기하는 제1 광섬유 커플러;상기 제1 광섬유 커플러의 제2 출력단으로부터 상기 제2 입사광을 제공받는 제1 단자, 상기 제1 단자로부터 제공받은 상기 제1 입사광을 샘플에 제공하는 제2 단자, 및 상기 샘플에서 반사된 반사광을 상기 제2 단자로 제공받아 출력하는 제3 단자를 포함하는 광 서큘레이터;상기 제1 광섬유 커플러의 제1 출력단으로부터 제1 입사광을 제공받는 제1 입력단, 상기 반사광을 제공받는 제2 입력단, 및 상기 제1 입사광과 상기 반사광을 결합하여 출력하는 출력단을 포함하는 제2 광섬유 커플러; 상기 제2 광섬유 커플러의 출력광을 제공받아 파장에 따라 간섭광의 세기를 측정하는 스펙트럼 분석기;상기 광 서큘레이터의 상기 제3 단자에 연결되어 상기 반사광을 제공받는 입력단, 상기 반사광을 분기하여 상기 제2 광섬유 커플러의 제2 입력단에 제공하는 제1 출력단, 및 상기 반사광을 분기하여 출력하는 제2 출력단을 포함하는 제3 광섬유 커플러; 상기 제3 광섬유 커플러의 출력단의 반사광을 제공받아 특정한 파장을 선택하여 출력하는 파장 선택 필터; 및상기 파장 선택 필터의 출력광의 세기를 검출하는 광 검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장치
|
| 2 |
2
광대역의 가간섭 광을 조사하는 광원부;입력단으로 상기 광원부의 입사광을 제공받아 제1 출력단 및 제2 출력단으로 제1 입사광 및 제2 입사광을 각각 분기하는 제1 광섬유 커플러;상기 제1 광섬유 커플러의 제2 출력단으로부터 상기 제2 입사광을 제공받는 제1 단자, 상기 제1 단자로부터 제공받은 상기 제1 입사광을 샘플에 제공하는 제2 단자, 및 상기 샘플에서 반사된 반사광을 상기 제2 단자로 제공받아 출력하는 제3 단자를 포함하는 광 서큘레이터;상기 제1 광섬유 커플러의 제1 출력단으로부터 제1 입사광을 제공받는 제1 입력단, 상기 반사광을 제공받는 제2 입력단, 및 상기 제1 입사광과 상기 반사광을 결합하여 출력하는 출력단을 포함하는 제2 광섬유 커플러; 상기 제2 광섬유 커플러의 출력광을 제공받아 파장에 따라 간섭광의 세기를 측정하는 스펙트럼 분석기; 상기 광 서큘레이터의 제3 단자에 연결된 광섬유의 말단에 배치된 렌즈부; 및상기 렌즈부와 상기 광 서큘레이터의 제3 단자 사이에 배치된 광 스위치를 포함하고,상기 광 스위치는 상기 광 서큘레이터로부터 제공되는 상기 입사광을 복수의 출력단 중에서 어느 하나의 출력단에 제공하는 것을 특징으로 하는 광학 장치
|
| 3 |
3
제1 항 또는 제2 항에 있어서,상기 스펙트럼 분석기의 출력 신호를 제공받아 상기 샘플의 깊이 정보를 추출하는 처리부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장치
|
| 4 |
4
제1 항에 있어서,상기 스펙트럼 분석기의 출력 신호를 제공받아 상기 샘플의 깊이 정보를 추출하고, 상기 광 검출기의 출력 신호를 제공받아 상기 샘플의 표면 형상 정보를 추출하는 처리부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장치
|
| 5 |
5
제1 항 또는 제2 항에 있어서,상기 광 서큘레이터의 제3 단자에 연결된 광섬유의 말단에 배치된 렌즈부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장치
|
| 6 |
6
삭제
|
| 7 |
7
제1 항 또는 제2 항에 있어서,상기 제1 광섬유 커플러의 제1 출력단과 상기 제2 광섬유 커플러의 제1 입력단 사이에 배치된 광경로 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장치
|
| 8 |
8
광대역의 입사광을 제1 광섬유 커플러를 사용하여 기준 암 경로 및 샘플 암 경로로 분기하는 단계;광 서큘레이터를 사용하여 상기 샘플 암 경로에 제공된 입사광을 샘플에 제공하고 상기 샘플에서 반사된 반사광을 샘플 암 경로에 제공하는 단계; 상기 샘플 암 경로의 반사광과 상기 기준 암 경로의 입사광을 제2 광섬유 커플러를 사용하여 결합하여 간섭 신호를 생성하는 단계;상기 간섭 신호를 분석하여 상기 샘플의 표면 깊이 정보를 추출하는 단계;상기 광 서큘레이터가 제공하는 상기 샘플에서 반사된 광을 분기하여 특정 파장을 선택하여 상기 반사광의 세기를 검출하는 단계; 및상기 샘플에 조사되는 입사광의 위치를 변경하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 형상 측정 방법
|
| 9 |
9
제8 항에 있어서,위치에 따른 상기 반사광의 세기는 상기 샘플의 형상 정보를 제공하고, 상기 간섭 신호는 상기 샘플의 표면 깊이 정보를 제공하는 것을 특징을 하는 표면 형상 측정 방법
|
