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중앙부에 절곡부가 형성되는 콘택트 핑거(contact finger) 복수개가 일렬로 배치되어 이송되는 도중에 상기 중앙부를 선택적으로 가열시키는 1단계;상기 콘택트 핑거를 코팅 용액이 담긴 코팅액 용기에 침지하여 딥코팅(Dip coating)함으로써 상기 콘택트 핑거의 전체 표면에 코팅부를 형성하는 2단계; 및상기 코팅부의 양 단부를 제거하는 3단계를 포함하는 반도체 검사용 콘택트 핑거의 국부 코팅 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 1단계의 가열은 레이저 가열 장치, 적외선 가열 램프, UV 램프 또는 할로겐 램프를 이용하여 수행되는 반도체 검사용 콘택트 핑거의 국부 코팅 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 코팅 용액은 이소프로필 알코올 또는 메틸에틸케톤을 용매로 하여 폴리실라잔(polysilazane), 실세스큐옥산(Silsesquioxane) 및 실란(Silane) 화합물을 포함하여 제조되는 반도체 검사용 콘택트 핑거의 국부 코팅 방법
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청구항 3에 있어서, 상기 코팅 용액은 색소를 더 포함하는 반도체 검사용 콘택트 핑거의 국부 코팅 방법
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청구항 3에 있어서, 상기 코팅액 용기는 상온으로 유지되는 반도체 검사용 콘택트 핑거의 국부 코팅 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 2단계가 먼저 수행되고, 이후에 상기 1단계가 수행되는 반도체 검사용 콘택트 핑거의 국부 코팅 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 2단계 및 3단계 사이에 상기 코팅부를 건조시키는 단계를 더 포함하고,상기 3단계 이후에, 상기 코팅부를 재경화시키는 단계를 더 포함하는 반도체 검사용 콘택트 핑거의 국부 코팅 방법
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청구항 1 내지 청구항 7중 어느 한 항에 있어서, 상기 각 단계들은 릴투릴(reel to reel) 장치에 의해 이송되는 상기 콘택트 핑거에 수행되는 반도체 검사용 콘택트 핑거의 국부 코팅 방법
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청구항 1 내지 청구항 7중 어느 한 항에 따른 반도체 검사용 콘택트 핑거의 국부 코팅 방법에 의해 코팅되는 콘택트 핑거에 있어서, 상기 콘택트 핑거는 중앙부에 유연성 및 절연성을 갖는 코팅부가 형성되는 것을 특징으로 하는 콘택트 핑거
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