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그래핀 필름의 패터닝 방법

  • 기술번호 : KST2014057046
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 그래핀 필름의 패터닝 방법에 관한 것으로, 하나의 예로서, 그래핀이 코팅된 제1 기판과 패턴화된 접착층이 형성된 제2 기판을 합지하되, 제1 기판 상의 그래핀과 제2 기판 상에 패턴화된 접착층이 대면하도록 합지하는 단계; 및합지된 제1 기판과 제2 기판을 분리하는 단계를 포함할 수 있다.본 발명에 따른 제1 기판 및 제2 기판에 플라즈마를 처리함으로써 높은 접착력을 통해 패턴의 질을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 그래핀 패터닝 방법은 1 싸이클의 그래핀 패터닝 과정을 통해, 2 개의 그래핀이 패터닝된 기판을 얻을 수 있고, 추가적인 식각 및 후처리 공정이 필요하지 않아 공정 시간 단축 및 공정 비용을 절감할 수 있다.
Int. CL C01B 31/02 (2006.01) C23C 16/00 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC C01B 32/184(2013.01) C01B 32/184(2013.01) C01B 32/184(2013.01)
출원번호/일자 1020120050778 (2012.05.14)
출원인 중앙대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1364593-0000 (2014.02.12)
공개번호/일자 10-2013-0127114 (2013.11.22) 문서열기
공고번호/일자 (20140221) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.05.14)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 중앙대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 동작구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장석태 대한민국 서울 서초구
2 김남희 대한민국 대전 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 중앙대학교 산학협력단 서울특별시 동작구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.05.14 수리 (Accepted) 1-1-2012-0382280-22
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.07.02 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.08.09 수리 (Accepted) 9-1-2013-0066347-57
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.09.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0656619-92
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.11.25 수리 (Accepted) 1-1-2013-1072757-29
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.11.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1072767-86
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000494-54
8 등록결정서
Decision to grant
2014.01.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0067586-58
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2014-5123944-33
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.04 수리 (Accepted) 4-1-2018-5125629-51
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.29 수리 (Accepted) 4-1-2019-5151122-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.01 수리 (Accepted) 4-1-2019-5153932-16
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
그래핀이 코팅된 제1 기판과 패턴화된 접착층이 형성된 제2 기판을 합지하되, 제1 기판 상의 그래핀과 제2 기판 상에 패턴화된 접착층이 대면하도록 합지하는 단계; 및합지된 제1 기판과 제2 기판을 분리하는 단계를 포함하고,상기 그래핀이 코팅된 제1 기판은, 제1 기판 상에 그래핀 산화물을 코팅하는 단계; 및코팅된 그래핀 산화물을 환원한 후, 산소 또는 에어 플라즈마를 처리하는 단계를 통해 제조하는 그래핀 패터닝 방법
2 2
제 1 항에 있어서,제1 기판 및 제2 기판은 서로 독립적으로 유리, 고분자 필름, 실리콘디옥사이드 또는 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 그래핀 패터닝 방법
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서,제1 기판 상에 그래핀 산화물을 코팅하는 단계는, 왕복 선형운동 기기와 평행하게 놓인 제1 기판 및 상기 왕복 선형운동 기기에 연결되어 있으면서 상기 제1 기판과 접촉하고 있는 증착판의 접촉에 의해 형성된 둔각의 방향으로 그래핀 산화물 용액을 주입하는 단계; 및제1 기판과 증착판을 접촉시킨 상태에서 왕복 선형운동을 통해 상기 제1 기판 상에 그래핀 산화물 용액을 코팅하는 단계를 포함하는 그래핀 패터닝 방법
5 5
제 4 항에 있어서,제1 기판과 증착판의 접촉에 의해 형성된 예각의 크기는 10° 내지 60°인 그래핀 패터닝 방법
6 6
제 4 항에 있어서,그래핀 산화물 용액의 농도는 0
7 7
제 4 항에 있어서,그래핀 산화물이 코팅된 두께는 2 내지 30 nm인 것을 특징으로 하는 그래핀 패터닝 방법
8 8
제 1 항에 있어서,제2 기판 상에 형성된 패턴화된 접착층은 폴리디메틸실록산(Polydimethylsiloxane, PDMS), 퍼플루오로폴리에테르(Perfluoropolyether, PFPE), 플루오로엘라스토머(Fluoroelastomer), 퍼플루오로엘라스토머(Perfluoroelastomer) 및 실리콘 고무(Silicone rubber)로 이루어진 군으로부터 선택되는 1 종 이상인 그래핀 패터닝 방법
9 9
제 1 항에 있어서,패턴화된 접착층이 형성된 제2 기판은 포토리소그래피법을 통해 제조하는 것을 특징으로 하는 그래핀 패터닝 방법
10 10
제 1 항에 있어서,1 싸이클의 그래핀 패터닝 과정을 통해, 제1 기판 상에 형성된 패턴화된 그래핀층 및 제2 기판 상에 형성된 패턴화된 그래핀층을 수득하는 것을 특징으로 하는 그래핀 패터닝 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 중앙대학교 산학협력단 이공분야 기초연구사업 하이드로젤과 Janus 입자를 이용한 마이크로 자가 추진체 개발
2 지방자치단체 중앙대학교 산학협력단 서울시산학연협력사업 미세유체 채널 시스템을 이용한 그래핀 산화물의 열적 환원법 개발 및 응용