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미세유체 채널 시스템을 이용한 그래핀의 패터닝방법

  • 기술번호 : KST2015182887
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 미세유체 채널 시스템을 이용한 그래핀의 패터닝방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 그래핀 산화물에 미세 유체 채널을 형성시킨 후 이 채널 부분에만 국부적으로 열을 가하여 그래핀으로 환원시키는 획기적인 패터닝방법에 관한 것이다. 따라서, 이렇게 형성된 패터닝된 그래핀은 광 도파로 혹은 전자회로의 전자 소자 활용이 가능하며, 반도체 성질을 가지므로 가스 센서 혹은 바이오 센서, 중금속 탐지 센서 등으로 활용이 가능하다.
Int. CL G01N 27/00 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/02002(2013.01) H01L 21/02002(2013.01) H01L 21/02002(2013.01) H01L 21/02002(2013.01) H01L 21/02002(2013.01) H01L 21/02002(2013.01) H01L 21/02002(2013.01)
출원번호/일자 1020110053719 (2011.06.03)
출원인 중앙대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1212012-0000 (2012.12.07)
공개번호/일자 10-2012-0016990 (2012.02.27) 문서열기
공고번호/일자 (20121213) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020100079365   |   2010.08.17
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.06.03)
심사청구항수 18

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 중앙대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 동작구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김수영 대한민국 서울특별시 동작구
2 장석태 대한민국 서울특별시 서초구
3 김성태 대한민국 전라북도 군산시 문화로 , 리첼아파트
4 박연실 대한민국 경기도 의왕시 갈미로 ,
5 고영운 대한민국 서울특별시 강서구
6 최경순 대한민국 서울특별시 동작구
7 조성립 대한민국 서울특별시 강동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 지에이치엘 경기도 남양주시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.06.03 수리 (Accepted) 1-1-2011-0418918-07
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.07.20 수리 (Accepted) 4-1-2011-5148879-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.07.20 수리 (Accepted) 4-1-2011-5148883-62
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.01.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.02.15 수리 (Accepted) 9-1-2012-0009849-50
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.07.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0408046-01
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.09.05 수리 (Accepted) 1-1-2012-0715197-52
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.09.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0715198-08
9 등록결정서
Decision to grant		 2012.11.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0707897-18
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000494-54
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2014-5123944-33
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.04 수리 (Accepted) 4-1-2018-5125629-51
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.29 수리 (Accepted) 4-1-2019-5151122-15
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.01 수리 (Accepted) 4-1-2019-5153932-16
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판, 기판 상에 형성된 그래핀 산화물층, 및그래핀 산화물층 상에 형성된 미세유체 채널층을 포함하되, 상기 미세유체 채널층은 채널 양 입구에 금속 와이어를 위치시키는 것을 특징으로 하는 그래핀의 패터닝과 환원이 동시에 가능한 미세유체 채널 시스템
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 기판 상에 형성된 절연층을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 미세유체 채널 시스템
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 기판은 실리콘 웨이퍼 또는 글라스 슬라이드인 것을 특징으로 하는 미세유체 채널 시스템
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 그래핀 산화물층은 -COOH, -OH 또는 -O-의 작용기를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세유체 채널 시스템
5 5
삭제
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 미세유체 채널층은 고분자 화합물 또는 글라스 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 미세유체 채널 시스템
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 고분자 화합물은 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane), 폴리알킬실록산(poly(alkylsiloxane)), 폴리(메타)아크릴레이트(poly(meth)acrylate), 폴리알킬(메타)아크릴레이트(polyalkyl(meth)acrylates), 폴리카보네이트(polycarbonates), 폴리사이클릭올레핀(polycyclic olefins), 폴리이미드(polyimides) 및 폴리우레탄(polyurethanes)로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 미세유체 채널 시스템
8 8
그라파이트 분말을 그래핀 산화물 분말로 제조하거나 열 화학 기상 증착법으로 니켈 혹은 구리층을 포함하는 기판 상에 제조된 그래핀을 전사 후 표면 처리하여 그래핀 산화물층을 제조하는 단계 및상기 그래핀 산화물층 상에 미세유체 채널을 부착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 패터닝과 환원이 동시에 가능한 미세유체 채널 시스템의 제조방법
9 9
삭제
10 10
제 8 항에 있어서, 상기 표면 처리는 산소 플라즈마 또는 자외선-오존으로 산화 처리하는 것을 특징으로 하는 미세유체 채널 시스템의 제조방법
11 11
제 1 항의 미세유체 채널 시스템의 채널 부위에 열을 가하여 그래핀 산화물을 그래핀으로 환원시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 패터닝방법
12 12
제 11 항에 있어서, 상기 채널 내에 액체 금속 또는 이온성 액체를 주입하는 것을 특징으로 하는 그래핀 패터닝방법
13 13
제 12 항에 있어서,상기 액체 금속은 Ga, In, Sn 및 Zn으로 구성된 합금; Ga 및 In으로 구성된 합금; Ga, In 및 Sn으로 구성된 공정 합금; Ga 및 In 으로 구성된 공정 합금; Ga; 및 인듐 숄더(Indium Solder)로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상인 것을 특징으로 하는 그래핀 패터닝방법
14 14
제 12 항에 있어서,상기 이온성 액체는 암모늄(ammonium), 포스포늄(Phosphonium), 설포늄(Sulphonium), 피롤리디눔(Pyrrolidinum), 이미다졸리움(Imidazolium), 티아졸리움(Thiazolium), 피리디늄(Pyridnium) 및 트리아졸리움(Triazolium) 염으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상인 것을 특징으로 하는 그래핀 패터닝방법
15 15
제 11 항에 있어서, 상기 열은 인가 전압을 통해 발생된 것을 특징으로 하는 그래핀 패터닝방법
16 16
제 11 항 내지 제 15 항 중에서 선택된 어느 한 항의 방법에 의해 패터닝된 그래핀
17 17
제 16 항의 패터닝된 그래핀을 이용한 전자 소자
18 18
제 16 항의 패터닝된 그래핀을 이용한 중금속 탐지 센서
19 19
제 16 항의 패터닝된 그래핀을 이용한 바이오센서
20 20
제 16 항의 패터닝된 그래핀을 이용한 가스센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 서울시정개발연구원 중앙대학교 산학협력단 신기술 연구개발 지원사업 미세유체 채널 시스템을 이용한 그래핀 산화물의 열적 환원법 개발 및 응용