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레이저 유도 이온 가속용 박막 부재 제조방법 및 이를 이용한 박막 표적 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2014057877
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 레이저가 집속되는 박막 표적의 위치에는 박막 부재만이 존재하고, 여러 번에 걸쳐 레이저를 집속시켜 박막 부재로부터 이온을 가속시킬 수 있도록 하는 레이저 유도 이온 가속용 박막 부재 제조방법, 박막 표적 및 그 제조방법이 개시된다.본 발명은 레이저 유도 이온 가속에 사용될 박막 물질을 함유하는 박막 부재 용액을 마련하는 용액마련단계; 상기 박막 부재 용액을 이용하여 베이스기판 상에 박막 부재를 형성하는 박막형성단계; 및 상기 박막 부재가 형성된 베이스 기판을 박리용 용매에 침지하여 상기 박막 부재를 상기 베이스기판으로 부터 분리하는 박막분리단계;를 포함하는 박막 부재 제조방법을 제공한다.
Int. CL H05H 13/00 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020110042913 (2011.05.06)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-1263327-0000 (2013.05.06)
공개번호/일자 10-2012-0124951 (2012.11.14) 문서열기
공고번호/일자 (20130516) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.06)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최일우 대한민국 광주광역시 북구
2 이종민 대한민국 광주광역시 북구
3 이창렬 대한민국 광주광역시 북구
4 남기환 대한민국 광주광역시 북구
5 김이종 대한민국 광주광역시 북구
6 배기홍 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 대아 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.05.06 수리 (Accepted) 1-1-2011-0336747-95
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2011.05.11 수리 (Accepted) 1-1-2011-0345519-03
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.05.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.06.01 수리 (Accepted) 9-1-2012-0044766-24
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.11.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0660489-57
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2012.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2012-1090309-76
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.01.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0085957-24
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2013-0085956-89
10 등록결정서
Decision to grant		 2013.05.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0300644-29
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번호 청구항
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금속, 비금속 및 고분자 중 어느 하나의 재질인 박막 물질을 제조하는 단계;상기 박막 물질을 베이스기판 상에 코팅하여 박막 부재를 형성하는 단계;상기 박막 부재가 형성된 상기 베이스기판에 용매를 침투시켜 상기 베이스기판으로부터 상기 박막 부재를 분리하는 단계; 및평판 형상을 가지며 입광면과 출광면을 관통하는 하나 이상의 관통홀을 가지는 지지대의 입광면 또는 출광면 중 일면에, 분리된 상기 박막 부재를 부착하는 단계를포함하는 박막 표적 제조 방법
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제23항에 있어서,상기 코팅은스핀 코팅(spin coating), 잉크젯 프린팅(ink-jet printing), 닥터블레이드(doctor blade), 스프레이 코팅(spray coating), 열 증착법(thermal evaporation), 전자빔 증착법(e-beam evaporation), 스퍼터링(sputtering), CVD(chemical vapor deposition) 중 하나의 방법으로 수행되고,상기 박막 부재는 3nm ~ 1mm의 두께를 가지는박막 표적 제조 방법
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제23항에 있어서,상기 박막 부재를 분리하는 단계는상기 박막 부재가 형성된 상기 베이스기판을 상기 용매에 침지하는 단계; 및상기 박막 부재가 상기 용매의 표면에 부양되면 상기 베이스기판을 제거하는 단계를포함하는 박막 표적 제조 방법
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제23항에 있어서,상기 박막 부재를 형성하는 단계는상기 베이스기판 상에 박막 분리제를 도포하여 분리제층을 형성하는 단계;상기 분리제층 상에 상기 박막 물질을 코팅하여 상기 박막 부재를 형성하는 단계를포함하는 박막 표적 제조 방법
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제26항에 있어서,상기 용매는상기 박막 분리제를 선택적으로 용해시키는 분리제 용매인박막 표적 제조 방법
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제27항에 있어서,상기 분리제 용매는유기 용매 또는 증류수인 박막 표적 제조 방법
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제26항에 있어서,상기 박막 분리제는폴리메틸메타아크릴레이트(PMMA), 폴리비닐알콜(polyvinyl alcohol), 피닷(PEDOT:PSS), 포타슘 올레이트(potassium oleate), 베타인(betaine) 및 계면활성제(surfactant) 중 하나인박막 표적 제조 방법
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제23항에 있어서,상기 박막 부재는 소수성을 가지며,상기 베이스기판의 표면은 친수성을 가지는박막 표적 제조 방법
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제30항에 있어서,상기 베이스기판은유리기판, 실리콘기판, 금속기판 및 합성수지기판 중 하나인 박막 표적 제조 방법
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제30항에 있어서,상기 베이스기판은아세톤, 메탄올, 이소프로필 알콜 중 하나를 이용하여 초음파 세척된 후, 산소 플라즈마 처리를 통하여 표면이 친수성을 가지도록 처리되는박막 표적 제조 방법
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제23항에 있어서,상기 지지대는상기 박막 부재가 부착되는 면의 평면도 공차가 50 ㎛ 이하인박막 표적 제조 방법
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제23항에 있어서,상기 박막 부재는1㎛ ~ 1 mm의 두께를 가지는 포일 또는 판재인박막 표적 제조 방법
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제23항에 있어서,상기 박막 물질은Al, Au, Ag, Cu, Ni, Ti, Ta, Mo, C, 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리에스터 필름(상품명 : mylar), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리프로필렌(polypropylene), 폴리테트라플루오르에틸렌(상품명 :　teflon)， 폴리이미드(polyimide), 파릴렌(parylene) 및 폴리카보네이트(polycarbonate) 중 하나의 재질인박막 표적 제조 방법
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제23항에 있어서,상기 박막 부재는F8BT [poly(9,9'-dioctylfluorene-co-benzothiadiazole)] 재질인 박막 표적 제조 방법
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제23항에 있어서,상기 박막 부재는상기 지지대 상에 접착제로 부착되는박막 표적 제조 방법
38 38
제23항에 있어서,상기 박막 부재는정전기, 액체를 매개체로 하는 표면장력, 수소결합 및 반데르발스(van der Waals)결합 중 하나의 친화력을 통해 상기 지지대 상에 부착되는 박막 표적 제조 방법
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제23항에 있어서,상기 관통홀은평면 형상이 원형, 타원형 또는 다각형 중 하나이며,단면 형상은 출광면에서 입광면으로 갈수록 단면적이 증가하거나, 출광면에서 입광면으로 갈수록 단면적이 감소하거나, 전체 영역에서 균일한 단면적을 가지는박막 표적 제조 방법
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제23항에 있어서,상기 박막 부재는상기 관통홀 상에서 상기 박막 부재의 부착면에 대하여 50 ㎛ 이하의 높이편차를 가지는박막 표적 제조 방법
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제23항에 있어서,상기 지지대의 입광면 또는 출광면은 복수의 영역으로 분할되고,상기 복수의 영역 별로 이종 또는 동종의 박막 부재가 부착되는박막 표적 제조 방법
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1 지식경제부 광주과학기술원 산업기술개발사업 극초단 광양자빔 이용기술 개발