맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

파면 수차 측정 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2014009801
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 파면 수차 측정 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은 입사되는 레이저 빔을 분할하여 적어도 n개(n은 2)의 간섭무늬를 생성하는 간섭계 및 상기 n개의 간섭무늬를 이용하여 상기 레이저 빔 파면 수차의 크기 및 방향을 동시에 결정하는 파면 수차 해석부를 포함한다. 본 발명에 따르면 적어도 2개의 간섭무늬를 통해 레이저빔의 파면 수차를 측정함으로써 단일 측정으로 정밀하게 파면 수차를 측정할 수 있다. 레이저 빔, 파면, 수차, 경로, arm, 빔스플리터
Int. CL G01J 1/02 (2006.01)
CPC G01J 1/0414(2013.01) G01J 1/0414(2013.01) G01J 1/0414(2013.01) G01J 1/0414(2013.01)
출원번호/일자 1020070041985 (2007.04.30)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-0903264-0000 (2009.06.09)
공개번호/일자 10-2008-0096979 (2008.11.04) 문서열기
공고번호/일자 (20090617) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.04.30)
심사청구항수 11

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 정태문 대한민국 광주 광산구
2 고도경 대한민국 광주 북구
3 이종민 대한민국 광주 광산구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2007-0325042-30
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.04.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0208202-64
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.06.17 수리 (Accepted) 1-1-2008-0432884-78
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.06.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0432894-24
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.10.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0544409-00
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2008.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2008-0899245-98
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2008.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2008-0899226-20
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2009-0051713-33
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.01.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0051733-46
10 등록결정서
Decision to grant		 2009.05.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0223413-22
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
파면 수차 측정 장치에 있어서, 입사되는 레이저 빔을 분할하여 적어도 n개(n은 2)의 간섭무늬를 생성하는 간섭계; 및 상기 n개의 간섭무늬를 이용하여 상기 레이저 빔 파면 수차의 크기 및 방향을 동시에 결정하는 파면 수차 해석부를 포함하며, 상기 간섭계는, 상기 입사되는 레이저 빔을 제1 및 제2 경로로 분할하는 제1 빔스플리터; 상기 제1 경로를 따라 이동하는 레이저 빔의 일부를 반사하고, 상기 제2 경로를 따라 이동하는 레이저 빔의 일부를 통과시켜 제1 간섭무늬가 형성되도록 하는 제2 빔스플리터; 상기 제2 경로를 따라 이동하는 레이저 빔의 일부를 제3 경로로 통과시키는 제3 빔스플리터; 및 상기 제3 경로를 따라 이동하는 레이저 빔을 통과시키고, 상기 제2 빔스플리터에서 통과시킨 레이저 빔을 반사하여 제2 간섭무늬가 형성되도록 하는 제4 빔스플리터를 포함하는 것을 특징으로 하는 파면 수차 측정 장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 간섭계는 상기 레이저 빔을 적어도 k개(k는 3)의 경로로 분할하는 것을 특징으로 하는 파면 수차 측정 장치
3 3
제1항에 있어서, 상기 간섭계는 제1 및 제2 간섭무늬를 생성하는 복수의 빔스플리터, 미러 및 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 파면 수차 측정 장치
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서, 상기 간섭계는, 상기 제3 빔스플리터를 통과한 레이저 빔의 미리 설정된 수차가 더해지도록 하는 렌즈; 및 상기 렌즈를 통과한 레이저 빔을 확대하는 빔확대기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 파면 수차 측정 장치
7 7
제1항에 있어서, 상기 간섭계는, 상기 제1 빔스플리터를 통과한 레이저 빔을 반사하는 제1 미러; 및 상기 제3 빔스플리터를 통과한 레이저 빔을 반사하는 제2 미러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 파면 수차 측정 장치
8 8
제1항에 있어서, 상기 n개의 간섭무늬를 캡쳐하는 n개의 촬상소자를 구비하는 영상 수집부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 파면 수차 측정 장치
9 9
제8항에 있어서, 상기 파면 수차 해석부는, 상기 영상 수집부로부터 n개의 간섭무늬를 수신하는 간섭무늬 수신부; 상기 n개 간섭무늬 각각에 대한 파면 수차 크기를 계산하는 파면 수차 크기 계산부; 상기 n개 간섭무늬 각각에 대한 디포커스 수차를 계산하는 디포커스 수차 계산부 및 상기 n개의 간섭무늬 각각에 대한 디포커스 수차를 비교하여 파면 수차의 방향을 결정하는 파면 수차 방향 결정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 파면 수차 측정 장치
10 10
파면 수차 측정을 위한 간섭무늬를 생성하는 장치에 있어서, 입사되는 레이저 빔의 경로를 적어도 k개(k는 3)로 분할하는 복수의 빔스플리터; 상기 k개의 경로를 따라 이동하는 레이저 빔을 확대 또는 축소하는 하나 이상의 렌즈를 포함하되, 상기 복수의 빔스플리터는 적어도 n개(n은 2)의 간섭무늬를 형성하며, 상기 복수의 빔스플리터는, 상기 입사되는 레이저 빔을 제1 및 제2 경로로 분할하는 제1 빔스플리터; 상기 제1 경로를 따라 이동하는 레이저 빔의 일부를 반사하고, 상기 제2 경로를 따라 이동하는 레이저 빔의 일부를 통과시켜 제1 간섭무늬가 형성되도록 하는 제2 빔스플리터; 상기 제2 경로를 따라 이동하는 레이저 빔의 일부를 제3 경로로 통과시키는 제3 빔스플리터; 및 상기 제3 경로를 따라 이동하는 레이저 빔을 통과시키고, 상기 제2 빔스플리터에서 통과한 레이저 빔을 반사하여 제2 간섭무늬가 형성되도록 하는 제4 빔스플리터를 포함하는 것을 특징으로 하는 파면 수차 측정을 위한 간섭무늬 생성 장치
11 11
삭제
12 12
삭제
13 13
제10항에 있어서, 상기 제3 빔스플리터를 통과한 레이저 빔의 미리 설정된 수차가 더해지도록 하는 렌즈; 및 상기 렌즈를 통과한 레이저 빔을 확대하는 빔확대기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 파면 수차 측정을 위한 간섭무늬 생성 장치
14 14
제10항에 있어서, 상기 제1 빔스플리터를 통과한 레이저 빔을 반사하는 제1 미러; 및 상기 제3 빔스플리터를 통과한 레이저 빔을 반사하는 제2 미러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 파면 수차 측정을 위한 간섭무늬 생성 장치
15 15
제1 내지 제4 빔스플리터를 포함하는 파면 수차 측정 장치에서 파면 수차를 측정하는 방법에 있어서, 레이저 빔을 입사하는 단계; 상기 입사한 레이저 빔을 분할하여 적어도 n개(n은 2)의 간섭무늬를 형성하는 단계; 및 상기 n개의 간섭무늬를 이용하여 상기 레이저 빔 파면 수차의 크기 및 방향을 동시에 결정하는 단계를 포함하며, 상기 간섭무늬를 형성하는 단계는, 상기 제1 빔스플리터를 이용하여 입사되는 레이저 빔을 제1 및 제2 경로로 분할하는 단계; 상기 제2 빔스플리터를 이용하여 제1 경로를 따라 이동하는 레이저 빔의 일부를 반사하고, 상기 제2 경로를 따라 이동하는 레이저 빔의 일부를 통과시켜 제1 간섭무늬가 형성되도록 하는 단계; 상기 제3 빔스플리터를 이용하여 제2 경로를 따라 이동하는 레이저 빔의 일부를 제3 경로로 통과시키는 단계; 및 상기 제4 빔스플리터를 이용하여 상기 제3 경로를 따라 이동하는 레이저 빔을 통과시키고, 상기 제2 빔스플리터에서 통과시킨 레이저 빔을 반사하여 제2 간섭무늬가 형성되도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 파면 수차 측정 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.