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전자현미경 내에 구비되어 시편을 고정시키는 홀더 바디;상기 홀더 바디로부터 이격된 위치에 고정되며 상기 시편의 일측 단부가 고정되는 인장력 센서; 및상기 홀더 바디 측에 이동 가능하게 설치되며, 상기 시편의 타측 단부를 집을 수 있는 집게를 포함하며,상기 집게는,좌우 대칭되는 'ㄷ'자 형상의 집게 고정 프레임;상기 집게 고정 프레임 내에 두 개 구비되며 장변 및 단변을 갖는 좌우 비대칭 'ㄷ'자 형상의 집게 팁 지지대; 및상기 집게 팁 지지대의 단변 내측에 고정되는 집게 팁을 포함하는 것을 특징으로 하는 극미세 조작 전자현미경 스테이지
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청구항 2에 있어서,상기 두 개의 집게 팁 지지대 중,하나의 집게 팁 지지대의 장변은 상기 집게 고정 프레임 내측에 맞닿으며 위치하고,다른 하나의 집게 팁 지지대는, 상기 집게 고정 프레임 내측에 구비된 지지볼에 의하여 상기 집게 고정 프레임 내측과 소정 거리 이격되는 것을 특징으로 하는 극미세 조작 전자현미경 스테이지
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청구항 3에 있어서,상기 하나의 집게 팁 지지대의 위치를 조정할 수 있도록 상기 집게 고정 프레임 일측에 구비되는 갭 조절볼트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극미세 조작 전자현미경 스테이지
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청구항 2 내지 4 중 어느 한 항에 있어서,상기 집게와 상기 홀더 바디 사이에 고정되어, 상기 집게를 이동시키는 압전소자를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극미세 조작 전자현미경 스테이지
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청구항 3에 있어서,상기 두 집게 팁 지지대의 장변 사이에 위치하며, 수직 방향으로 길이조정이 가능한 제 1 압전소자; 및상기 집게 고정 프레임의 일측에 구비되며, 수평 방향으로 길이조정이 가능한 제 2 압전소자를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극미세 조작 전자현미경 스테이지
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청구항 5에 있어서,상기 홀더 바디에 고정되는 헤드 프레임; 및상기 헤드 프레임 상부에 위치하며 절연물질을 포함하고, 상기 인장력 센서가 상부에 고정되는 센서 스테이지;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극미세 조작 전자현미경 스테이지
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청구항 7에 있어서,상기 헤드 프레임은:중심부에 관통공이 형성되는 원통 헤드 고정부;상기 원통 헤드 고정부 양 측으로부터 수평한 방향으로 서로 평행하게 연장되어 형성되는 연장부;상기 연장부의 단부에 형성되며 납작한 'ㄷ'자 형상의 센서지지 블록 고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 극미세 조작 전자현미경 스테이지
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청구항 7에 있어서,상기 헤드 프레임은 스테인리스(SUS)를 포함하고,상기 센서 스테이지는 산화알루미늄(Al2O3)을 포함하는 것을 특징으로 하는 극미세 조작 전자현미경 스테이지
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청구항 7에 있어서,상기 센서 스테이지에서 상기 인장력 센서의 주변에 구비되는 다수의 패드; 및상기 인장력 센서와 상기 다수의 패드를 전기적으로 연결하는 골드 와이어를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극미세 조작 전자현미경 스테이지
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