맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

다중 미세조작이 가능한 탐침을 구비하는 홀더 장치 및 측정시스템

  • 기술번호 : KST2015135084
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에서는 다중 미세조작이 가능한 탐침을 구비하는 홀더 장치 및 측정시스템이 개시된다. 이러한 본 발명에 따른 다중 조정이 가능한 탐침을 구비하는 홀더 장치는, 측정 대상물을 고정시키는 홀더부(100); 홀더부(100) 내부에 내장되며 연결부(210)를 통해 전달되는 기계적 제어에 의한 일방향의 운동을 반대인 타방향으로 변환하여 전달하는 제1 변환부(230); 전기적 제어를 기계적 제어로 변환하여 전달하는 제2 변환부(250); 상기 측정 대상물에 전기적 신호를 인가하는 탐침(270)을 포함하되 상기 제1 변환부(230), 상기 제2 변환부(250), 상기 탐침(270)이 일렬로 배열되어 결합된 조작부(200); 및 상기 기계적, 전기적 제어 중 어느 하나 이상을 제공하여 탐침(270)을 이동시키는 제어부(300)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 압전소자, 피드스루, 홀더, 전자현미경
Int. CL G01N 1/36 (2006.01.01) H01J 37/26 (2006.01.01) H01J 37/20 (2006.01.01) B82Y 15/00 (2017.01.01) B82Y 35/00 (2017.01.01)
CPC G01N 1/36(2013.01) G01N 1/36(2013.01) G01N 1/36(2013.01) G01N 1/36(2013.01) G01N 1/36(2013.01)
출원번호/일자 1020090021347 (2009.03.12)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1033352-0000 (2011.04.28)
공개번호/일자 10-2010-0109578 (2010.10.11) 문서열기
공고번호/일자 (20110509) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.03.12)
심사청구항수 8

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 고동수 대한민국 서울시 관악구
2 김영운 대한민국 서울시 서초구
3 김성대 대한민국 서울시 관악구
4 안태영 대한민국 서울시 관악구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김한 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.03.12 수리 (Accepted) 1-1-2009-0151678-45
2 보정요구서
Request for Amendment		 2009.03.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0020377-62
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2009.04.01 수리 (Accepted) 1-1-2009-0196959-68
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.01.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.02.15 수리 (Accepted) 9-1-2011-0008441-23
6 등록결정서
Decision to grant		 2011.02.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0092208-98
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5195109-43
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-5007213-54
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
측정 대상물을 고정시키는 홀더부; 상기 홀더부 내부에 내장되며 연결부를 통해 전달되는 기계적 제어에 의한 일방향의 운동을 반대인 타방향으로 변환하여 전달하는 제1 변환부; 전기적 제어를 기계적 제어로 변환하여 전달하는 제2 변환부; 상기 측정 대상물에 전기적 신호를 인가하는 탐침을 포함하되 상기 제1 변환부, 상기 제2 변환부, 상기 탐침이 일렬로 배열되어 결합된 조작부; 및 상기 기계적, 전기적 제어 중 어느 하나 이상을 제공하여 상기 탐침을 이동시키는 제어부 를 포함하는 것을 특징으로 하는 홀더 장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 조작부는, 상기 제1 변환부와 상기 제2 변환부 사이에는 제1 절연체가 구비되며, 상기 제2 변환부와 상기 탐침 사이에는 제2 절연체가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 홀더 장치
3 3
제1항에 있어서, 상기 연결부는 다수개의 연결대가 일렬로 결합되어 구성되되, 상기 연결대 사이에는 유니버설 조인트(universal joint)가 위치하는 것을 특징으로 하는 홀더 장치
4 4
제1항에 있어서, 상기 제1 변환부는, 일단이 상기 연결부와 결합하는 결합부; 및 상기 결합부의 타단과 결합하되 상기 결합부 보다 지름이 큰 피드스루를 포함하며, 상기 피드스루는 외경에 형성된 홈에 탄성력을 가지는 탄성체가 장착되며, 상기 결합부와 접하는 반대면에는 상기 전기적 제어를 위한 배선이 통과하는 다수개의 홀이 구비되는 것을 특징으로 하는 홀더 장치
5 5
제4항에 있어서, 상기 탄성체는 오링인 것을 특징으로 하는 홀더 장치
6 6
제1항에 있어서, 상기 제2 변환부는, 상기 전기적 제어의 전압에 따라 크기가 변하여 상기 탐침을 X, Y, Z축으로 이동시키는 압전소자인 것을 특징으로 하는 홀더 장치
7 7
제1항에 있어서, 상기 제1 변환부는 상기 탐침을 마이크로 단위로 이동하며, 상기 제2 변환부는 상기 탐침을 나노 단위로 이동하는 것을 특징으로 하는 홀더 장치
8 8
제4항에 있어서, 상기 탄성체의 위치가 상기 탐침에 근접할수록 상기 탐침의 이동범위는 작아지고, 상기 탐침에서 멀어질수록 상기 탐침의 이동범위는 커지는 것을 특징으로 하는 홀더 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.