1 |
1
1) 메조포어 실리카 분말을 반응기에 위치시키는 단계;2) 단계 1의 반응기에 니켈 전구체를 주입하여 상기 메조포어 실리카 분말에 노출시켜, 상기 메조포어 실리카의 포어에 니켈을 증착하는 단계;3) 단계 2의 반응기에 질소가스를 주입하여 퍼징하는 단계; 및4) 단계 3의 반응기에 산소 전구체를 주입하여 상기 증착된 니켈에 노출시켜, 니켈 산화물을 증착하는 단계를 포함하는 니켈 산화물 촉매의 제조방법
|
2 |
2
제1항에 있어서, 상기 단계 1의 반응기의 내부 압력은 100 mtorr 이하로 유지시키는 것을 특징으로 하는 니켈 산화물 촉매의 제조방법
|
3 |
3
제1항에 있어서, 상기 단계 1의 반응기의 온도는 100℃ 내지 200℃인 것을 특징으로 하는 니켈 산화물 촉매의 제조방법
|
4 |
4
제1항에 있어서, 상기 단계 2의 니켈 전구체는 펠렛 형태의 고체 니켈 전구체 분말을 메쉬로 감싼 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 니켈 산화물 촉매의 제조방법
|
5 |
5
제1항에 있어서, 상기 니켈 전구체는 Ni(Cp)2인 것을 특징으로 하는 니켈 산화물 촉매의 제조방법
|
6 |
6
제1항에 있어서, 상기 단계 2의 니켈 전구체의 주입 온도는 100℃ 내지 200℃인 것을 특징으로 하는 니켈 산화물 촉매의 제조방법
|
7 |
7
제1항에 있어서, 상기 단계 2의 니켈 전구체의 증기압은 100 mtorr 내지 300 mtorr인 것을 특징으로 하는 니켈 산화물 촉매의 제조방법
|
8 |
8
제1항에 있어서, 상기 단계 2의 니켈 전구체의 노출 시간은 10초 내지 60초인 것을 특징으로 하는 니켈 산화물 촉매의 제조방법
|
9 |
9
제1항에 있어서, 상기 단계 3의 반응기의 내부 압력을 0
|
10 |
10
제1항에 있어서, 상기 산소 전구체는 수증기인 것을 특징으로 하는 니켈 산화물 촉매의 제조방법
|
11 |
11
제1항에 있어서, 상기 단계 4의 산소 전구체의 증기압은 100 mtorr 내지 2 torr인 것을 특징으로 하는 니켈 산화물 촉매의 제조방법
|
12 |
12
제1항에 있어서, 상기 단계 4의 산소 전구체의 노출 시간은 1초 내지 10초인 것을 특징으로 하는 니켈 산화물 촉매의 제조방법
|
13 |
13
제1항에 있어서, 상기 단계 2 내지 단계 4를 반복하여 증착되는 니켈 산화물의 두께를 조절하는 것을 특징으로 하는 니켈 산화물 촉매의 제조방법
|
14 |
14
제13항에 있어서, 상기 단계 2 내지 단계 4를 100회 내지 200회 반복하는 것을 특징으로 하는 니켈 산화물 촉매의 제조방법
|
15 |
15
제1항 내지 제14항 중 어느 한 항의 제조방법으로 제조된 이산화탄소와 메탄을 반응시켜 일산화탄소와 수소를 얻는 메탄의 이산화탄소 개질 반응용 니켈 산화물 촉매
|