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다성분 단일체의 스퍼터링 타겟 및 그 제조방법, 이를 이용한 다성분 합금계 나노구조 박막 제조방법
- 기술번호 : KST2014061808
- 담당센터 : 경기기술혁신센터
- 전화번호 : 031-8006-1570
| 요약 | 본 발명은 다성분 단일체의 스퍼터링 타겟 및 그 제조방법, 이를 이용한 다성분 합금계 나노구조 박막 제조방법에 관한 것으로, 질화물형성 금속과 비질화물형성 금속으로 구성된 불용성합금계의 화학적 균일성 및 막구조 재현성을 확보하여 다양한 요구 특성을 위한 다성분 나노구조 박막을 효율적으로 형성하고, 복잡한 다원 성분계 코팅 시스템을 단일 타겟 제어를 통해 용이하게 구현하는 것에 목적이 있다.상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 다성분 단일체의 스퍼터링 타겟은, 질소와 반응하여 질화물 형성이 가능한 질화물형성 금속원소 및 상기 질화물형성 금속원소에 대한 고용도가 없거나 낮고 질소와 반응하지 않거나 반응성이 낮은 비질화물형성 금속원소의 비정질 또는 부분결정화된 비정질형성 합금계를 포함하는 것으로, 상기 질화물형성 금속원소는 Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Al, Si로부터 선택된 적어도 하나의 원소를 포함하고, 상기 비질화물형성 금속원소는 Mg, Ca, Sc, Ni, Cu, Y, Ag, In, Sn, La, Au, Pb로부터 선택된 적어도 하나의 원소를 포함하여 구성될 수 있다. |
|---|---|
| Int. CL | C23C 14/34 (2006.01) B22F 9/08 (2006.01) C23C 14/06 (2006.01) B22F 3/115 (2006.01) |
| CPC | |
| 출원번호/일자 | 1020120157016 (2012.12.28) |
| 출원인 | 한국생산기술연구원 |
| 등록번호/일자 | |
| 공개번호/일자 | 10-2013-0006413 (2013.01.16) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 |
대한민국 | 1020100111197 | 2010.11.09
대한민국 | 1020090112258 | 2009.11.19 |
| 법적상태 | 거절 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | 10-2010-0115896 (2010.11.19) |
| 관련 출원번호 | 1020100115896 |
| 심사청구여부/일자 | Y (2015.11.19) |
| 심사청구항수 | 9 |