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회전자와, 상기 회전자를 둘러싸며 상전압이 인가되는 다수의 전극으로 이루어진 고정자를 포함하고, 상기 회전자는 상기 고정자에서 발생된 정전기력에 의해 상기 고정자의 중심위치에서 회전하는 마이크로 유도모터에 있어서, 상기 고정자의 다수의 전극은 4 이상의 그룹으로 구획되고, 상기 중심위치로부터의 상기 회전자의 반경방향 변위를 측정하기 위한 수단과, 상기 수단에 의해 측정된 상기 회전자의 변위를 입력받아, 상기 전극에서 발생하는 정전기력의 벡터합이 상기 회전자를 상기 중심위치로 복귀시킬 수 있는 방향과 크기를 갖도록 제어전압을 산출하여 상전압에 감산 및 가산한 후 상기 전극에 인가하기 위한 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유도모터
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제 1항에 있어서, 상기 회전자의 반경방향 변위를 측정하기 위한 수단은 상기 회전자의 주위에 구비된 4개 이상의 센서 전극으로 이루어지고, 상기 고정자 전극에 인가된 상전압 및 제어전압에 의해 상기 회전자의 전위가 소정값을 가질 때 상기 회전자와 상기 센서 전극 사이에 흐르는 전류를 상호 대향하는 한 쌍의 센서 전극에서 각각 측정하고, 측정된 두 전류값의 차와 합의 비를 계산하여 변위를 측정하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유도모터
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제 1항에 있어서, 상기 회전자의 반경방향 변위를 측정하기 위한 수단은 상기 고정자의 다수의 전극 중 상전압이 비인가된 상태의 휴면 전극으로 이루어지고, 상기 고정자 전극에 인가된 상전압 및 제어전압에 의해 상기 회전자의 전위가 소정값을 가질 때 상기 회전자와 상기 휴면 전극 사이에 흐르는 전류를 상호 대향하는 한 쌍의 휴면 전극에서 각각 측정하고, 측정된 두 전류값의 차와 합의 비를 계산하여 변위를 측정하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유도모터
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제 2항 또는 제 3항에 있어서, 상기 상전압은 소정의 듀티 사이클을 가지며, 온 타임시 쵸핑 펄스가 형성된 구형파의 파형을 가지는 것을 특징으로 하는 마이크로 유도모터
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제 3항에 있어서, 상기 고정자의 다수의 전극이 상전압 및 제어전압을 인가받기 위한 구동 모드와 상기 회전자의 변위를 측정하기 위한 측정 모드로 전환가능하도록 구비된 스위치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유도모터
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제 3항에 있어서, 상기 고정자의 다수의 전극이 상전압 및 제어전압을 인가받기 위한 구동 모드와 상기 회전자의 변위를 측정하기 위한 측정 모드로 전환가능하도록 구비된 스위치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유도모터
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