맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

스퍼터링 타겟용 탄탈륨 판재 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2014064678
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 용해 주조된 탄탈륨 잉고트 또는 빌렛트에 대해, 냉간 단조 및 냉간 압연을 차례로 수행한 후 1173K ~ 1573K에서 재결정 소둔을 수행하여, 결정립의 평균 입경이 50㎛ 이하가 되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 판재 및 그 제조방법에 관한 것이다.이러한 본 발명에 의하면, 결정립 미세화 및 결정입도의 균일도가 우수한 탄탈륨 판재를 제조할 수 있게 되고, 특히 탄탈륨 판재의 최종 결정립 크기가 50㎛ 이하가 되며, (111)배향이 우선적인 조직으로 이루어져서 고순도 스퍼터링 타겟으로 이용할 수 있게 된다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) C22F 1/18 (2006.01) B21K 23/00 (2006.01) B21B 1/28 (2006.01)
CPC C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01)
출원번호/일자 1020100059436 (2010.06.23)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1188339-0000 (2012.09.27)
공개번호/일자 10-2011-0139386 (2011.12.29) 문서열기
공고번호/일자 (20121009) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.23)
심사청구항수 7

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 임성철 대한민국 서울특별시 양천구
2 권혁천 대한민국 서울특별시 양천구
3 강문수 대한민국 인천광역시 연수구
4 김경훈 대한민국 인천광역시 서구
5 김영석 대한민국 서울특별시 강동구
6 김현민 대한민국 충청북도 청주시 흥덕구
7 임용덕 대한민국 인천광역시 연수구
8 우상모 대한민국 서울특별시 서초구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인명인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층(역삼동, 두원빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.06.23 수리 (Accepted) 1-1-2010-0402586-88
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.04.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.05.16 수리 (Accepted) 9-1-2011-0041370-09
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.04.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0195344-61
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.06.04 수리 (Accepted) 1-1-2012-0443796-33
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.06.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0443797-89
10 등록결정서
Decision to grant		 2012.09.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0563232-33
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
용해 주조된 탄탈륨 잉고트 또는 빌렛트에 대해, 냉간 단조 및 냉간 압연을 차례로 수행한 후 1173K ~ 1573K에서 재결정 소둔을 수행하여, 결정립의 평균 입경이 50㎛ 이하가 되도록 구성되고,상기 냉간 단조 공정은,50 ～ 80%의 소성 가공율을 적용하여 단조 공정을 수행하는 단계;탄탈륨의 재결정 온도 이하에서 가공능 향상을 위해 중간 소둔을 수행하는 단계; 를 포함하며,상기 중간 소둔 공정은 873K ~ 1173K에서 수행되는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 판재의 제조방법
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 단조 공정과 중간 소둔 공정이 적어도 2회 반복되는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 판재의 제조방법
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서,상기 중간 소둔 공정은 20 ~ 40분 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 판재의 제조방법
6 6
제1항에 있어서,상기 냉간 압연 공정은 40% 이상의 압하율(Reduction Ratio)로 실시되는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 판재의 제조방법
7 7
제1항에 있어서,상기 재결정 소둔은 20분 ~ 60분 동안 진행되는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 판재의 제조방법
8 8
제1항에 있어서,(111)면의 집합조직의 우선적으로 성장하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 판재의 제조방법
9 9
상기 제1항, 제3항, 제5항 내지 제8항 중 어느 한 제조방법에 의해 제조되고, 결정립의 평균 입경이 50㎛ 이하이며, (111)면의 분율이 가장 높게 분포되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 판재
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.