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(a) 구리염, 구리이온과 리간드를 형성하여 액상반응을 억제하는 착화제, 구리이온을 환원시키는 환원제, 상기 환원제가 산화되도록 하는 pH 조절제 및 촉매를 포함하는 무전해 동도금액을 이용하여 무전해 도금을 실시하는 단계; 및(b) 상기 (a) 단계를 통하여 형성된 동도금층에 10-5mbar 내지 10-3mbar의 진공 조건 및 200℃ 내지 500℃의 온도 범위에 10분 내지 60분 동안 급속열처리를 실시하여 저항을 감소시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 동 피막 형성 방법
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제1항에 있어서, 상기 (a) 단계에서의 무전해 도금 공정은 20℃ 내지 40℃의 온도 범위 및 10 내지 13
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제1항 또는 제4항에 있어서, 상기 무전해 동도금액은, 상기 구리염으로서 황산구리 5수화물, 상기 착화제로서 롯셀염(Rochelle Salt), 상기 환원제로서 포르말린, 상기 pH 조절제로서 수산화나트륨 및 상기 촉매로서 염화니켈 6수화물을 포함하는 것을 특징으로 하는, 동 피막 형성 방법
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제5항에 있어서, 상기 황산구리 5수화물의 농도는 5 내지 30g/l이며, 상기 포르말린의 농도는 1 내지 50 ml/l이며, 상기 롯셀염의 농도는 1 내지 100g/l이며, 상기 수산화나트륨의 농도는 1 내지 50 g/l이며, 상기 염화니켈 6수화물의 농도는 1 내지 30g/l인 것을 특징으로 하는, 동 피막 형성 방법
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제5항에 있어서, 상기 무전해 동도금액은 안정제를 더 포함하고 상기 안정제는 소듐씨오설페이트 및 2,2’-비피리딜 중 어느 하나 이상이며,상기 안정제의 농도는 1 내지 50ppm인 것을 특징으로 하는,동 피막 형성 방법
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제5항에 있어서, 상기 무전해 동도금액은 촉진제로서 탄산나트륨을 더 포함하고, 상기 탄산나트륨의 농도는 1 내지 50 g/l인 것을 특징으로 하는, 동 피막 형성 방법
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제5항에 있어서, 상기 무전해 동도금액은, 양이온성 계면활성제 및 음이온성 계면활성제 중 어느 하나 이상을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 동 피막 형성 방법
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