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레이저 간섭계를 이용한 LCD유리 두께 변화 측정 장치와 방법

  • 기술번호 : KST2014065639
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 두께변화 측정장치 및 그를 이용한 측정방법을 제공한다. 상기 두께변화 측정장치는 레이저(10); 상기 레이저(10)에서 발생한 빔의 일부를 통과시키며 나머지 빔을 수직으로 분할시키는 빔스플리터(20); 상기 빔스플리터(20)에 의해 수직으로 분할된 빔을 통과된 빔과 평행하게 반사시키는 반사미러(30); 상기 빔스플리터(20) 후단에 설치되어 상기 반사미러(30)에 의해 반사된 빔이 입사각을 갖도록 빔스플리터(20)를 통과한 빔과 시료기판(1)으로 집광되도록 하는 제 1 렌즈(40); 상기 빔스플리터(20)와 상기 시료기판(1) 사이 일직선상에 배치되어 상기 빔스플리터(20)를 통과한 빔과 상기 제 1 렌즈(40)에 의해 집광되는 빔을 통과시켜 시료기판(1)으로 조사되도록 하며 시료기판(1)의 양면으로부터 각각 반사된 빔을 재반사시키는 편광빔스플리터(50); 상기 편광빔스플리터(50)에 의해 재반사된 각각의 레이저 빔을 검출하는 광검출기(61,62); 및 상기 광검출기(61,62)로부터 각각 검출된 빔의 간섭신호를 이용하여 두께변화 및 두께의 증감을 분석하는 데이터 분석기(70); 를 포함하는 것을 특징으로 한다. LCD, 기판, 두께측정
Int. CL G01B 11/02 (2006.01) G01B 11/06 (2006.01)
CPC G01B 11/0675(2013.01) G01B 11/0675(2013.01) G01B 11/0675(2013.01) G01B 11/0675(2013.01) G01B 11/0675(2013.01)
출원번호/일자 1020070058845 (2007.06.15)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0900477-0000 (2009.05.26)
공개번호/일자 10-2008-0110283 (2008.12.18) 문서열기
공고번호/일자 (20090603) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.06.15)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재완 대한민국 대전시 유성구
2 엄태봉 대한민국 대전시 유성구
3 김종안 대한민국 대전시 유성구
4 강주식 대한민국 대전시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.06.15 수리 (Accepted) 1-1-2007-0434577-78
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.04.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.05.13 수리 (Accepted) 9-1-2008-0027753-60
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.12.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0644332-06
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.02.10 수리 (Accepted) 1-1-2009-0080781-07
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.02.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0080787-70
7 등록결정서
Decision to grant		 2009.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0211784-19
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
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번호 청구항
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삭제
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레이저(10); 상기 레이저(10)에서 발생한 빔의 일부를 통과시키며 나머지 빔을 수직으로 분할시키는 빔스플리터(20); 상기 빔스플리터(20)에 의해 수직으로 분할된 빔을 통과된 빔과 평행하게 반사시키는 반사미러(30); 상기 빔스플리터(20) 후단에 설치되어 상기 반사미러(30)에 의해 반사된 빔이 입사각(θ)을 갖도록 빔스플리터(20)를 통과한 빔과 시료기판(1)으로 집광되도록 하는 제 1 렌즈(40); 상기 빔스플리터(20)와 상기 시료기판(1) 사이 일직선상에 배치되어 상기 빔스플리터(20)를 통과한 빔과 상기 제 1 렌즈(40)에 의해 집광되는 빔을 통과시켜 시료기판(1)으로 조사되도록 하며 시료기판(1)의 양면으로부터 각각 반사된 빔을 재반사시키는 편광빔스플리터(50); 상기 편광빔스플리터(50)에 의해 재반사된 각각의 레이저 빔을 검출하는 광검출기(61,62); 및 상기 광검출기(61,62)로부터 각각 검출된 빔의 간섭신호를 이용하여 두께변화 및 두께의 증감을 분석하는 데이터 분석기(70); 를 포함하며, 상기 광검출기(61,62)로부터 검출된 빔의 세기( I )와 시료기판의 두께( L(x,y) )와의 관계식은 하기의 식에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 두께변화 측정장치
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제 2 항에 있어서, 상기 제 1 렌즈(40)에 의해 상기 반사미러(30)에 의해 반사된 빔이 입사각(θ)을 갖도록 집광될 때, 빔이 시료기판(1)을 통과한 거리와 시료기판(1)의 두께와의 차와 굴절률(n)과의 곱이 레이저 빔의 파장의 1/8 이면(n×(L - Lcosθ) = 1/8 λ), 상기 광검출기(62)로부터 검출된 빔의 세기( IPD2 )와 시료기판의 두께( L(x,y) )와의 관계식은 하기식에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 두께변화 측정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.