맞춤기술찾기
이전대상기술
고속 대면적 정밀측정 장치
- 기술번호 : KST2014065891
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명은 고속 대면적 정밀측정 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 초점 타원계측부에서 시편의 특성을 고속으로 측정한 후에, 특이점이 나타나는 위치를 정밀측정부에서 보다 상세하게 측정하는 고속 대면적 정밀측정 장치 및 방법에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명은 편광된 빛을 시편에 집중 조사한 후, 상기 시편으로부터 반사된 빛을 검출하여 상기 시편의 광학적 특성을 고속으로 측정하는 초점 타원계측부; 및 상기 시편의 광학적 특성 중 특이점이 나타나는 위치를 다시 원자 단위까지 측정하는 정밀측정부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 고속 대면적 정밀측정 장치를 제공한다. 상기 고속 대면적 정밀측정 장치는 초점 타원계측부에서 고속으로 시편의 광학적 특성을 측정한 후에, 특이점이 나타나는 위치를 정밀측정부에서 다시 세밀하게 측정함으로써 시편의 광학적 특이점을 신속하고 정밀하게 측정할 수 있는 효과가 있다. 타원계측기, SPM, 탐침 |
|---|---|
| Int. CL | G01N 21/00 (2011.01) B82Y 35/00 (2011.01) G01B 11/06 (2011.01) G01B 11/00 (2011.01) |
| CPC | |
| 출원번호/일자 | 1020070116340 (2007.11.14) |
| 출원인 | 한국표준과학연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-0941980-0000 (2010.02.04) |
| 공개번호/일자 | 10-2009-0049954 (2009.05.19) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20100211) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2007.11.14) |
| 심사청구항수 | 9 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국표준과학연구원 | 대한민국 | 대전 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 조용재 | 대한민국 | 대전시 유성구 |
| 2 | 제갈원 | 대한민국 | 대전시 유성구 |
| 3 | 조현모 | 대한민국 | 대전시 서구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김종관 | 대한민국 | 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스) |
| 2 | 박창희 | 대한민국 | 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스) |
| 3 | 권오식 | 대한민국 | 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국표준과학연구원 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2007.11.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0818295-04 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2008.08.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2008.09.11 | 수리 (Accepted) | 9-1-2008-0059335-83 |
| 4 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2009.01.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0016664-28 |
| 5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2009.03.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0128299-51 |
| 6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2009.05.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0312760-79 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2009.05.25 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2009-0312785-10 |
| 8 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2009.09.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0397883-47 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2009.10.19 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2009-0636929-08 |
| 10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2009.10.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0636914-13 |
| 11 | 등록결정서 Decision to grant |
2010.01.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0043239-20 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.01.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5004381-25 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266640-72 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266645-00 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266627-88 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 고속 대면적 정밀측정 장치로서, 편광된 빛을 시편에 집중 조사한 후, 상기 시편으로부터 반사된 빛을 검출하여 상기 시편의 광학적 특성을 고속으로 측정하는 초점 타원계측부; 및 상기 시편의 광학적 특성 중 특이점이 나타나는 위치를 다시 원자 단위까지 측정하는 정밀측정부;를 포함하되, 상기 정밀측정부는 탐침 및 상기 탐침을 상기 특이점 위치로 이동시키기 위한 XY-병진기를 포함하는 것을 특징으로 하는 고속 대면적 정밀측정 장치 |
| 2 |
2 제 1 항에 있어서, 상기 초점 타원계측부는 광원으로부터 발생된 빛을 편광된 빛으로 분할하는 광분할부; 상기 광분할부로부터 분할된 빛을 시편에 집중 조사시키는 광집중부; 및 상기 시편으로부터 반사된 후, 상기 광집중부 및 상기 광분할부를 통과한 빛을 검출하는 광검출부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 고속 대면적 정밀측정 장치 |
| 3 |
3 제 2 항에 있어서, 상기 광집중부는 상기 광분할부로부터 분할된 빛을 시편에 초점으로 집중시키기 위한 볼록렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 고속 대면적 정밀측정 장치 |
| 4 |
4 제 2 항에 있어서, 상기 광집중부는 상기 광분할부로부터 분할된 빛을 시편에 선형으로 집중시키기 위한 원통형 광학계를 포함하는 것을 특징으로 하는 고속 대면적 정밀측정 장치 |
| 5 |
5 제 4 항에 있어서, 상기 원통형 광학계는 반원통형 렌즈, 반원통형 거울, 곡면 거울 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 고속 대면적 정밀측정 장치 |
| 6 |
6 제 1 항에 있어서, 상기 정밀측정부는 주사 탐침 현미경(Scanning Probe Microscope)을 포함하는 것을 특징으로 하는 고속 대면적 정밀측정 장치 |
| 7 |
7 제 6 항에 있어서, 상기 주사 탐지 현미경은 상기 시편의 나노 패턴 불균일도를 측정하거나, 또는 상기 시편에 포함된 불순물의 위치를 측정하는 것을 특징으로 하는 고속 대면적 정밀측정 장치 |
| 8 |
8 고속 대면적 정밀측정 방법에 있어서, 광원으로부터 발생되어 편광된 빛을 시편에 집중 조사한 후, 상기 시편으로부터 반사된 빛을 검출하여 상기 시편의 광학적 특성을 고속으로 측정하는 단계; 상기 광원을 차단하는 단계; 및 상기 시편의 광학적 특성 중 특이점이 나타나는 위치를 주사 탐침 현미경을 사용하여 다시 원자 단위까지 측정하는 단계;를 포함하되, 상기 원자 단위까지 측정하는 단계는, 수평으로 이동하는 XY-병진기를 이용하여 탐침을 특이점 위치로 이동하는 단계; 및 상기 주사 탐침 현미경의 xy-스캐너 및 z-스캐너를 이용하여 상기 시편의 광학적 특이점이 나타나는 국소영역을 원자 단위 수준으로 정밀하게 재측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 고속 대면적 정밀측정 방법 |
| 9 |
9 제 8 항에 있어서, 상기 고속 대면적 정밀측정 방법은 상기 특이점이 나타나는 위치를 컴퓨터에 저장하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고속 대면적 정밀측정 방법 |
| 10 |
10 삭제 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | CN101688768 | CN | 중국 | FAMILY |
| 2 | JP22530971 | JP | 일본 | FAMILY |
| 3 | TW200925579 | TW | 대만 | FAMILY |
| 4 | US08300221 | US | 미국 | FAMILY |
| 5 | US20100321693 | US | 미국 | FAMILY |
| 6 | WO2009064103 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | CN101688768 | CN | 중국 | DOCDBFAMILY |
| 2 | CN101688768 | CN | 중국 | DOCDBFAMILY |
| 3 | JP2010530971 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
| 4 | JP2010530971 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
| 5 | JP2010530971 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
| 6 | TW200925579 | TW | 대만 | DOCDBFAMILY |
| 7 | US2010321693 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 8 | US8300221 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 9 | WO2009064103 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | DOCDBFAMILY |
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 교육과학기술부/지식경제부 | 한국표준과학연구원/한국표준과학연구원 | 나노메카트로닉스 기술개발사업/나노바이오 특정제어 기술개발사업 | 나노공정용 소재의 물성측정 및 손상기술개발/SPRE융합 고감도 바이오표면 분석장비 기술개발 |
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-0941980-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20071114 출원 번호 : 1020070116340 공고 연월일 : 20100211 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20100130 청구범위의 항수 : 9 유별 : G01B 11/06 발명의 명칭 : 고속 대면적 정밀측정 장치 및 방법 존속기간(예정)만료일 : 20160205 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국표준과학연구원 대전 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 198,000 원 | 2010년 02월 05일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 238,000 원 | 2012년 12월 07일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 238,000 원 | 2013년 12월 03일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 166,600 원 | 2015년 01월 30일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2007.11.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0818295-04 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 | 2008.08.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 | 2008.09.11 | 수리 (Accepted) | 9-1-2008-0059335-83 |
| 4 | [출원서등 보정]보정서 | 2009.01.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0016664-28 |
| 5 | 의견제출통지서 | 2009.03.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0128299-51 |
| 6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2009.05.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0312760-79 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서 | 2009.05.25 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2009-0312785-10 |
| 8 | 의견제출통지서 | 2009.09.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0397883-47 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서 | 2009.10.19 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2009-0636929-08 |
| 10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2009.10.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0636914-13 |
| 11 | 등록결정서 | 2010.01.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0043239-20 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.01.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5004381-25 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266640-72 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266645-00 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266627-88 |
| 기술번호 | KST2014065891 |
|---|---|
| 자료제공기관 | 미래기술마당 |
| 기술공급기관 | 한국표준과학연구원 |
| 기술명 | 고속 대면적 정밀측정 장치 |
| 기술개요 |
본 발명은 고속 대면적 정밀측정 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 초점 타원계측부에서 시편의 특성을 고속으로 측정한 후에, 특이점이 나타나는 위치를 정밀측정부에서 보다 상세하게 측정하는 고속 대면적 정밀측정 장치 및 방법에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명은 편광된 빛을 시편에 집중 조사한 후, 상기 시편으로부터 반사된 빛을 검출하여 상기 시편의 광학적 특성을 고속으로 측정하는 초점 타원계측부; 및 상기 시편의 광학적 특성 중 특이점이 나타나는 위치를 다시 원자 단위까지 측정하는 정밀측정부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 고속 대면적 정밀측정 장치를 제공한다. 상기 고속 대면적 정밀측정 장치는 초점 타원계측부에서 고속으로 시편의 광학적 특성을 측정한 후에, 특이점이 나타나는 위치를 정밀측정부에서 다시 세밀하게 측정함으로써 시편의 광학적 특이점을 신속하고 정밀하게 측정할 수 있는 효과가 있다. 타원계측기, SPM, 탐침 |
| 개발상태 | 연구실환경 테스트 |
| 기술의 우수성 |
1) 편광된 빛을 시편에 집중 조사한 후, 상기 시편으로부터 반사된 빛을 검출하여 상기 시편의 광학적 특성을 고속으로 측정하는 초점 타원계측부 및 상기 시편의 광학적 특성 중 특이점이 나타나는 위치를 다시 원자 단위까지 측정하는 정밀측정부를 포함함
2) 시편의 광학적 특성을 고속으로 측정하기 위해 볼록렌즈를 이용하여 빛을 시편에 초점으로 집중 조사하는 장치와 원통형 광학계를 이용하여 빛을 시편에 선형으로 집중 조사하는 장치를 제공함으로써, 다수의 시편에 대한 광학적 특성을 보다 신속하고 정밀하게 측정할 수 있는 효과를 가짐 |
| 응용분야 |
1) 초점 타원계측기
2) 표준측정시험평가기술 |
| 시장규모 및 동향 |
가. 해외 1) 광 측정 및 복사측정의 대부분의 모든 분야의 광센서 기술은 현재 미국, 독일, 영국 등 몇몇 선진국이 주도하고 있으며, 레이저 간섭계 관련 연구는 각국의 표준 기관을 중심으로 활발히 진행되고 있음 2) 미국 로렌스 리버모어 국가연구소에서는 극자외선 노광기의 광학부품 성능 평가를 위해 기존 피조우 간섭계의 한계를 뛰어넘는 새로운 간섭계 개발에 박차를 가하고 있음 3) 타원계측기 연구는 초기에 미국과 프랑스, 독일이 중심으로 진행되어 왔으며, 최근에는 미국이 활발히 진행 중이며, 단일 원자층 두께 이하의 측정감도, 비파괴성, 비접촉성, 실시간 측정가능과 같은 장점들로 인하여 나노기술 분야에서 측정 장치로 널리 사용 중임 나. 국내 1) 국내 광센서 시장은 조명시장과 연동되어 있으며, 최근 고효율 LED 조명기술의 개발 및 상용화가 국가적 아젠다 사업으로 부각되면서 관련 시장의 규모도 급속하게 증가함 2) 국내 반도체, 휴대폰, 디스플레이 생산라인에 부품의 형상을 정밀하게 측정하기 위한 표면 형상 측정기가 설치됨으로서 시장이 급속히 증가함 3) 결함검사장비는 반도체 계측장비 중에서 시장규모가 가장 클 뿐만 아니라, 기술의 파급효과가 커서, 연관 산업을 크게 활성화 할 수 있으며, 이 기술을 개발함으로써 년 4천억원의 수입대체 효과 및 연 2조원 규모의 세계시장에 도전할 수 있는 기회가 열림 |
| 희망거래유형 | |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1345141735 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 14-2008-05-002-00 |
| 연구과제명 | 나노패턴 손상 및 복합물성 측정기술개발 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 한국표준과학연구원 |
| 성과제출연도 | 2010 |
| 연구기간 | 200804~201203 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1355049631 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2006-06483 |
| 연구과제명 | 나노공정용소재의물성측정및손상평가기술개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
| 연구주관기관명 | 한국표준과학연구원 |
| 성과제출연도 | 2007 |
| 연구기간 | 200504~200803 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 개발연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1415077261 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 10027880 |
| 연구과제명 | SurfacePlasmonResonanceellipsometry융합고감도바이오표면분석장비기술개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가원 |
| 연구주관기관명 | 한국표준과학연구원 |
| 성과제출연도 | 2007 |
| 연구기간 | 200604~201303 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 개발연구 |
| 6T분류명 | BT(생명공학기술) |
특허성과
| [1020100103608] | 전기 에너지 발생장치 및 이를 포함하는 전기 에너지 저장장치 | 새창보기 |
|---|---|---|
| [1020100094817] | 압입자의 마모를 고려한 압입하중 인가곡선의 보정방법 | 새창보기 |
| [1020100044747] | 표면접촉 수직도 보정 방법 | 새창보기 |
| [1020100032821] | 전계방출소자 | 새창보기 |
| [1020080107170] | 나노소재의 역학 특성 측정용 시료 제조방법 | 새창보기 |
| [1020070116340] | 고속 대면적 정밀측정 장치 | 새창보기 |
| [1020070116334] | 선형 초점 타원계측기 | 새창보기 |
| [1020070116170] | 나노와이어의 물성측정장치 및 물성측정방법 | 새창보기 |
| [1020070115398] | 단일 편광자 초점 타원계측기 | 새창보기 |
| [1020070052103] | 탄소나노튜브를 이용한 인장변형률 측정방법 | 새창보기 |
| [1020070052102] | 인장강도 시험을 위한 탄소나노튜브의 그립 검사 방법 및 그 시스템 | 새창보기 |
| [1020060056275] | 초점 타원계측기 | 새창보기 |
중요키워드
| [KST2014006795][한국표준과학연구원] | 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁과 그 제조 장치 및 제조 방법 | 새창보기 |
|---|---|---|
| [KST2014065890][한국표준과학연구원] | 인장강도 시험을 위한 탄소나노튜브의 그립 검사 방법 및 그 시스템 | 새창보기 |
| [KST2014023941][한국표준과학연구원] | 펄스레이저를 이용한 물질 두께 및 굴절률 측정 시스템 | 새창보기 |
| [KST2014035733][한국표준과학연구원] | 에스피엠 나노탐침 및 그 제조방법 | 새창보기 |
| [KST2014023953][한국표준과학연구원] | 컬러 투사 모아레 기법을 이용한 3차원 형상 측정 장치 | 새창보기 |
| [KST2014030015][한국표준과학연구원] | 원자자력계를 이용한 초고감도 투자율 검출장치 및 그 이용방법 | 새창보기 |
| [KST2014030017][한국표준과학연구원] | 금속나노입자패턴을 이용한 분자 검출장치 및 방법 | 새창보기 |
| [KST2014065636][한국표준과학연구원] | 거리와 각도 변화를 동시에 측정하기 위한 방법과 장치 | 새창보기 |
| [KST2015179679][한국표준과학연구원] | 형상 측정장치 및 그 방법 | 새창보기 |
| [KST2015179469][한국표준과학연구원] | 편광 레이저의 위상차를 이용한 실시간 필름두께 모니터링장치 및 그 방법 | 새창보기 |
| [KST2015179492][한국표준과학연구원] | 나노 갭 소자의 실용적 구동을 위한 마이크로 플루이딕시스템 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
| [KST2014033371][한국표준과학연구원] | Ｘ - 선 회절용 4점 굽힘 장치를 이용한 박막 응력 - 변형률 측정 방법 | 새창보기 |
| [KST2017000376][한국표준과학연구원] | 테라헤르츠파를 이용한 실시간 비접촉 비파괴 두께 측정장치(APPARATUS FOR REAL-TIME NON-CONTACT NON-DESTRUCTIVE THICKNESS MEASUREMENT USING TERAHERTZ WAVE) | 새창보기 |
| [KST2014035739][한국표준과학연구원] | 두께 변화 측정 장치 및 두께 변화 측정 방법 | 새창보기 |
| [KST2015179474][한국표준과학연구원] | 선형 초점 타원계측기 | 새창보기 |
| [KST2015179601][한국표준과학연구원] | 형광물질 혼합체 제조 장치, 형광물질 혼합체 균일도 검사 장치, 및 형광물질 혼합체 균일도 검사 방법 | 새창보기 |
| [KST2019012712][한국표준과학연구원] | 편광픽셀어레이를 이용한 박막과 후막의 두께 및 삼차원 표면 형상 측정 광학 장치 | 새창보기 |
| [KST2014065639][한국표준과학연구원] | 레이저 간섭계를 이용한 LCD유리 두께 변화 측정 장치와 방법 | 새창보기 |
| [KST2014065885][한국표준과학연구원] | 결맞은 광섬유 테이퍼를 이용한 간섭무늬 안정화된 간섭계 | 새창보기 |
| [KST2017006158][한국표준과학연구원] | 대형 유리기판의 물리적 두께 프로파일 및 굴절률 분포 측정을 위한 광간섭계 시스템(Optical interferometric system for measurement of physical thickness profile and refractive index distribution of large glass panel) | 새창보기 |
| [KST2015179480][한국표준과학연구원] | 변위와 변각을 동시에 측정하는 장치 | 새창보기 |
| [KST2016016772][한국표준과학연구원] | 무색수차 광소자-회전형 타원계측기 및 이를 이용한 시편의 뮬러-행렬 측정 방법(Achromatic rotating-element ellipsometer and method for measuring Mueller-matirx elements of the sample using the same) | 새창보기 |
| [KST2014065903][한국표준과학연구원] | ＣＡＲＳ 현미경을 이용한 유기 박막의 화학종 및 두께동시 광학분석장치 | 새창보기 |
| [KST2014065692][한국표준과학연구원] | 비파괴 표면 압입흔적의 형상분석을 통한 압입경도-항복강도 산출방법 | 새창보기 |
| [KST2016012403][한국표준과학연구원] | 복수개의 챔버 내 배출 가스 농도의 동시 실시간 연속 모니터링 시스템(SIMULTANEOUS REAL-TIME CONTINUOUS MONITORING SYSTEM OF EMISSION GAS CONCENTRATIONS IN MUTLIPLE CHAMBERS) | 새창보기 |
| [KST2014042072][한국표준과학연구원] | 콤 생성 및 검출 장치를 이용한 실시간 분광형 간섭 측정 장치 및 측정 방법 | 새창보기 |
| [KST2014042067][한국표준과학연구원] | AFM용 10 nm 급 탄소나노튜브 탐침 제작 기술 | 새창보기 |
| [KST2014003847][한국표준과학연구원] | 오존측정기 현장 교정용 표준기 | 새창보기 |
| [KST2014052431][한국표준과학연구원] | 두께 측정 장치 | 새창보기 |
| [KST2014065561][한국표준과학연구원] | 탄소나노튜브를 이용한 진공게이지 | 새창보기 |
| 심판사항 정보가 없습니다 |
|---|