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미세 구조물에서의 응력-변형률 관계 측정 방법

  • 기술번호 : KST2014066221
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 자유지지 박막 시험기에 관한 것으로, 보다 상세하게는 고정판에 미세기계전자시스템 및 나노기술에 사용되는 마이크로 또는 나노 스케일의 크기를 갖는 자유지지 박막 시편을 고정한 후 자유지지 박막 시편의 위치를 정렬하여 기계적 물성값을 측정하기 위한 자유지지 박막 시험기에 관한 것이다.본 발명에 따른 자유지지 박막 시험기는 내부에는 상부가 개방된 중공부가 구비된 본체와; 상기 중공부의 상부 둘레에 구비되어 외부의 조작을 통해 자유지지 박막 시편을 정렬하는 중공부가 포함된 시편 다축정렬수단과; 상기 시편 다축정렬수단의 중공부 상부에 상기 자유지지 박막 시편의 물성값을 측정할 수 있도록 자유지지 박막 시편을 고정하는 고정판과; 상기 본체를 구성하는 중공부의 일측에 구비되어 상기 자유지지 박막 시편을 눌러 주는 시험수단으로 구성됨을 특징으로 한다.자유지지 박막 시험기, 자유지지 박막, 기계적 물성, 시험수단, 유리판
Int. CL G01N 3/02 (2011.01) B82Y 15/00 (2011.01) G01N 3/08 (2011.01)
CPC G01N 3/12(2013.01) G01N 3/12(2013.01) G01N 3/12(2013.01) G01N 3/12(2013.01) G01N 3/12(2013.01)
출원번호/일자 1020050033209 (2005.04.21)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0670233-0000 (2007.01.10)
공개번호/일자 10-2006-0110958 (2006.10.26) 문서열기
공고번호/일자 (20070117) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.04.21)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재현 대한민국 대전 유성구
2 이학주 대한민국 대전 유성구
3 조기호 대한민국 대전 유성구
4 한승우 대한민국 대전 유성구
5 김정엽 대한민국 대전 유성구
6 최병익 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 웰 대한민국 서울특별시 서초구 방배로**길*, *~*층(방배동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.04.21 수리 (Accepted) 1-1-2005-0208255-12
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.04.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.05.15 수리 (Accepted) 9-1-2006-0030979-73
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0320169-70
5 의견서
Written Opinion
2006.07.31 수리 (Accepted) 1-1-2006-0552193-49
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.07.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0552206-55
7 등록결정서
Decision to grant
2006.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0781798-13
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
1 1
내부에는 상부가 개방된 중공부(11)가 구비된 본체(1)와;상기 중공부(11)의 상부 둘레에 구비되어 외부의 조작을 통해 자유지지 박막 시편(8)을 정렬하는 중공부(21)가 포함된 시편 다축정렬수단(2)과;상기 시편 다축정렬수단(2)의 중공부(21) 상부에 상기 자유지지 박막 시편(8)의 물성값을 측정할 수 있도록 자유지지 박막 시편(8)을 고정하는 고정판(3)과;상기 본체(1)를 구성하는 중공부(11)의 일측에 구비되어 상기 자유지지 박막 시편(8)을 눌러 주는 시험수단(4)으로 구성됨을 특징으로 하는 자유지지 박막 시험기
2 2
제 1항에 있어서, 상기 시험수단(4)은,상기 중공부(11)의 일측에 액츄에이터(41)를 통해 승강되게 구비되는 이동계(42)와, 상기 이동계(42)의 측부에 구비되어 하중을 측정하면서 상기 자유지지 박막 시편(8)을 눌러주는 하중막대(43)를 포함하는 로드셀(44), 및 상기 하중막대(43)를 누르는 과정에서 상기 액츄에이터(41)나 이동계(42) 또는 하중막대(43) 중 하나의 변위의 측정을 통해 하중막대(43)의 누름에 따른 자유지지 박막 시편(8)의 변위를 측정하는 변위 측정수단(5)으로 구성됨을 특징으로 하는 자유지지 박막 시험기
3 3
제 1항에 있어서, 상기 시편 다축정렬수단(2)은,X,Y축 방향으로 이동이 가능하며 내부에는 중공부(221)가 형성된 X,Y축 이동 테이블(22)과, 상기 X,Y축 이동 테이블(22)의 상부에 구비되어 외부의 조작을 통해 상면 수평도의 조정이 가능하고 회전이 가능하며 내부에는 중공부(231)가 형성된 수평도 조정 회전 테이블(23)로 구성됨을 특징으로 하는 자유지지 박막 시험기
4 4
제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 고정판(3)은,상기 자유지지 박막 시편(8)의 위치를 정렬할 수 있도록 투명의 유리판으로 구성됨을 특징으로 하는 자유지지 박막 시험기
5 5
제 4항에 있어서, 상기 자유지지 박막 시편(8)의 상부에는,상기 고정판(31)인 유리판을 통해 상기 자유지지 박막 시편(8)의 변화를 실시간으로 관측하는 관측수단(6)이 더 구비됨을 특징으로 하는 자유지지 박막 시험기
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.