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매개 기판 상에 탄소나노튜브를 성장시키는 성장단계;상기 탄소나노튜브에 맞닿으며 상기 매개 기판과 마주보도록 플렉시블 기판을 정렬하는 정렬단계;상기 탄소나노튜브와 상기 플렉시블 기판 간의 접촉을 유지하면서 상기 매개 기판을 진동시키는 진동단계;상기 플렉시블 기판에서 상기 탄소나노튜브와 접촉된 부분이 소프트닝되며 상기 탄소나노튜브가 상기 플렉시블 기판에 압입되는 압입단계; 및상기 매개 기판과 상기 탄소나노튜브를 분리시키는 분리단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 탄소나노튜브 에미터 제조방법
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제1항에 있어서,상기 성장단계 이전, 상기 매개 기판 상에 촉매층을 형성하는 촉매층 형성단계를 더 포함하고,상기 성장단계에서는, 상기 탄소나노튜브를 상기 촉매층 상에 성장시키는 것을 특징으로 하는 플렉시블 탄소나노튜브 에미터 제조방법
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제1항에 있어서,상기 진동단계에서는,상기 탄소나노튜브와 상기 플렉시블 기판 간의 접촉을 강화시키기 위하여, 상기 플렉시블 기판 측으로 상기 매개 기판을 가압하면서 상기 매개 기판을 진동시키는 것을 특징으로 하는 플렉시블 탄소나노튜브 에미터 제조방법
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제1항에 있어서,상기 진동단계에서는,상기 매개 기판 및 상기 플렉시블 기판과 수직한 방향을 따라 상기 매개 기판을 진동시키는 것을 특징으로 하는 플렉시블 탄소나노튜브 에미터 제조방법
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제1항에 있어서,상기 진동단계에서는, 상기 매개 기판이 초음파로 진동되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 탄소나노튜브 에미터 제조방법
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제1항에 있어서,상기 진동단계에서는,상기 플렉시블 기판의 유리 전이온도 이하의 온도 범위에서 상기 플렉시블 기판을 예열하면서 상기 매개 기판을 진동시키는 것을 특징으로 하는 플렉시블 탄소나노튜브 에미터 제조방법
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 제조방법에 의하여 제조된 플렉시블 탄소나노튜브 에미터
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