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판상형 구조의 나노박막과 기판 사이의 신뢰성 향상 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2014066272
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 판상형 구조의 나노박막과 기판 사이의 신뢰성 향상 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판상에 증착 또는 전사된 2차원 구조를 갖는 나노박막을 롤러 또는 슬라이더로 가압하여 나노박막과 기판사이를 강하고 균일하게 접착시킴으로써 나노박막의 전기적, 기계적 및 광학적 특성을 향상시킬 수 있는 판상형 구조의 나노박막과 기판 사이의 신뢰성 향상 장치 및 방법에 관한 것이다.
Int. CL B41M 5/03 (2006.01) B41M 5/10 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC B41M 5/03(2013.01) B41M 5/03(2013.01)
출원번호/일자 1020120015041 (2012.02.14)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1173300-0000 (2012.08.06)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20120810) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020120060650;
심사청구여부/일자 Y (2012.02.14)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김광섭 대한민국 대전 유성구
2 장봉균 대한민국 대전 유성구
3 최현주 대한민국 대전 유성구
4 황보윤 대한민국 대전 유성구
5 이승모 대한민국 대전 유성구
6 김상민 대한민국 대구 수성구
7 김재현 대한민국 대전 유성구
8 이학주 대한민국 대전 서구
9 김경식 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.02.14 수리 (Accepted) 1-1-2012-0119360-85
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2012.02.24 수리 (Accepted) 1-1-2012-0152516-29
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.04.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0216893-42
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.04.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.04.30 수리 (Accepted) 9-1-2012-0034706-16
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.06.05 수리 (Accepted) 1-1-2012-0450910-17
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.06.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0450922-65
8 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2012.06.05 수리 (Accepted) 1-1-2012-0450918-82
9 등록결정서
Decision to grant		 2012.07.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0422221-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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상면에 나노박막(120)이 형성된 기판(110)이 X축 방향으로 이동되도록 형성되는 별도의 이송수단; 및상기 기판(110)의 상측 및 하측으로 각각 일정거리 이격되어 구비되며, Z축 방향으로 이동 및 하중제어가 가능하고 회전되도록 형성되는 상부 롤러(210) 및 하부 롤러(220); 포함하여 이루어지며,상기 상부 롤러(210)의 외주면은 2층 이상의 코팅층이 형성되는 것을 특징으로 하는 판상형 구조의 나노박막과 기판 사이의 신뢰성 향상 장치
7 7
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8 8
제6항의 판상형 구조의 나노박막과 기판 사이의 신뢰성 향상 장치를 이용한 신뢰성 향상 방법에 있어서,상면에 나노박막(120)이 형성된 기판(110)을 공급하는 단계(S10);상기 상부 롤러(210) 및 하부 롤러(220)를 Z축 방향으로 이동시켜 상기 나노박막(120)과 접촉시키고 가압하는 단계(S20); 및상기 나노박막(120)이 형성된 기판(110)과 상부 롤러(210) 및 하부 롤러(220)의 상대운동에 의해 상기 나노박막(120)을 상기 기판(110)에 압착하는 단계(S30); 를 포함하여 이루어지되,상기 S10단계 이전에 상기 기판(110)과 나노박막(120) 사이에 평탄화층(130)이 코팅되는 단계(S00)가 더 수행되는 것을 특징으로 하는 판상형 구조의 나노박막과 기판 사이의 신뢰성 향상 방법
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제8항에 있어서,상기 S10단계와 S20단계 사이에는 상기 기판(110)과 나노박막(120)을 가열하는 단계(S15)가 더 수행되는 것을 특징으로 하는 판상형 구조의 나노박막과 기판 사이의 신뢰성 향상 방법
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제8항에 있어서,상기 S20단계 및 S30단계에서 상기 기판(110)과 나노박막(120)의 가압 압력은 10kPa 내지 400MPa인 것을 특징으로 하는 판상형 구조의 나노박막과 기판 사이의 신뢰성 향상 방법
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제8항에 있어서,상기 나노박막(120)은 한 층의 두께가 3nm 이하이거나, 여러 층이 쌓여 만들어진 두께 50nm 이하의 다층 나노박막이며, 상기 다층 나노박막은 한 종류 이상의 2차원 재료가 쌓여져 이루어지는 것을 특징으로 하는 판상형 구조의 나노박막과 기판 사이의 신뢰성 향상 방법
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1 KR101241964 KR 대한민국 FAMILY

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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 지경부-국가연구개발사업(II) 유연 나노박막용 대면적 전사 및 연속 생산시스템 기술 개발(2단계 1/3)
2 교육과학기술부 한국기계연구원 교과부-국가연구개발사업(I) 10nm급 측정 원천기술개발 (4/4)