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IT 기반 OLED 하향식 유기물 증발증착 기술
- 기술번호 : KST2014067013
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명은 증발 증착 장치를 제공한다. 이 장치는 증기를 제공받는 입구, 입구의 주위에 배치되어 증기의 방향을 전환하는 배플, 증기를 반사시키는 구형 또는 타원형의 케비티, 및 케비티에서 복수 회 반사 또는 산란된 증기를 점원에 의한 방사형으로 토출하는 출구를 포함하는 적분구, 내부에 증발물질이 담기고 제1 개구부를 통하여 증발된 증기를 적분구의 입구에 제공하는 도가니, 및 적분구 및 도가니를 감싸도록 배치되어 도가니 및 적분구를 가열하는 가열부를 포함하고, 적분구는 도전성 물질로 형성되고, 케비티의 내부 표면은 거칠어 증발 물질이 산란된다. |
|---|---|
| Int. CL | C23C 14/24 (2006.01) H01L 51/56 (2006.01) |
| CPC | |
| 출원번호/일자 | 1020120088125 (2012.08.13) |
| 출원인 | 한국표준과학연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-1473345-0000 (2014.12.10) |
| 공개번호/일자 | 10-2014-0022124 (2014.02.24) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20141216) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | 1020130154856; |
| 심사청구여부/일자 | Y (2012.08.13) |
| 심사청구항수 | 9 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국표준과학연구원 | 대한민국 | 대전 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 이주인 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 2 | 김정형 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 3 | 유용심 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 4 | 신용현 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 5 | 유신재 | 대한민국 | 대전 유성구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 이평우 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)(특허법인 누리) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국표준과학연구원 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2012.08.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0643674-18 |
| 2 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2013.03.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0236635-36 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2013.08.22 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2013.10.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0084137-98 |
| 5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2013.11.12 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0776831-46 |
| 6 | [분할출원]특허출원서 [Divisional Application] Patent Application |
2013.12.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1139680-17 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2013.12.12 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-1139735-29 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2013.12.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1139788-38 |
| 9 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2013.12.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1141614-17 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.01.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5004381-25 |
| 11 | 최후의견제출통지서 Notification of reason for final refusal |
2014.05.01 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0305451-10 |
| 12 | 협의요구서 Request for Consultation |
2014.05.01 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0305452-66 |
| 13 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2014.06.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0567617-23 |
| 14 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2014.06.18 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2014-0567595-17 |
| 15 | 등록결정서 Decision to grant |
2014.11.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0802669-35 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266640-72 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266627-88 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266645-00 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 증기를 제공받는 입구, 상기 입구의 주위에 배치되어 상기 증기의 방향을 전환하는 배플, 상기 증기를 반사시키는 구형 또는 타원형의 케비티, 및 상기 케비티에서 복수 회 반사 또는 산란된 상기 증기를 점원에 의한 방사형으로 토출하는 출구를 포함하는 적분구;내부에 증발물질이 담기고 제1 개구부를 통하여 증발된 증기를 상기 적분구의 입구에 제공하는 도가니; 및상기 적분구 및 도가니를 감싸도록 배치되어 상기 도가니 및 상기 적분구를 가열하는 가열부를 포함하고,상기 적분구는 도전성 물질로 형성되고,상기 케비티의 형상은 타원체이고, 상기 출구에서 토출하는 증기 플럭스는 상기 케비티의 중심축에서 멀어질수록 증가하는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치 |
| 2 |
2 증기를 제공받는 입구, 상기 입구의 주위에 배치되어 상기 증기의 방향을 전환하는 배플, 상기 증기를 반사시키는 구형 또는 타원형의 케비티, 및 상기 케비티에서 복수 회 반사 또는 산란된 상기 증기를 점원에 의한 방사형으로 토출하는 출구를 포함하는 적분구;내부에 증발물질이 담기고 제1 개구부를 통하여 증발된 증기를 상기 적분구의 입구에 제공하는 도가니; 및상기 적분구 및 도가니를 감싸도록 배치되어 상기 도가니 및 상기 적분구를 가열하는 가열부를 포함하고,상기 적분구는 도전성 물질로 형성되고,상기 적분구는 상기 도가니의 하부에 배치되고,상기 도가니는:제1 높이를 가지는 원통형의 내벽;상기 제1 높이보다 높은 제2 높이를 가지고 상기 내벽의 주위를 감싸는 외벽;상기 외벽의 상부면을 덮는 뚜껑; 및상기 내벽과 상기 외벽 사이의 하부면을 연결하는 와셔 형태의 바닥판를 포함하고,상기 내벽의 안쪽으로 이동한 증기는 상기 내벽의 하부면에 형성된 상기 제1 개구부를 통하여 상기 적분구의 상부면에 형성된 상기 입구에 제공되는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치 |
| 3 |
3 제1 항 또는 제2 항에 있어서,상기 가열부를 감싸고 상기 적분구의 출구 방향으로 개방된 일면을 가지는 전기를 통하지 않는 유전체 용기를 더 포함하고,상기 가열부는 상기 도가니 및 상기 적분구를 유도 가열하는 유도 코일인 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치 |
| 4 |
4 제1 항 또는 제2 항에 있어서,측면에 형성된 제2 개구부를 포함하는 진공 용기를 더 포함하고,상기 적분구의 출구를 빠져나온 증기는 상기 제2 개구부에 대향하여 배치된 기판에 박막을 증착하는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치 |
| 5 |
5 제1 항 또는 제2 항에 있어서,상부면에 형성된 제2 개구부를 포함하는 진공 용기를 더 포함하고,상기 적분구의 출구를 빠져나온 증기는 상기 제2 개구부에 대향하여 배치된 기판에 박막을 증착하는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치 |
| 6 |
6 제1 항 또는 제2 항에 있어서,상기 적분구와 상기 도가니는 일체형인 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치 |
| 7 |
7 제1 항 또는 제2 항에 있어서,상기 적분구의 출구는 원뿔 형상의 내부 공간을 가지고,토출된 가장자리 부분의 증기 플럭스는 상기 출구의 내부 표면에 안쪽으로 반사되어 상기 증기의 토출 각도를 조절하는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치 |
| 8 |
8 제3 항에 있어서,상기 유도 코일은 상기 도가니를 감싸는 제1 유도 코일 및 상기 적분구를 감싸는 제2 유도 코일을 포함하고,상기 제1 유도 코일에 연결된 제1 AC 전원 및 상기 제2 유도 코일에 연결된 제2 AC 전원을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치 |
| 9 |
9 제1 항 또는 제2 항에 있어서,상기 가열부를 감싸도록 배치되는 열 반사부; 상기 열 반사부를 감싸도록 배치되는 유전체 용기; 상기 적분구의 출구의 하부면에 배치된 와셔 형상의 받침부; 및상기 유전체 용기를 감싸도록 배치된 케이스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치 |
| 10 |
10 삭제 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | KR1020140022356 | KR | 대한민국 | FAMILY |
| 2 | WO2014027778 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | WO2014027778 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | DOCDBFAMILY |
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 교육과학기술부 | 한국표준과학연구원 | 첨단융합기술개발 | 우주 모사 환경 발생 및 정밀 제어 기반 신공정 기술 개발 |
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1473345-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20120813 출원 번호 : 1020120088125 공고 연월일 : 20141216 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20141124 청구범위의 항수 : 9 유별 : H01L 51/56 발명의 명칭 : 증발 증착 장치 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국표준과학연구원 대전 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 198,000 원 | 2014년 12월 10일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 166,600 원 | 2017년 11월 15일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 119,000 원 | 2018년 11월 26일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 119,000 원 | 2019년 09월 26일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
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- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2012.08.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0643674-18 |
| 2 | [출원서등 보정]보정서 | 2013.03.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0236635-36 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 | 2013.08.22 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 | 2013.10.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0084137-98 |
| 5 | 의견제출통지서 | 2013.11.12 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0776831-46 |
| 6 | [분할출원]특허출원서 | 2013.12.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1139680-17 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서 | 2013.12.12 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-1139735-29 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2013.12.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1139788-38 |
| 9 | [출원서등 보정]보정서 | 2013.12.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1141614-17 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.01.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5004381-25 |
| 11 | 최후의견제출통지서 | 2014.05.01 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0305451-10 |
| 12 | 협의요구서 | 2014.05.01 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0305452-66 |
| 13 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2014.06.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0567617-23 |
| 14 | [명세서등 보정]보정서 | 2014.06.18 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2014-0567595-17 |
| 15 | 등록결정서 | 2014.11.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0802669-35 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266640-72 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266627-88 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266645-00 |
| 기술번호 | KST2014067013 |
|---|---|
| 자료제공기관 | 미래기술마당 |
| 기술공급기관 | 한국표준과학연구원 |
| 기술명 | IT 기반 OLED 하향식 유기물 증발증착 기술 |
| 기술개요 |
본 발명은 증발 증착 장치를 제공한다. 이 장치는 증기를 제공받는 입구, 입구의 주위에 배치되어 증기의 방향을 전환하는 배플, 증기를 반사시키는 구형 또는 타원형의 케비티, 및 케비티에서 복수 회 반사 또는 산란된 증기를 점원에 의한 방사형으로 토출하는 출구를 포함하는 적분구, 내부에 증발물질이 담기고 제1 개구부를 통하여 증발된 증기를 적분구의 입구에 제공하는 도가니, 및 적분구 및 도가니를 감싸도록 배치되어 도가니 및 적분구를 가열하는 가열부를 포함하고, 적분구는 도전성 물질로 형성되고, 케비티의 내부 표면은 거칠어 증발 물질이 산란된다. |
| 개발상태 | 연구실환경 테스트 |
| 기술의 우수성 |
가. 기술적 측면
1) 유도가열법을 이용한 증발증착기술로 증착셀 모듈화가 가능하며 이 증착셀을 기존 셀과 대체도 가능하며 또한 멀티셀을 배열함으로써 선형타입의 증착소스를 구현할수 있기 때문에 대면적 기판 증착이 가능함. 2) 유기물 증기의 토출방향 제어가 가능함으로써 유기물원료효율을 높일수 있고 증착장비의 높이를 줄일수 잇는 장점이 있음. 나. 경제적,산업적 측면 1) 기존 증발증착 장비 시장이 상향식의 방식을 사용해왔기 때문에 대면적화가 어려웠던 점에 비하여 하향식 증착이 가능해짐으로써 새로운 장비시장을 열수 있으며 또한 하향식 장비시장을 선점함으로써 장비시장의 국산화 및 해외진출도 가능함에 따라 수입대체 효과가 기대됨. 2) 디스플레이 시장에서 국내 업체가 선전하는 이유로 공정엔지니어 및 공정기술의 기술적 우위가 가장 큰 역할을 하게 되는데, 그 이면에는 전체 공정장비를 주도하지 못하는 문제가 있음. 반면 본 기술 및 사업을 통해 전 세계적으로 공정장비 기술을 선도할 수 있음. |
| 응용분야 |
○ 주요 부품·산출물의 타제품/타분야 적용가능성
- 기존 증발증착 장치 대체 가능: 원료효율 및 방향성 면에서 유리 |
| 시장규모 및 동향 |
1) 소형 패널에만 일부 적용되어온 AMOLED가 2010년 삼성전자 갤럭시S와 웨이브 스마트폰에 채용되면서 AMOLED에 대한 소비자 니즈가 점차 전체 스마트폰으로 확산되고 있음. 이에 2011년 말에는 태블릿PC와 노트북, 2012년 이후에는 본격적인 시장개화의 상징하는 TV용으로 적용하기 위한 국내외 기업들의 연구개발과 설비투자가 활발하게 이루어지고 있음. 2) SMD(Samsung Mobile display)는 2005년 4세대(730*920) 설비를 구축하여 2007년 2월 양산을 시작하면서 세계최초로 AMOLED 패널의 양산 라인을 성공적으로 운영하였음. 현재 SMD는 2008년 2~3인치급 제품의 양산 수율이 80%를 넘었고 2010년 세계 AMOLED 시장의 98% 이상을 점유하고 있음. 3) SMD는 향후 시장 선점을 위해 2011년 상반기에 5.5세대(1300*1500), 2012년에 8세대 (2200*2500)의 양산을 준비하였고 양산기술과 특허 등에 있어 후발업체와의 초격차 전략을 진행하고 있음. LG디스플레이도 4세대 라인을 갖추었으나 아직은 전략적으로 LPTS-LCD 위주로 생산 중임. 그러나 AMOLED 시장의 개화와 더불어 2011년 양산을 준비하였으며 2012년 상반기에 5.5세대(1320*1500), 2013년에 8세대(2200*2500) 양산 설비 투자를 진행하였음. |
| 희망거래유형 | |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1345170207 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2011-50317 |
| 연구과제명 | 우주 모사 환경 발생 및 정밀 제어 기반 신공정 기술 개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 한국표준과학연구원 |
| 성과제출연도 | 2012 |
| 연구기간 | 201107~201606 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 개발연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
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