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공기역학 렌즈를 포함하는 입자 집속유닛;일단에 상기 입자 집속유닛이 연결될 수 있는 제 1 연결부가 마련되고, 중진공(1 내지 10-3Torr)으로 내부 압력이 제어되며, 타단에 노즐이 형성되어 상기 입자 집속유닛을 통해 유입된 입자를 가속시키는 제 1 챔버;일단이 상기 제 1 챔버의 노즐과 연결되며, 고진공(10-3 내지 10-7Torr)으로 내부 압력이 제어되면서 내부에 상기 제 1 챔버에서 가속된 입자를 하전 시키는 전자총이 설치되는 제 2 챔버;일단이 상기 제 2 챔버와 연결되며, 내부에 특정 전압을 인가하여, 상기 전자 총에서 포화상태까지 하전 된 입자들 중 특정 크기의 입자만을 분류하는 정전편향장치와 상기 입자 집속유닛이 연결될 수 있도록 상기 제 1 연결부와 동일한 규격을 가지는 제 2 연결부가 설치되는 제 3 챔버; 상기 제 1 및 제 2 챔버와 배기유로로 연결되어, 상기 제 1 및 제 2 챔버 내부의 기체를 외부로 배출하는 하나의 펌프; 및일단이 상기 제 3 챔버와 수직으로 연결되며, 내부에 입자 포집장치가 설치되는 제 4 챔버;를 포함하며,상기 제 2 연결부는,상기 입자 포집장치와 동축적으로 배치되는 분리형 입자 집속 유닛을 가지는 입자복합특성 측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 입자 집속유닛은,상기 제 1 및 제 2 연결부 중 어느 한 곳에 착탈 가능하게 설치되는 분리형 입자 집속 유닛을 가지는 입자복합특성 측정장치
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제 2 항에 있어서, 상기 입자 집속유닛은,500nm 이하의 입자를 측정할 경우 제 1 연결부에 연결되고,500nm 이상의 입자를 측정할 경우 제 2 연결부에 연결되는 분리형 입자 집속 유닛을 가지는 입자복합특성 측정장치
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제 3 항에 있어서, 상기 입자 집속유닛이 제 2 연결부에 연결되면, 상기 정전편향장치는 제거되는 분리형 입자 집속 유닛을 가지는 입자복합특성 측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제 4 챔버는,상기 입자 포집장치을 바라보도록 설치되어, 상기 입자 포집유닛에 포집된 입자를 광학적으로 측정하는 전자 검출기(Electron detector)와, 엑스레이 검출기 중 적어도 하나 이상을 구비하는 분리형 입자 집속 유닛을 가지는 입자복합특성 측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 챔버에는 제 1 및 제 2 압력 게이지가 설치되는 분리형 입자 집속 유닛을 가지는 입자복합특성 측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 배기유로는,일단은 상기 제 1 챔버와 연결되고 타단은 펌프와 연결되는 제 1 유로; 및일단은 상기 제 2 챔버와 연결되고 타단은 펌프와 연결되는 제 2 유로;를 포함하는 분리형 입자 집속 유닛을 가지는 입자복합특성 측정장치
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