맞춤기술찾기

이전대상기술

가스센서의 감도개선방법

  • 기술번호 : KST2015002279
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 나노 소재를 이용한 가스 센서의 나노소재와 전극과의 쇼트키 장벽을 낮춰줌으로써 가스 반응성을 향상시킬 수 있도록 하는 전압 조절 방식을 이용한 가스 센서의 감도 개선 방법에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명의 전압 조절 방식을 이용한 가스 센서의 감도 개선 방법은, 기판과 기판 상에 구비된 절연층과 절연층 상에 구비된 전극 및 전극 사이에 연결 구비된 나노소재로 구성되는 반도체 나노소재 가스센서의 전극 사이에 전압을 인가하고 나노소재와 가스의 접촉 반응에 따른 저항 변화를 검출하는 나노소재를 이용한 가스 검출 방법에 있어서, 상온 및 상압에서 상기 전극과 나노소재의 쇼트키 장벽 조절을 통해 상기 나노튜브에 대한 특정 가스의 반응을 최대화하도록 상기 전극 사이에 인가되는 전압을 일정 전압 이상 높게 조절하는 것을 특징으로 한다. 전압 조절, 쇼트키 장벽, 가스 센서, 나노소재
Int. CL G01N 27/10 (2011.01) G01N 27/00 (2011.01) B82Y 15/00 (2011.01)
CPC G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01)
출원번호/일자 1020070069317 (2007.07.10)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0890193-0000 (2009.03.17)
공개번호/일자 10-2009-0005899 (2009.01.14) 문서열기
공고번호/일자 (20090325) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.07.10)
심사청구항수 4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김준동 대한민국 대전 유성구
2 한창수 대한민국 대전 유성구
3 신동훈 대한민국 대전 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인 웰 대한민국 서울특별시 서초구 방배로**길*, *~*층(방배동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.07.10 수리 (Accepted) 1-1-2007-0503050-26
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2007.07.12 수리 (Accepted) 1-1-2007-0507824-41
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.06.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.07.15 수리 (Accepted) 9-1-2008-0043156-98
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.02.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0076385-26
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.02.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0114330-61
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.02.24 수리 (Accepted) 1-1-2009-0114327-23
8 등록결정서
Decision to grant
2009.03.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0113783-08
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판과 기판 상에 구비된 절연층과 절연층 상에 구비된 전극 및 전극 사이에 연결 구비된 나노소재로 구성되는 반도체 상태의 나노소재 가스센서의 전극 사이에 전압을 인가하고 나노소재와 가스의 접촉 반응에 따른 저항 변화를 검출하는 나노소재를 이용한 가스 검출 방법에 있어서, 상온 및 상압에서 상기 전극과 나노소재 사이의 쇼트키 장벽을 낮춰 상기 나노튜브에 대한 특정 가스의 반응을 최대화하도록 상기 전극에 일정 전압 이상의 전압을 인가하되,상기 전극에는 인가되는 일정 전압은 상기 전극과 나노소재 사이의 쇼트기 장벽이 임계치 이상이 되도록 조절함을 특징으로 하는 전압 조절 방식을 이용한 가스 센서의 감도 개선 방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 전압 조절은 나노소재가 전극과 접합하여 평형 상태를 유지하는 경우 인가된 전압으로 인해 생기는 정류가 지속되어 저항 형태의 전기 흐름이 되지 않는 구간 내에서 조절함을 특징으로 하는 전압 조절 방식을 이용한 가스 센서의 감도 개선 방법
3 3
제 1항에 있어서,상기 나노소재가 N형 반도체로서 상기 전압 조절은 Φm -Φs - Va >0 (Φm: 금속의 일함수, Φs: 나노소재의 일함수, Va: 인가전압)되도록 하는 것을 특징으로 하는 전압 조절 방식을 이용한 가스 센서의 감도 개선 방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 나노소재가 반도체가 P 형 반도체로서 상기 전압 조절은Φs - Va -Φm > 0 (Φm: 금속의 일함수, Φs: 나노소재의 일함수, Va: 인가전압)되도록 하는 것을 특징으로 하는 전압 조절 방식을 이용한 가스 센서의 감도 개선 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과기부 한국기계연구원 나노소재 기반 가스 검출 핵심 기술개발-특구사업 실리사이드를 이용한 결정질 실리콘 박막 성장제조 방법 및 전자소자 응용