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희생 기판을 준비하는 단계,상기 희생 기판을 열처리하는 단계,열화학기상증착 장치에서 상기 희생 기판 위에 그래핀 또는 탄소나노튜브를 합성하는 단계,상기 희생 기판으로부터 상기 그래핀 또는 상기 탄소나노튜브를 분리하는 단계,상기 그래핀 또는 상기 탄소나노튜브를 각각 포함하는 부유액에 기판을 담가 상기 기판 위에 그래핀층 및 탄소나노튜브층을 적층하여 투명 도전막을 형성하는 단계를 포함하는 표시 장치용 유연성 투명 도전막의 형성 방법
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제1항에서,상기 투명 도전막을 형성하는 단계 후,상기 그래핀층을 포함하는 부유액에 상기 기판을 담그는 단계 또는상기 탄소나노튜브를 포함하는 부유액에 상기 기판을 담그는 단계 중 적어도 한 단계를 반복하는 표시 장치용 유연성 투명 도전막의 형성 방법
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제1항에서,상기 그래핀을 합성하는 단계는상기 열화학기상증착 장치에 메탄 기체와 수소 기체를 1sccm~30sccm: 1,500sccm의 비율로 혼합하여 흘려주면서 900℃~1,100℃의 온도에서 20초~3분 동안 합성하는 표시 장치용 유연성 투명 도전막의 형성 방법
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제4항에서,상기 그래핀을 합성하는 단계는상기 열화학기상증착 장치에 아르곤 기체를 흘려주면서 4℃/min~8℃/min의 냉각속도로 상온까지 냉각하는 냉각 단계를 더 포함하는 표시 장치용 유연성 투명 도전막의 형성 방법
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제1항에서,상기 열처리하는 단계는상기 열화학기상증착 장치에서 900℃~1,100℃의 온도에서 5분 ~ 60분 동안 진행하는 표시 장치용 유연성 투명 도전막의 형성 방법
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제6항에서,상기 열처리하는 단계는상기 열화학기상증착 장치에서 메탄기체와 수소 기체를 1:1의 비율로 주입하여 진행하는 표시 장치용 유연성 투명 도전막의 형성 방법
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제1항에서,상기 탄소나노튜브를 합성하는 단계는 상기 열화학기상증착 장치에 아세틸렌(C2H2), 아르곤 기체 및 수소 기체를 10 sccm~100 sccm: 500 sccm: 500sccm의 비율로 혼합하여 흘려주면서 625℃~825℃온도에서 1분~60분 동안 합성하는 표시 장치용 유연성 투명 도전막의 형성 방법
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제8항에서,상기 열처리하는 단계는상기 열화학기상증착 장치에서 625℃~825℃의 온도에서 10분 ~ 60분 동안 진행하는 표시 장치용 유연성 투명 도전막의 형성 방법
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제9항에서,상기 열처리하는 단계는상기 열화학기상증착 장치에 아르곤 기체와 수소 기체를 9:1의 비율로 주입하여 진행하는 표시 장치용 유연성 투명 도전막의 형성 방법
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제1항에서,상기 희생 기판은 규소로 이루어지는 규소 기판, 상기 규소 기판 위에 형성되어 있는 완충막과 상기 규소 기판 위에 형성되어 있는 촉매 금속층을 포함하는 표시 장치용 유연성 투명 도전막의 형성 방법
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제11항에서,상기 촉매 금속층은 니켈(Ni), 코발트, 구리, 철, 알루미늄 및 금 중 적어도 하나로 이루어지는 표시 장치용 유연성 투명 도전막의 형성 방법
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제12항에서,상기 그래핀 또는 탄소나노튜브를 분리하는 단계에서,상기 그래핀은 상기 완충막을 제거하는 단계,상기 촉매 금속층을 제거하는 단계를 포함하여 분리하는 표시 장치용 유연성 투명 도전막의 형성 방법
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제13항에서,상기 완충막을 제거하는 단계는 75℃인 3mol의 수산화칼륨(KOH) 용액에 상기 희생 기판을 담가 습식 식각하는 표시 장치용 유연성 투명 도전막의 형성 방법
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제13항에서,상기 촉매 금속층을 제거하는 단계는 1mol의 염화철수용액(FeCl3)에 담가서 습식 식각하는 표시 장치용 유연성 투명 도전막의 형성 방법
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제12항에서,상기 그래핀 또는 탄소나노튜브를 분리하는 단계에서,상기 탄소나노튜브는 물리적 힘을 가해서 분리하는 표시 장치용 유연성 투명 도전막의 형성 방법
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제16항에서,상기 촉매 금속층은 0
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제1항에서,상기 희생 기판은 금속 호일 기판인 표시 장치용 유연성 투명 도전막의 형성 방법
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제18항에서,상기 금속 호일 기판은 니켈(Ni), 코발트, 구리, 철, 알루미늄, 스테인레스 스틸 및 금 중 적어도 하나로 이루어지는 표시 장치용 유연성 투명 도전막의 형성 방법
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기판,상기 기판 위에 형성되어 있으며 제1 투명 도전막, 상기 제1 투명 도전막의 전면에 적층되어 있는 제2 투명 도전막으로 이루어지는 투명 도전막을 포함하고,상기 제1 투명 도전막은 그래핀으로 이루어지고,상기 제2 투명 도전막은 탄소나노튜브로 이루어지는 표시 장치용 유연성 투명 도전막
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제20항에서,상기 제1 투명 도전막과 상기 제2 투명 도전막은 교대로 적층되어 있는 표시 장치용 유연성 투명 도전막
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