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초간단 다층박막 구조 제조장치 및 방법

기술번호 : KST2015011166
담당센터 : 경기기술혁신센터
전화번호 : 031-8006-1570

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	무기박막의 제조방법 및 상기 무기박막의 제조장치에 관한 것이다.
Int. CL	H01L 21/314 (2006.01) H01L 21/205 (2006.01)
CPC	H01L 21/02271(2013.01) H01L 21/02271(2013.01) H01L 21/02271(2013.01) H01L 21/02271(2013.01)
출원번호/일자	1020140097414 (2014.07.30)
출원인	성균관대학교산학협력단
등록번호/일자	10-1473464-0000 (2014.12.10)
공개번호/일자
공고번호/일자	(20141218) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2014.07.30)
심사청구항수	11

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	성균관대학교산학협력단	대한민국	경기도 수원시 장안구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	서상준	대한민국	경기도 수원시 영통구
2	조성민	대한민국	경기도 군포시 산본로*번길 , **
3	유지범	대한민국	서울특별시 서초구
4	정호균	대한민국	경기도 용인시 수지구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	특허법인엠에이피에스	대한민국	서울특별시 강남구 테헤란로길 , 층 (역삼동, 한동빌딩)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	주식회사 아르케		경기도 용인시 기흥구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)	2014.07.30	수리 (Accepted)	1-1-2014-0724370-35
2	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2014.07.30	수리 (Accepted)	1-1-2014-0723663-39
3	[우선심사신청]선행기술조사의뢰서 [Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search	2014.08.09	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
4	[출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment	2014.08.11	수리 (Accepted)	1-1-2014-0756318-65
5	[우선심사신청]선행기술조사보고서 [Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search	2014.08.11	수리 (Accepted)	9-1-2014-0063568-50
6	[우선심사신청]선행기술조사보고서 [Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search	2014.08.12	수리 (Accepted)	9-1-2014-0067890-30
7	[우선심사신청]선행기술조사보고서 [Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search	2014.08.13	수리 (Accepted)	9-1-2014-0068108-33
8	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2014.09.01	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0602267-59
9	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2014.10.27	수리 (Accepted)	1-1-2014-1024187-80
10	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2014.10.27	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2014-1024188-25
11	등록결정서 Decision to grant	2014.12.09	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0843939-63
12	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2017.02.23	수리 (Accepted)	4-1-2017-5028829-43

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 기재를 실리콘 소스 및 반응가스를 이용하여 각각 교대로 플라즈마 처리하는 것; 및,상기 실리콘 소스 및 상기 반응가스가 상기 기재의 표면에서 반응하여 상기 기재 상에 무기박막을 형성하는 것을 포함하는, 무기박막의 제조방법으로서,상기 실리콘 소스 및 상기 반응가스의 플라즈마 처리는 각각 독립된 플라즈마 모듈에서 수행되는 것이고,상기 기재를 상기 실리콘 소스 및 상기 반응가스를 이용하여 각각 교대로 플라즈마 처리하는 것은 1 회 이상 반복 수행되는 것인,무기박막의 제조방법
2	2 삭제
3	3 제 1 항에 있어서,상기 실리콘 소스는 실리콘 전구체 및 불활성 기체를 포함하는 것인, 무기박막의 제조방법
4	4 제 3 항에 있어서,상기 불활성 기체는 Ar, He, Ne, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 포함하는 것인, 무기박막의 제조방법
5	5 제 1 항에 있어서,상기 반응가스는 N, H, O2, N2O, NH3, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 포함하는 것인, 무기박막의 제조방법
6	6 제 1 항에 있어서, 상기 기재를 400℃ 이하의 온도에서 가열하는 것을 추가 포함하는, 무기박막의 제조방법
7	7 제 1 항에 있어서,상기 무기박막의 두께는 300 Å 내지 2,000 Å인 것인, 무기박막의 제조방법
8	8 제 1 항에 있어서,상기 무기박막을 형성하는 것은 화학기상증착 방법 또는 원자층증착 방법을 이용하여 수행되는 것인, 무기박막의 제조방법
9	9 제 1 항에 있어서,상기 실리콘 소스 및 상기 반응가스의 플라즈마 처리는 각각 독립된 플라즈마 모듈에서 동시에 또는 교번하여 수행되는 것인, 무기박막의 제조방법
10	10 기재가 로딩되는 기재 로딩부;상기 기재 로딩부에 결합되어 상기 기재를 교번하며 이동시키는 기재 수송부;상기 기재 수송부의 하단에 구비되어 상기 기재를 가열하는 기재 가열부; 및,상기 기재에 무기박막을 형성하는 무기박막 증착부를 포함하며, 상기 무기박막 증착부는 복수의 소스 플라즈마 모듈 및 복수의 반응 플라즈마 모듈을 포함하고,상기 기재 수송부가 상기 소스 플라즈마 모듈 및 상기 반응 플라즈마 모듈을 교번하며 이동하여 상기 기재 상에 무기박막이 증착되는 것인, 무기박막의 제조장치
11	11 제 10 항에 있어서,상기 소스 플라즈마 모듈에서 실리콘 전구체 및 불활성 기체를 포함하는 실리콘 소스를 플라즈마 처리하는, 무기박막의 제조장치
12	12 제 10 항에 있어서,상기 반응 플라즈마 모듈에서 N, H, O2, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 반응가스를 플라즈마 처리하는, 무기박막의 제조장치

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	CN105316650	CN	중국	FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	CN105316650	CN	중국	DOCDBFAMILY

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-1473464-0000

권리란

표시번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 권리란 표입니다.
표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20140730 출원 번호 : 1020140097414 공고 연월일 : 20141218 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20141209 청구범위의 항수 : 11 유별 : H01L 21/205 발명의 명칭 : 무기박막의 제조방법 및 이를 위한 제조장치 존속기간(예정)만료일 :

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구...
2	(권리자) 주식회사 아르케 경기도 용인시 기흥구...
2	(의무자) 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구...

등록료란

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제 1 - 3 년분	금 액	237,000 원	2014년 12월 11일	납입
제 4 년분	금 액	197,400 원	2017년 10월 27일	납입
제 5 년분	금 액	141,000 원	2018년 09월 17일	납입
제 6 년분	금 액	162,150 원	2020년 05월 07일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서	2014.07.30	수리 (Accepted)	1-1-2014-0724370-35
2	[특허출원]특허출원서	2014.07.30	수리 (Accepted)	1-1-2014-0723663-39
3	[우선심사신청]선행기술조사의뢰서	2014.08.09	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
4	[출원서등 보정]보정서	2014.08.11	수리 (Accepted)	1-1-2014-0756318-65
5	[우선심사신청]선행기술조사보고서	2014.08.11	수리 (Accepted)	9-1-2014-0063568-50
6	[우선심사신청]선행기술조사보고서	2014.08.12	수리 (Accepted)	9-1-2014-0067890-30
7	[우선심사신청]선행기술조사보고서	2014.08.13	수리 (Accepted)	9-1-2014-0068108-33
8	의견제출통지서	2014.09.01	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0602267-59
9	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2014.10.27	수리 (Accepted)	1-1-2014-1024187-80
10	[명세서등 보정]보정서	2014.10.27	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2014-1024188-25
11	등록결정서	2014.12.09	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0843939-63
12	출원인정보변경(경정)신고서	2017.02.23	수리 (Accepted)	4-1-2017-5028829-43


기술번호	KST2015011166
자료제공기관	NTB
기술공급기관	성균관대학교
기술명	초간단 다층박막 구조 제조장치 및 방법
기술개요	무기박막의 제조방법 및 상기 무기박막의 제조장치에 관한 것이다.
개발상태	기술개발완료
기술의 우수성
응용분야	유연디스플레이 반도체 박막
시장규모 및 동향
희망거래유형	기술매매,
사업화적용실적
도입시고려사항

중요키워드

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